Палуанова Анифа Дарибаевнанинг
фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон

I. Умумий маълумотлар.  
Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи): “Вольфрам ва молибден билан легирланган кремнийнинг электрофизик хусусиятлари”, 01.04.10 – Яримўтказгичлар физикаси (физика -математика фанлари).
Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: В2019.2.PhD/FM.380.
Илмий рахбар: Далиев Шахрух Хожакбарович, физика-математика фанлари доктори, катта илмий ходим.
Диссертация бажарилган муассаса номи: Ўзбекистон Миллий университети ҳузуридаги  Яримўтказгичлар физикаси ва микроэлектроника илмий-тадқиқот институти.
ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Ўзбекистон Миллий университети ҳузуридаги Яримўтказгичлар физикаси ва микроэлектроника илмий-тадқиқот институти, DSc.03/30.12.2019.FM/Т.01.12.
Расмий оппонентлар: Азаматов Зокиржон Тахирович, физика-математика фанлари доктори, профессор; Отажонов Салим Мадрахимович, физика-математика фанлари доктори, профессор.
Етакчи ташкилот: Тошкент давлат техника университети.
Диссертация йўналиши: назарий ва амалий аҳамиятга молик.
II.Тадқиқотнинг мақсади: сиғимли ва инфрақизил спектроскопия усуллари ёрдамида вольфрам ва молибден киришмалари билан легирланган кремнийда нуқсонли марказларининг шаклланиш хусусиятларини ҳамда технологик омилларнинг кремнийдаги киришмаларнинг хусусиятларига таъсирини тадқиқ қилишдан иборат.
III.Тадқиқотнинг илмий янгилиги:
вольфрам ва молибден киришмалари билан кремнийни легирлашнинг технологик режимлари оптималлаштирилган;
вольфрам ва молибден киришмаларини кремнийда тўлиқ эрувчанлиги ва электроактив атомлар концентрацияси легирлашнинг  технологик режимларига боғлиқ эканлиги аниқланган;
вольфрам ва молибден киришмаларининг кремний таркибига ўстириш жараёнида киритилишида киришмаларнинг электронейтрал холатида  бўлиши  ва уларни узоқ муддатли юқори ҳароратли ишлов бериш йўли билан фаоллаштириш мумкинлиги аниқланган;
вольфрам ва молибден билан легиранган кремнийда нуқсон ҳосил бўлиш жараёнларининг самарадорлиги легирлаш усулига, нуқсонли структуранинг мукаммаллигига, дастлабки термик ҳолатига ва кремнийни бу киришмалар билан легирлашнинг технологик режимларига боғлиқ эканлиги илк бор  аниқланган;
вольфрам ва молибден киришмаларини юқори ҳароратли диффузия усулида  кремнийга киритишда оптик фаол кислород концентрациясини вольфрам ва молибден киришмаларининг  концентрациясига қараб 25-30% га камайтиришига олиб келиши аниқланган, бу эса вольфрам ва молибден киришмаларининг кислород  билан нейтрал комплексларини хосил қилиши билан боғлиқлиги аниқланган;
вольфрам ва молибден киришмаларининг кремнийнинг таркибида  мавжудлиги радиацион нуқсонларнинг ҳосил бўлиш самарадорлигини назорат намуналарига нисбатан 5÷6 мартага, термик нуқсонлар концентрациясини  эса 2-3 марта  камайитириши кўрсатилган;
кремний ҳажмида вольфрам ва молибден киришмаларининг мавжудлиги  термик нуқсонлар концентрациясини  2-3 марта  камайитириши кўрсатилган;
электронейтрал киришма - гадолинийни кремнийга олдиндан киритиш вольфрам ва молибден киришмаларининг эрувчанлигини ва чуқур сатҳларнинг ҳосил бўлиш самарадорлигини 2 марта  оширишига олиб келиши аниқланган;
IV. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши.
Вольфрам ва молибден киришмалари билан легирланган кремнийда нуқсонли марказларининг шаклланиш хусусиятларини ҳамда уларга технологик омилларнинг таъсирини тадқиқ қилиш бўйича олинган илмий натижалар асосида:
кремний кристаллини вольфрам ва молибден  киришмалари билан легирлаш технологияси ва  бу киришмалар асосида  кремний структураларида термик нуқсонларнинг ҳосил бўлиш жараёнларини батафсил ўрганишга имкон яратилганлиги  Тошкент давлат техника университетида  Давлат илмий-техника дастури доирасида 2017-2018 йилларда бажарилган ОТ-А3-57-“Наноструктурали кремний датчик асосида турли хил объектларда ҳарорат ва намликни назорат қилувчи микропроцессорли асбобни ишлаб чиқиш” мавзусидаги  лойиҳада  қўлланилган (Ўзбекистон Республикаси Олий ва ўрта махсус  таълим вазирлигининг 2021-йил 4-ноябрьдаги №89-03-2337 сон маълумотномаси). Илмий натижалардан фойдаланиш кремний  структураларида турли хил термик нуқсонларни батафсил ўрганиш имконини берган ва наноструктурали кремний датчикларининг иссиқликка чидамлилигини 2-3 баробар ошириш имконини берган;
олинган илмий натижалар экспериментал намуналарда синовдан ўтказилди ва улардан фойдаланиш яримўтказгичли қурилмаларнинг (ишлаб чиқилган диодлар) ишчи параметрларини 10-15% га яхшилаш имконини берган. (“Ўзэлтехсаноат” акциядорлик компаниясининг 2021-йил 22 ноябрдаги №04-3/2494-сон маълумотномаси) Илмий  натижалардан фойдаланиш вольфрам ва молибден киришмалари билан легирланган кремнийда ҳосил бўлган чуқур сатҳларнинг  энергетик спектрларини назорат қилиш имконини берган;
кремний таркибига  вольфрам ва молибден киришмаларининг киритилиши, унинг таркибидаги  бошқариб бўлмайдиган технологик  киришмалар  (O, C) концентрациясини 20-25% га камайтириши аниқланган;
вольфрам ва молибден киришмалари кремний ҳажмида  мавжудлиги иссиқлик таъсирида ҳосил бўладиган термик нуқсонларни концентрациясини 2-3 марта камайтириш имконини берган.