Daliev Xojakbar Sultanovichning

fan doktori (DSc) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon

I. Umumiy ma’lumotlar.

Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): «Noan’anaviy kirindilar bilan legirlangan kremniy va uning asosidagi ko‘p qatlamli strukturalardagi nomuvozanatli jarayonlar», 01.04.10–Yarimo‘tkazgichlar fizikasi (fizika-matematika fanlari).

Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2017.1.DSc/ FM37.

Ilmiy maslahatchi: Zaynabidinov Sirojiddin, fizika-matematika fanlari doktori, professor.

Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: O‘zbekiston Milliy universiteti.

IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasalar nomi, IK raqami: Fizika-texnika instituti, Ion-plazma va lazer texnologiyalari instituti, Samarqand davlat universiteti, DSc.27.06.2017.FM/T.34.01.

Rasmiy opponentlar: Aripov Xayrulla Kabilovich, fizika-matematika fanlari doktori, professor; Zikrillaev Nurulla Fatxullaevich, fizika-matematika fanlari doktori, professor; Kamalov Amangeldi Bazarbaevich, fizika-matematika fanlari doktori.

Yetakchi tashkilot: Farg‘ona politexnika instituti.

Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy va amaliy ahamiyatga molik.

II. Tadqiqotning maqsadi: o‘tish va noyob er elementlar ya’ni noan’anaviy kirishmalar bilan legirlangan kremniyda nuqsonlar hosil bo‘lishi jarayonlari, hamda bu kirishmalarning kremniyli metall-dielektrik-yarimo‘tkazgich (MDYa) strukturalar xususiyatiga ta’sirini o‘rganishdan iborat.

III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi:

metall-dielektrik-yarimo‘tkazgich (MDYa) strukturalarning parametrlarini kam qiymatlarda N_SS  yuza holatlari energetik spektrini, MDYa-strukturalarda har xil elektron jarayonlarning kinetikasini hamda dielektrikda, Si-SiO₂ o‘tishida va uning chegara qismida, yarimo‘tkazgich hajmida elektrik faol nuqsonlarning parametrlarini yuqori aniqlikda o‘zgarmas sig‘im (SS-DLTS) sharoitida (nostatsionar sig‘imli chuqur sathlar spektroskopiyasi) DLTS yordamida aniqlash usuli ishlab chiqilgan;

kremniyda noan’anaviy kirishmalar chuqur sathi hosil bo‘lishi samaradorligini aniqlovchi asosiy omillarni, jumladan toblash harorati va legirlangandan keyingi sovutish tezligini hamda turlicha past va yuqori haroratlarda Ni yoki V diffuziyasi koeffisientining oshishi va o‘stirishda legirlangan kremniyda nuqsonlar hosil bo‘lishi asoslangan;

kremniyga kiritiladigan noan’anaviy kirishmalarning atomlari o‘stirish kirishmalari (kislorod) bilan o‘zaro ta’sirlashib, optik faol kislorodning konsentratsiyasini (10 dan 50% gacha) kamayishiga, aynan kirishmaning turiga qarab nikel`  bilan legirlangan  kremniyning optik shaffofligi yo‘qolishi tajribada aniqlangan;

g-kvantlari va elektronlar bilan nurlantirilgan kremniyli MDYa-strukturalarda dielektrikning hajmida yangi radiatsion nuqsonlar hosil bo‘lishi, katta dozalarda ularning konsentratsiyasining oshishi, yarimo‘tkazgich yuzasida stabil inversion qatlam hosil bo‘lishiga to‘sqinlik qiluvchi tirqishli tok hosil bo‘lishiga olib kelishi ularning kremniy yuzasidan uzoqdagi markazlar bilan bog‘liqligi aniqlangan;

maydoniy elektrodda manfiy va musbat kuchlanishli siljishlarda o‘tib ketuvchi nurlanish ta’sirida MDYa-strukturalarida radiatsion nuqsonlar stabil sharoiti hosil bo‘lishini ta’minlovchi, har xil radiatsion nuqsonlarning joylashish o‘rni va parametrlarini aniqlash usuli yaratilgan;

g-kvantlari va elektronlari ta’sirida MDYa-strukturalarning Si-SiO₂ o‘tish qatlamida kremniy atomi bilan erkin bog‘lanishli  hamda katodli sochilgan SiO₂ strukturalarida, kremniy va kremniy oksidi orasida kengligi 0,6 nm atrofida SiO_x tarkibli qatlamidagi radiatsion nuqsonlar erkin bog‘lanishlarning fazoviy joylashish modeli ishlab chiqilgan;

