Paluanova Anifa Daribaevnaning
falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon

I. Umumiy ma’lumotlar.  
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): “Vol`fram va molibden bilan legirlangan kremniyning elektrofizik xususiyatlari”, 01.04.10 – Yarimo‘tkazgichlar fizikasi (fizika -matematika fanlari).
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2019.2.PhD/FM.380.
Ilmiy raxbar: Daliev Shaxrux Xojakbarovich, fizika-matematika fanlari doktori, katta ilmiy xodim.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: O‘zbekiston Milliy universiteti huzuridagi  Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti.
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: O‘zbekiston Milliy universiteti huzuridagi Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti, DSc.03/30.12.2019.FM/T.01.12.
Rasmiy opponentlar: Azamatov Zokirjon Taxirovich, fizika-matematika fanlari doktori, professor; Otajonov Salim Madraximovich, fizika-matematika fanlari doktori, professor.
Yetakchi tashkilot: Toshkent davlat texnika universiteti.
Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II.Tadqiqotning maqsadi: sig‘imli va infraqizil spektroskopiya usullari yordamida vol`fram va molibden kirishmalari bilan legirlangan kremniyda nuqsonli markazlarining shakllanish xususiyatlarini hamda texnologik omillarning kremniydagi kirishmalarning xususiyatlariga ta’sirini tadqiq qilishdan iborat.
III.Tadqiqotning ilmiy yangiligi:
vol`fram va molibden kirishmalari bilan kremniyni legirlashning texnologik rejimlari optimallashtirilgan;
vol`fram va molibden kirishmalarini kremniyda to‘liq eruvchanligi va elektroaktiv atomlar konsentratsiyasi legirlashning  texnologik rejimlariga bog‘liq ekanligi aniqlangan;
vol`fram va molibden kirishmalarining kremniy tarkibiga o‘stirish jarayonida kiritilishida kirishmalarning elektroneytral xolatida  bo‘lishi  va ularni uzoq muddatli yuqori haroratli ishlov berish yo‘li bilan faollashtirish mumkinligi aniqlangan;
vol`fram va molibden bilan legirangan kremniyda nuqson hosil bo‘lish jarayonlarining samaradorligi legirlash usuliga, nuqsonli strukturaning mukammalligiga, dastlabki termik holatiga va kremniyni bu kirishmalar bilan legirlashning texnologik rejimlariga bog‘liq ekanligi ilk bor  aniqlangan;
vol`fram va molibden kirishmalarini yuqori haroratli diffuziya usulida  kremniyga kiritishda optik faol kislorod konsentratsiyasini vol`fram va molibden kirishmalarining  konsentratsiyasiga qarab 25-30% ga kamaytirishiga olib kelishi aniqlangan, bu esa vol`fram va molibden kirishmalarining kislorod  bilan neytral komplekslarini xosil qilishi bilan bog‘liqligi aniqlangan;
vol`fram va molibden kirishmalarining kremniyning tarkibida  mavjudligi radiatsion nuqsonlarning hosil bo‘lish samaradorligini nazorat namunalariga nisbatan 5÷6 martaga, termik nuqsonlar konsentratsiyasini  esa 2-3 marta  kamayitirishi ko‘rsatilgan;
kremniy hajmida vol`fram va molibden kirishmalarining mavjudligi  termik nuqsonlar konsentratsiyasini  2-3 marta  kamayitirishi ko‘rsatilgan;
elektroneytral kirishma - gadoliniyni kremniyga oldindan kiritish vol`fram va molibden kirishmalarining eruvchanligini va chuqur sathlarning hosil bo‘lish samaradorligini 2 marta  oshirishiga olib kelishi aniqlangan;
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi.
Vol`fram va molibden kirishmalari bilan legirlangan kremniyda nuqsonli markazlarining shakllanish xususiyatlarini hamda ularga texnologik omillarning ta’sirini tadqiq qilish bo‘yicha olingan ilmiy natijalar asosida:
kremniy kristallini vol`fram va molibden  kirishmalari bilan legirlash texnologiyasi va  bu kirishmalar asosida  kremniy strukturalarida termik nuqsonlarning hosil bo‘lish jarayonlarini batafsil o‘rganishga imkon yaratilganligi  Toshkent davlat texnika universitetida  Davlat ilmiy-texnika dasturi doirasida 2017-2018 yillarda bajarilgan OT-A3-57-“Nanostrukturali kremniy datchik asosida turli xil ob’ektlarda harorat va namlikni nazorat qiluvchi mikroprotsessorli asbobni ishlab chiqish” mavzusidagi  loyihada  qo‘llanilgan (O‘zbekiston Respublikasi Oliy va o‘rta maxsus  ta’lim vazirligining 2021-yil 4-noyabr`dagi №89-03-2337 son ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalardan foydalanish kremniy  strukturalarida turli xil termik nuqsonlarni batafsil o‘rganish imkonini bergan va nanostrukturali kremniy datchiklarining issiqlikka chidamliligini 2-3 barobar oshirish imkonini bergan;
olingan ilmiy natijalar eksperimental namunalarda sinovdan o‘tkazildi va ulardan foydalanish yarimo‘tkazgichli qurilmalarning (ishlab chiqilgan diodlar) ishchi parametrlarini 10-15% ga yaxshilash imkonini bergan. (“O‘zeltexsanoat” aksiyadorlik kompaniyasining 2021-yil 22 noyabrdagi №04-3/2494-son ma’lumotnomasi) Ilmiy  natijalardan foydalanish vol`fram va molibden kirishmalari bilan legirlangan kremniyda hosil bo‘lgan chuqur sathlarning  energetik spektrlarini nazorat qilish imkonini bergan;
kremniy tarkibiga  vol`fram va molibden kirishmalarining kiritilishi, uning tarkibidagi  boshqarib bo‘lmaydigan texnologik  kirishmalar  (O, C) konsentratsiyasini 20-25% ga kamaytirishi aniqlangan;
vol`fram va molibden kirishmalari kremniy hajmida  mavjudligi issiqlik ta’sirida hosil bo‘ladigan termik nuqsonlarni konsentratsiyasini 2-3 marta kamaytirish imkonini bergan.