Fayzullaev Qahramon Mahmudjanovichning
falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon

I. Umumiy ma’lumotlar.  
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): “3d-elementlar bilan legirlangan kremniyda kirishmalarning o‘zaro ta’sirlashuv jarayonlari”, 01.04.10 – Yarimo‘tkazgichlar fizikasi (fizika-matematika fanlari).
Dissertatsiya mavzusi ro‘yhatga olingan raqam: B2019.2.PhD/FM382
Ilmiy rahbar: Utamuradova Sharifa Bekmuradovna, fizika-matematika fanlari doktori, professor.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: Mirzo Ulug‘bek nomidagi O‘zbekiston Milliy universiteti huzuridagi Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti.
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: O‘zbekiston Milliy universiteti huzuridagi Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti, DSc.03/30.12.2019.FM/T.01.12
Rasmiy opponentlar: Dadamirzaev Muxammadjon G‘ulomqodirovich, fizika-matematika fanlari doktori, dotsent; Kamalov Amangel`di Bazarbaevich, fizika-matematika fanlari doktori, dotsent.
Yetakchi tashkilot: Farg‘ona davlat universiteti
Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II.Tadqiqotning maqsadi: Nostatsionar sig‘imli, fotosig‘imli va infraqizil spektroskopiya usullari yordamida 3d-elementlar bilan legirlangan kremniyda chuqur sathli va texnologik kirishmalarning o‘zaro ta’sirlashuv jarayonlarini kompleks tadqiq qilishdan iborat.
III.Tadqiqotning ilmiy yangiligi quyidagilardan iborat:
3d-elementlarining (xrom, kobal`t va marganes) kirishmalari bilan kremniyni legirlashning texnologik rejimlari optimallashtirilgan;
xrom, kobal`t va marganes kirishmalari chuqur sathlarining hosil bo‘lish samaradorligi kremniy xajmidagi boshqarib bo‘lmaydigan kirishmalar va nuqsonlar holatiga bog‘liqligi aniqlangan;
ilk bor kremniyda kislorod atomlarining mavjudligi yuqori haroratli diffuziya usulida kremniyga kiritilgan xrom, kobal`t va marganes kirishmalarining chuqur sathlari konsentratsiyasini sezilarli darajada kamaytirishi va optik faol tugunlararo kislorod konsentratsiyasi NOopt esa 3d-elementlarining konsentratsiyasiga bog‘liq holda 10÷25% ga kamayishi aniqlangan;
ilk bor xrom, kobal`t va marganes kirishmalari bilan legirlangan kremniyda kislorodning birikma holatlari - SiO2 va SiO4 mavjudligi chuqur sathlarning hosil bo‘lishi samaradorligini o‘zgarishiga va DLTS spektrlarining transformatsiyasiga olib kelishi aniqlangan;
ilk bor xrom, kobal`t va marganes kirishmalari bilan legirlangan kremniyda boshqarib bo‘lmaydigan kirishma – temir bilan ta’sirlashuvi natijasida ES – 0,30 eV ionlashish energiyasiga ega yangi chuqur sathli markaz hosil bo‘lishi aniqlangan;
Si<Ni> namunasi yuzasidagi marganes qatlami orqali legirlash Ni ning elektrfaol atomlarining konsentratsiyasi kamayishiga olib kelishi hamda Si yuzasidagi marganes qatlami nikel` kirishmalari uchun getter vazifasini bajarishi aniqlangan; 
ilk bor nodir er elementlari kremniy hajmida mavjudligi xrom, kobal`t va marganes kirishmalarining chuqur sathlari hosil bo‘lish samaradorligini oshishiga (gadoliniy 2÷3 marta  va gol`miy 3÷4 marta) hamda issiqlik nuqsonlari konsentratsiyasini 4÷5 marta va va radiatsiyaviy nuqsonlari konsentratsiyasini 3÷4 marta kamayishiga olib kelishi aniqlangan.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi. 3d-elementlar bilan legirlangan kremniyda chuqur sathli va texnologik kirishmalarning o‘zaro ta’sirlashuv jarayonlarini hamda ularga texnologik omillarning ta’sirini kompleks tadqiq qilish bo‘yicha olingan ilmiy natijalar asosida:
diffuziyadan oldin yuqori haroratli termik ishlov berilgan kremniyni legirlash orqali nuqsonlar strukturasini boshqarish imkoniyatlari, gadoliniy atomlari mavjud kremniyga xrom atomlarini kiritilishi natijasida issiqlik nuqsonlarini 4÷5 marta kamaytirilishi va kremniyni texnologik, boshqarib bo‘lmaydigan kirishmalardan tozalash usullari MDH Nanotexnologiya halqaro innovatsion markazida N.Magazov rahbarligida  2021 y. bajarilgan “Kremniyli yarimo‘tkazgichlarning xususiyatlariga radiatsiyaning ta’siri” mavusidagi loyihada  qo‘llanilgan (MDH Nanotexnologiya halqaro innovatsion markazidan 2021 yil 12 avgustda olingan 010/136-son ma’lumotnoma). Ilmiy natijalardan foydalanish legirlangan kremniyning nuqsonli strukturasini boshqarish va kremniy  hajmini xar xil boshqarib bo‘lmaydigan  kirishmalardan tozalash imkonini bergan.
Cr va Co kirishmalari bilan kremniyni legirlashning optimal texnologik rejimlari; Cr va Co kirishmalari kremniyga kiritilganda har xil tashqi omillar ta’sirida kremniy hajmida hosil bo‘ladigan termonuqsonlar konsentratsiyasini 3÷4 barovar va radiatsiyaviy nuqsonlari konsentratsiyasini 2÷3 barovar kamaytirish usullari; xar hil tashqi omillar ta’sirida kremniy hajmida hosil bo‘ladigan boshqarib bo‘lmaydigan nuqsonlarni (temir kabi kirishmalarni) 3d-elementlar kirishmalari (Cr va Co) yordamida getterlash texnologiyasi Qoraqalpoq davlat universitetida 2017-2020 yillarda bajarilgan OT-F-2-77 raqamli “Modellashtirish asosida ichki nuqsonlarni hisobga olgan holda yarimo‘tkazgichli asboblarning ishonchligini bashorat qilishning takomillashtirish usuli” mavzusidagi fundamental loyihada qo‘llanilgan (O‘zbekiston Respublikasi Oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligining 2021 yil 24 dekabrdagi  3/19-24/12-314-son ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalardan foydalanish yarimo‘tkazgichli asboblarning ishonchliligini oshirish usulini ishlab chiqishga va modellashtirish asosida ichki nuqsonlarni hisobga olgan holda yarimo‘tkazgichli asboblarning barqarorligini 2-3 barovar oshirishga imkon bergan.