MDYa-strukturalarda kiritilgan zaryad va dielektrikning hajmiy holati 250°S haroratda, Si-SiO₂ chegara qismida esa sirtiy holatlar 350°S haroratda, Si-SiO₂ o‘tish qatlamidagi xarakterli radiatsion nuqsonlar esa 400°S haroratda batamom termik toblanishi ko‘rsatilgan.

IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi:

O‘tish va noyob er elementlar ya’ni noan’anaviy kirishmalar bilan legirlangan kremniyda nuqsonlar hosil bo‘lishi jarayonlari hamda bu kirishmalarning kremniyli MDYa-strukturalar xususiyatiga ta’sirini tadqiq qilish asosida:

kremniyni termik oksidlashda quruq kislorod atmosferasiga kam miqdordagi xlorni qo‘shish yo‘li bilan ishlab chiqilgan MDYa-strukturalarni tayyorlash texnologiyasi «FOTON» aksiyadorlik jamiyatida  KP304A maydon tranzistorini ishlab chiqishda qo‘llanilgan («O‘zeltexsanoat» aksiyadorlik kompaniyasining 2017 yil 13 sentyabrdagi 03-1862-son ma’lumotnomasi). Ilmiy natijaning qo‘llanishi an’anaviy texnologiyalarga nisbatan oksid qatlamida joylashtirilgan zaryadi va sirtiy holatlari zichligi kam bo‘lgan strukturalar olish imkonini bergan;

ionizatsion nurlanish ta’sirida oksid qatlamda musbat zaryad hosil qilish bo‘yicha olingan natijalar «FOTON» aksiyadorlik jamiyatida KP304A maydon tranzistorlarining parametrlarini barqarorlashtirishda qo‘llanilgan («O‘zeltexsanoat» aksiyadorlik kompaniyasining 2017 yil 13 sentyabrdagi 03-1862-son ma’lumotnomasi). Ilmiy natijaning qo‘llanilishi zaryad tashuvchilarning invertirlangan kanalda  effektiv harakatchanlik nurlanish ta’sirida 4–5 barobarga kamayishi KP304A maydon tranzistoridagi zaryadlarning yig‘ilishi va oqishini boshqarish orqali elektrik parametrlari barqarorligini oshirish imkonini bergan;

ishlab chiqilgan o‘zgarmas sig‘im sharoitida (CC-DLTS) nostatsionar sig‘imli chuqur sathlar spektroskopiyasi yordamida dielektrik hajmida, Si-SiO₂ o‘tishida va uning chegara bo‘limida, yarimo‘tkazgich hajmida har xil nuqsonlar parametrlarini ayrim holda aniqlash usuli F2-FA-F121 «Bir jinsli bo‘lmagan mikroholatlarni shakllanishi va ularni neytronlar yordamida legirlangan kremniyning gidrogenlash paytida fundamental xossalariga ta’siri» mavzusidagi ilmiy grantida (Yadro fizikasi instituti) yarimo‘tkazgichli diodlar parametrlarini barqarorlashtirishda ishlatilgan (Fan va texnologiyalar agentligining 2017 yil 24 avgustdagi FTA-01-01/555-son ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalarning qo‘llanishi neytronlar yordamida legirlangan kremniyda nobirjinsli mikroqo‘ndirilmalarning batamom shakllanishini va ularni gidrogenizatsiyalashgan kremniyning fundamental xarakteristikalariga ta’sirini o‘rganishga imkon bergan.