Файзуллаев Қаҳрамон Маҳмуджановичнинг
фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон

I. Умумий маълумотлар.  
Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи): “3d-элементлар билан легирланган кремнийда киришмаларнинг ўзаро таъсирлашув жараёнлари”, 01.04.10 – Яримўтказгичлар физикаси (физика-математика фанлари).
Диссертация мавзуси рўйҳатга олинган рақам: В2019.2.PhD/FM382
Илмий раҳбар: Утамурадова Шарифа Бекмурадовна, физика-математика фанлари доктори, профессор.
Диссертация бажарилган муассаса номи: Мирзо Улуғбек номидаги Ўзбекистон Миллий университети ҳузуридаги Яримўтказгичлар физикаси ва микроэлектроника илмий-тадқиқот институти.
ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Ўзбекистон Миллий университети ҳузуридаги Яримўтказгичлар физикаси ва микроэлектроника илмий-тадқиқот институти, DSc.03/30.12.2019.FM/Т.01.12
Расмий оппонентлар: Дадамирзаев Мухаммаджон Ғуломқодирович, физика-математика фанлари доктори, доцент; Камалов Амангельди Базарбаевич, физика-математика фанлари доктори, доцент.
Етакчи ташкилот: Фарғона давлат университети
Диссертация йўналиши: назарий ва амалий аҳамиятга молик.
II.Тадқиқотнинг мақсади: Ностационар сиғимли, фотосиғимли ва инфрақизил спектроскопия усуллари ёрдамида 3d-элементлар билан легирланган кремнийда чуқур сатҳли ва технологик киришмаларнинг ўзаро таъсирлашув жараёнларини комплекс тадқиқ қилишдан иборат.
III.Тадқиқотнинг илмий янгилиги қуйидагилардан иборат:
3d-элементларининг (хром, кобальт ва марганец) киришмалари билан кремнийни легирлашнинг технологик режимлари оптималлаштирилган;
хром, кобальт ва марганец киришмалари чуқур сатҳларининг ҳосил бўлиш самарадорлиги кремний хажмидаги бошқариб бўлмайдиган киришмалар ва нуқсонлар ҳолатига боғлиқлиги аниқланган;
илк бор кремнийда кислород атомларининг мавжудлиги юқори ҳароратли диффузия усулида кремнийга киритилган хром, кобальт ва марганец киришмаларининг чуқур сатҳлари концентрациясини сезиларли даражада камайтириши ва оптик фаол тугунлараро кислород концентрацияси NОопт эса 3d-элементларининг концентрациясига боғлиқ ҳолда 10÷25% га камайиши аниқланган;
илк бор хром, кобальт ва марганец киришмалари билан легирланган кремнийда кислороднинг бирикма ҳолатлари - SiO2 ва SiO4 мавжудлиги чуқур сатҳларнинг ҳосил бўлиши самарадорлигини ўзгаришига ва DLTS спектрларининг трансформациясига олиб келиши аниқланган;
илк бор хром, кобальт ва марганец киришмалари билан легирланган кремнийда бошқариб бўлмайдиган киришма – темир билан таъсирлашуви натижасида ЕС – 0,30 эВ ионлашиш энергиясига эга янги чуқур сатҳли марказ ҳосил бўлиши аниқланган;
Si<Ni> намунаси юзасидаги марганец қатлами орқали легирлаш Ni нинг электрфаол атомларининг концентрацияси камайишига олиб келиши ҳамда Si юзасидаги марганец қатлами никель киришмалари учун геттер вазифасини бажариши аниқланган; 
илк бор нодир ер элементлари кремний ҳажмида мавжудлиги хром, кобальт ва марганец киришмаларининг чуқур сатҳлари ҳосил бўлиш самарадорлигини ошишига (гадолиний 2÷3 марта  ва гольмий 3÷4 марта) ҳамда иссиқлик нуқсонлари концентрациясини 4÷5 марта ва ва радиациявий нуқсонлари концентрациясини 3÷4 марта камайишига олиб келиши аниқланган.
IV. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши. 3d-элементлар билан легирланган кремнийда чуқур сатҳли ва технологик киришмаларнинг ўзаро таъсирлашув жараёнларини ҳамда уларга технологик омилларнинг таъсирини комплекс тадқиқ қилиш бўйича олинган илмий натижалар асосида:
диффузиядан олдин юқори ҳароратли термик ишлов берилган кремнийни легирлаш орқали нуқсонлар структурасини бошқариш имкониятлари, гадолиний атомлари мавжуд кремнийга хром атомларини киритилиши натижасида иссиқлик нуқсонларини 4÷5 марта камайтирилиши ва кремнийни технологик, бошқариб бўлмайдиган киришмалардан тозалаш усуллари МДҲ Нанотехнология ҳалқаро инновацион марказида Н.Магазов раҳбарлигида  2021 й. бажарилган “Кремнийли яримўтказгичларнинг хусусиятларига радиациянинг таъсири” мавусидаги лойиҳада  қўлланилган (МДҲ Нанотехнология ҳалқаро инновацион марказидан 2021 йил 12 августда олинган 010/136-сон маълумотнома). Илмий натижалардан фойдаланиш легирланган кремнийнинг нуқсонли структурасини бошқариш ва кремний  ҳажмини хар хил бошқариб бўлмайдиган  киришмалардан тозалаш имконини берган.
Cr ва Co киришмалари билан кремнийни легирлашнинг оптимал технологик режимлари; Cr ва Co киришмалари кремнийга киритилганда ҳар хил ташқи омиллар таъсирида кремний ҳажмида ҳосил бўладиган термонуқсонлар концентрациясини 3÷4 баровар ва радиациявий нуқсонлари концентрациясини 2÷3 баровар камайтириш усуллари; хар ҳил ташқи омиллар таъсирида кремний ҳажмида ҳосил бўладиган бошқариб бўлмайдиган нуқсонларни (темир каби киришмаларни) 3d-элементлар киришмалари (Cr ва Co) ёрдамида геттерлаш технологияси Қорақалпоқ давлат университетида 2017-2020 йилларда бажарилган ОТ-Ф-2-77 рақамли “Моделлаштириш асосида ички нуқсонларни ҳисобга олган ҳолда яримўтказгичли асбобларнинг ишончлигини башорат қилишнинг такомиллаштириш усули” мавзусидаги фундаментал лойиҳада қўлланилган (Ўзбекистон Республикаси Олий ва ўрта махсус таълим вазирлигининг 2021 йил 24 декабрдаги  3/19-24/12-314-сон маълумотномаси). Илмий натижалардан фойдаланиш яримўтказгичли асбобларнинг ишончлилигини ошириш усулини ишлаб чиқишга ва моделлаштириш асосида ички нуқсонларни ҳисобга олган ҳолда яримўтказгичли асбобларнинг барқарорлигини 2-3 баровар оширишга имкон берган.