Давлатов Музаффар Абдуҳамидовичнинг 
фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон

I. Умумий маълумотлар.  
Диссертация мавзуси, ихтиссослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи): “Яримўтказгичли (БаТиО3/Си, СиC/Си) юпқа плёнкаларининг ҳосил бўлиши, уларнинг оптик ва электрофизик хоссалари” мавзусидаги 01.04.04 – Физик электроника.
Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: 
Илмий тадқиқот иши бажарилган муассаса номи: Қарши давлат университети 
Илмий раҳбар: Нормурадов Мурадулла Тогаевич, физика-математика фанлари доктори, профессор.
ИК фаолият кўрсатаётган муассаса (муассасалар) номи, ИК рақами: Қарши давлат университети ҳузуридаги PhD.03/2025.27.12.FM.11.02 рақамли Илмий кенгаш. 
Расмий оппонентлар: Андижон давлат университети профессори, Ўзбекистон Фанлар Академияси академиги, Зайнобиддинов Сирожиддин ва Термиз давлат университети профессори Тураев Эргаш Юлдашевич.
Етакчи ташкилот: Шароф Рашидов номидаги Самарқанд давлат университети.
Диссертация йўналиши: назарий ва амалий аҳамиятга молик.
II. Тадқиқотнинг мақсади ион-плазма усули ёрдамида кўп компонентли БаТиО₃/Си, СиC/Си яримўтказгичли юпқа плёнкаларини ҳосил қилиш жараёнлари ҳамда уларнинг элементлар таркибини, фазаларини, оптик ва электрофизик хоссаларини ўрганиш.
III. Тадқиқотнинг илмий янгилиги қуйидагилардан иборат:
тозалиги 99,95% бо'лган барий титанат кукунидан тайёрланган мишен ёрдамида импулсли радиочастотали магнетрон чанглатиш қурилмасида монокристалл кремний тагликларида БаТиО3 юпқа плёнкаларини ҳосил қилишнинг оптимал технологик режими ва чанглатиш қуввати, таглик ҳарорати (250–600°C) ва газ босими параметрлари ишлаб чиқилди ҳамда мазкур режимда 60–160 нм қалинликдаги бир хил, силлиқ ва юқори структуравий сифатли плёнкалар олиш мумкинлиги исботланган;
СЕМ-ЭДС таҳлили ёрдамида магнетрон чанглатиш шароитида ҳосил қилинган БаТиО3/Си ва СиC/Си юпқа плёнкаларнинг сирти ғоваксиз, бир хил ва кимёвий таркиби бўйича стехиометрик (Ба:Ти:О=19,17:19,23:58,11ат.%) эканлиги экспериментал тарзда исботланиб, Риетвелд усули асосида БаТиО3 плёнкаларида кубик (Пм‑3м) кристалл тузилиши ва СиC плёнкаларида кубик (3C–СиC) политипи шаклланишини аниқланиб, плёнка кристаллигининг таглик материалига боғлиқлиги кўрсатилган;
БаТиО3 юпқа плёнкасининг электрофизик хоссалари ҲМС-5000 тизимида Ван дер Пауw усули билан ўлчаниб, заряд ташувчилар ҳаракатчанлиги μ = 20,93 см2/В·с, ҳажмий консентрацияси н = 1,43×1018 см-3 ва электр ўтказувчанлиги σ = 4,78 С/см эканлиги аниқланди ва ҳаракатчанликнинг ҳарорат ортиши билан μ~Т-2.9 қонуни бўйича камайиши ўтказувчанлик зонасида фонон тарқалиши механизмини тасдиқловчи сифатида кўрсатилган;
УВ-Вис спектроскопия маълумотлари асосида Кубелка-Мунк трансформацияси қўлланиб, аморф ва поликристалл БаТиО3 плёнкалар учун тақиқланган зона кенглиги мос равишда Эг = 3,15 эВ ва Эг = 2,86 эВ эканлиги аниқланди ва ушбу қийматлар плёнкаларнинг яримўтказгич ҳамда оптоелектрон қурилмаларда сенсор элементлар, ДРАМ, фотодетекторлар ва кўк ЛЕД қўлланиши учун истиқболли эканлигини асослаб берилган.  
IV.Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши: БаТиО₃/Си ва СиC/Си юпқа плёнкаларнинг ҳосил бо'лиш технологияси ва физик хоссалари бўйича олинган илмий натижалар асосида:
БаТиО₃/Си асосидаги поликристалли юпқа плёнкаларни импулсли радиочастотали магнетрон чанглатиш қурилмасининг қаттиқ фазали ион-плазма усулида ҳосил қилиш технологияси “ФОТОН” акциядорлик жамиятига жорий этилди (“ФОТОН” АЖнинг 2025-йил 21-апрелдаги №70-сонли маълумотномаси асосида). Натижада яримўтказгич элементлари ишлаб чиқариш жараёнида БаТиО₃/Си юпқа плёнкаларини шакллантиришнинг оптимал технологик режимлари амалий синовдан ўтказилди, технологик параметрларнинг барқарорлиги таъминланди ҳамда ҳосил қилинган плёнкаларнинг фотоелектрик ва электрофизик хоссалари ишлаб чиқариш талабларига мос эканлиги тасдиқланди. Бу эса кремний асосидаги фотоелектрик ва яримўтказгич қурилмаларда БаТиО₃ функсионал қатламларидан фойдаланиш имкониятларини кенгайтиришга хизмат қилди.
диссертация доирасида БаТиО₃/Си ва СиC/Си юпқа плёнкаларининг ҳосил бўлиш механизмлари, структуравий ҳолати, оптик ва электрофизик хоссаларига оид илмий натижалар халқаро илмий ҳамжамиятга жорий этилди. Тадқиқот натижалари Сcопус маълумотлар базасида индексланувчи халқаро журналлар ва конференция материалларида чоп этилиб, уларнинг электрон ДОИ идентификаторлари ҳамда халқаро илмий базалардаги ҳаволалари орқали кенг фойдаланишга тақдим этилди. Натижада олинган илмий маълумотлардан яримўтказгичли гетеротузилмалар, ферроелектрик материаллар ва юпқа плёнкалар физикаси бўйича олиб борилаётган тадқиқотларда фойдаланиш имконияти яратилди, шунингдек мазкур натижалар илмий-тадқиқот лабораториялари ва олий таълим муассасаларида ўқув ҳамда илмий фаолиятга татбиқ этилди.