Maxmudov Xushro‘ybek Abdulazizovichning
falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon
I. Umumiy ma’lumotlar.
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): «Kremniy asosidagi rux hamda qalay oksidi qatlamlarining olinishi, tarkibiy tuzilishi va fizik xossalari», 01.04.07 - Kondensirlangan holat fizikasi (fizika-matematika fanlari).
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: - B2021.3.PhD/FM631
Ilmiy rahbar: Mansurov Xotamjon Jo‘raevich, fizika-matematika fanlari nomzodi, dotsent.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: Andijon davlat universiteti.
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa (muassasalar) nomi, IK raqami: Farg‘ona politexnika instituti, RhD.03/27.02.2020.FM.106.01.
Rasmiy opponentlar: Xidirov Irisali, fizika-matematika fanlari doktori, professor (O‘zFA Yadro fizikasi ilmiy tadqiqot instituti); Otajonov Salim Madraximovich, fizika-matematika fanlari doktori, professor (Farg‘ona davlat universiteti);
Yetakchi tashkilot: O‘zbekiston Milliy universitet qoshidagi Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika instituti.
Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi ZnO va SnO2 plenkalarini olish usullarini takomillashtirish, olingan geterotuzilmalarning fizik xossalarini o‘rganish hamda ularni amaliyotda qo‘llanish imkoniyatlarini aniqlashdan iborat.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi:
ilk marotaba kremniy tagliklarda SnO2 va ZnO yupqa oksid plenkalarni zol`-gel` texnologiyasining sprey-piroliz usuli bilan o‘stirish orqali geterostruktura olishning optimal parametrlari (changlatish 2 atm bosim, 8 ml/min tezlikda, 1 daqiqa davomida zolni purkash hamda taglik haroratini tiklab olish uchun 30 soniya tanaffus qilish, shuningdek, changlatuvchi soplo va kremniy tagligigacha bo‘lgan masofa 85 sm qilib belgilash kabi) ishlab chiqilgan;
rentgenotuzilmaviy tahlil yordamida kremniy tagliklarda o‘stirilgan ZnO yupqa qatlamlarining geksogonal kristall panjaraga ega hamda S6/mmc fazoviy guruxga tegishli vyursit tuzilishga ega ekanligi aniqlangan;
n-ZnO/p-Si geterostrukturaning old sirtida 50-100 nm o‘lchamdagi gumbazsimon nanoob’ektlarning yuzaga kelishi va ular sirt konsentratsiyasining 106-108 sm2 oraliqda ortib borishi hajmiy nuqsonlar kamayishiga olib kelishi aniqlangan;
n-ZnO/p-Si geterotuzilmasining fotolyuminessensiya spektri keng optik diapozonni qamrab olishi (350-520 nm) va ularni quyosh energetikasida va optoelektronikada fotofaol material sifatida qo‘llash imkoniyatlari topildi;
SnO2 yupqa qatlam sirtida va hajmida o‘rtacha o‘lchamlari 53 nm bo‘lgan subkristallitlarning (bloklarning) o‘zini-o‘zi shakllantirish tamoyillari hosil bo‘lishi aniqlangan.
SnO2 metallooksidi asosida olingan gazlarni qayd qilgichlarni izotermik qizdirish plenka sirtdagi kislorod atomlarini kimyoviy bog‘lanishlaridan ajratib, yupqa qatlamlarda elektronlar harakatini kuchaytirish orqali tashqi ta’sirlarga turg‘unligini oshirishi aniqlangan.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi. ZnO va SnO2 yupqa pardalarini olish usullarini takomillashtirish, olingan geterotuzilmalarning fizik xossalarini o‘rganish bo‘yicha olingan ilmiy natijalar asosida:
n-ZnO/p-Si geterotuzilmalarni olish, nanokristallarining o‘lchami va kimyoviy tarkibini aniqlash texnologiyasi Samarqand davlat universiteti Davlat ilmiy-texnika dasturi doirasida 2017-2020 yillarda bajarilgan OT-F7-83 “Xromatografik jarayonlarni modellash, maqbullash va “Ushlanish kattaliklari - xossalari” o‘zaro bog‘liqliklarni o‘rganish va ularni nanoxromatografiyada qo‘llanilishi” fundamental loyihani bajarishda (loyiha rahbari k.f.d., prof.N.Muxamadiev) foydalanilgan. Natijada SiO2SiO2∙xMeO2 tarkibli mezog‘ovak sorbentlar olishda, ZnO nanokristallarining o‘lchami va kimyoviy tarkibini aniqlash metodikalari esa olingan sorbentlarning geometrik xarakteristikalarini o‘rganishda qo‘llanilgan va nanoo‘lchamdagi (2-75 nm) g‘ovakli sorbentlar olish imkoniyati yaratilgan.
kremniy tagliklariga SnO2 va ZnO yupqa qatlamlarini sprey-piroliz usuli bilan o‘stirish va bunday yupqa qatlamlarning kristall panjarasining turi hamda fazoviy guruxini aniqlash, shuningdek, n-ZnO/p-Si namunalari sirtida nanoob’ektlarning paydo bo‘lishi va ularning zichliklarining ortib borishi tuzilmaviy buzilishlarni kamayishi bo‘yicha olingan natijalari va tavsiyalari Andijon davlat universiteti dotsenti Sh.X.Yo‘lchievning “Ko‘pqatlamli yarimo‘tkazgichli geterotuzilmalarning olinishi va xossalari” nomli monografiyasida foydalanilgan (O‘zbekiston Respublikasi Oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligining 2021 yil 10 dekabrdagi 38-01-3626-son ma’lumotnomasi). Natijada n-ZnO/p-Si geterostrukturaning old sirtida 50-100 nm o‘lchamdagi gumbazsimon nanoobektlarning yuzaga kelishi va ular sirt konsentratsiyasining 106-108 sm2 oraliqda ortib borishi hajmiy nuqsonlar kamayishiga olib kelishini aniqlash imkonini bergan;
n-ZnO/p-Si geterotuzilmalarni olish, ularda hosil bo‘lgan ZnO nanokristallitlari o‘lchamlari va kimyoviy tarkibini aniqlash hamda ularni ko‘rinuvchi nurlar va ultrabinafsha sohalarida ishlovchi fotoaktiv material, shuningdek, gazlar va haroratga sezgir element sifatida qo‘llash bo‘yicha ilmiy-amaliy natijalari «FOTON» AJda ishlab chiqariladigan yarimo‘tkazgichli elektron qurilmalar tayyorlashda foydalanilgan (“Uzeltexsanoat” aksiyadorlik kompaniyasining 2021 yil 15 noyabrdagi 404-son ma’lumotnomasi). Natijada 360-400 nm to‘lqin uzunlikli ultrabinafsha nurlar sohasida ishlovchi optoelektron qurilmalarning yangi sinfini yaratish imkonini bergan.