Sayt test rejimida ishlamoqda

Олимбеков Зафарбек Олимбек ўғлининг
фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон

I. Умумий маълумотлар.
Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи): «Платина, кобальт ва хром билан легирланган кремнийда нуқсонлар ҳосил бўлиш жараёнларининг хусусиятлари», 01.04.10 – Яримўтказгичлар физикаси (физика-математика фанлари). 
Диссертация мавзуси рўйҳатга олинган рақам: В2019.3.PhD/FM.418.
Илмий раҳбар: Утамурадова Шарифа Бекмурадовна, физика-математика фанлари доктори, профессор.
Диссертация бажарилган муассаса номи: Яримўтказгичлар физикаси ва микроэлектроника илмий-тадқиқот институти.
ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Ўзбекистон Миллий университети қошидаги Яримўтказгичлар физикаси ва микроэлектроника илмий-тадқиқот институти, DSc.03/30.12.2019. FM/T.01.12.
Расмий оппонентлар: Арипов Хайрулла Кабилович физика-математика фанлари доктори, профессор; Отажонов Салим Мадрахимович, физика-математика фанлари доктори, профессор.
Етакчи ташкилот: Наманган муҳандислик-қурилиш институти. 
Диссертация йўналиши: назарий ва амалий аҳамиятга молик.
II. Тадқиқотнинг мақсади: Платина, кобальт ва хром каби ўтувчи элементлар билан легирланган кремнийдаги нуқсонлар ҳосил бўлиш жараёнларининг хусусиятларини ва уларга ҳар хил ташқи омилларнинг таъсирини комплекс тадқиқ қилиш.
III. Тадқиқотнинг илмий янгилиги қуйидагилардан иборат:
илк бор сиғимли спектроскопия ёрдамида Pt, Co ва Cr билан легирланган кремнийнинг хоссалари комплекс тадқиқ қилинган, бу киришмаларнинг  юқори ҳароратли диффузия билан кремнийга киритилиши туфайли бир қатор чуқур сатҳларнинг  ҳосил бўлиши аниқланган ва уларнинг энергетик спектри идентификация қилинган. Ўстириш пайтида кремнийга Pt, Co, Cr киритилганда бундай сатҳлар кузатилмаган;
Pt, Cо ва Cr билан легирланган кремнийда чуқур сатҳларнинг ҳосил бўлиш самарадорлиги технологик омилларга: бошланғич кремнийга дастлабки термик ишлов бериш, диффузия ҳарорати ва диффузиядан кейинги намуналарнинг совутилиш тезлигига боғлиқлиги кўрсатилган;
диффузия олди юқори ҳароратли термик ишлов бериш цикллари легирланган кремнийнинг структурасини бошқариш имкониятини бериши аниқланган;
900-12500C оралиқдаги юқори ҳароратли қўшимча ишлов бериш туфайли Pt, Co ёки Cr  билан легирланган кремнийда Еc - 0.30 эВ энергияли янги чуқур сатҳ пайдо бўлиши аниқланган;
Pt, Cо, Cr нинг кремнийга диффузион киритилиши иссиқлик нуқсонлари ҳосил бўлиш самарадорлигини 4-5 марта ва нурланиш нуқсонларини 3-4 марта камайтиришга ва кремний параметрларини барқарорлаштиришга олиб келиши кўрсатилган;
Si ҳажмидаги бошқариб бўлмайдиган технологик Fe каби киришмалари диффузия орқали киритилган  Pt ўтувчи элементлар атомлари  билан ўзаро таъсирлашиб Fe атомларини Si ҳажмидан сиртига тортиб тозалаш мумкинлиги кўрсатилган.
IV. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши.  
Ўтувчи элементлар Pt, Cо ва Cr билан легирланган кремнийда нуқсонлар ҳосил қилиш жараёнларининг хусусиятларини ўрганиш асосида: 
Pt, Cо ва Cr киришмалари легирланган кремнийда  4-5 марта иссиқлик нуқсонлар шакллантириш самарадорлигини пасайишига ва 3-4 марта радиацион нуқсонлар камайиши ва кремний параметрларини барқарорлаштириш учун, шунингдек, тез диффузияланувчи бошқариб бўлмайдиган киришмалардан темир атомларини геттерлаш учун кремний намуналари юзасига ўтувчи металларни суркаш орқали олинган намуналар асосида «FOТON» АЖда кремний асосидаги иссиқликка ва радиацияга чидамли диодлар олишда жорий қилинди (Uzeltexsanoatning 2020 йил 22 июндаги 04-1/1184-сон маълумотномаси). Натижада, кремний сиртида платина қатлами бўлган темир атомларини олиш учун ишлаб чиқилган технологик режимлар ва усуллардан фойдаланиш яримўтказгичли кремнийли диодлар параметрларининг барқарорлигини ошириш имконини берган;
кремнийнинг электрофизик хоссаларини барқарорлаштиришга олиб келувчи платина, кобальт ва хром киришмалари билан легирланган кремнийнинг оптималлаштирилган технологик режимлари; легирланган кремнийда нуқсон тузилишини назорат қилиш йўллари ва намуналар юзасига ўтқизилган ўтувчи элементлар киришмаларини металл қатламидан диффузия йўли билан кремний ҳажмида тез диффузияланувчи бошқариб бўлмайдиган темир каби киришмаларни геттерлаш Тошкент давлат техника университетида бажарилган А-3-73 “Яримўтказгичли материалларда кластерли киришма атомларини тақсимоти ва концентрациясини бошқариш қурилмасини яратиш ва ишга тушириш” мавзусидаги лойиҳада қўлланилган (Ўзбекистон Республикаси Олий ва ўрта махсус таълим вазирлигининг 2020 йил 17 июндаги №89-03-2099 сон маълумотномаси). Илмий натижалардан фойдаланиш яримўтказгич материалларда киришма атомлар кластерларининг тарқалишини назорат қилиш имконини берган.

 

Yangiliklarga obuna bo‘lish