Daliev Shaxrux Xojakbarovichning
fan doktori (DSc) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon

I. Umumiy ma’lumotlar.
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): “Qiyin eruvchi elementlar bilan legirlangan kremniy va kremniyli strukturalarda nuqsonlarning hosil bo‘lish jarayonlari”, 01.04.10–Yarimo‘tkazgichlar fizikasi (fizika-matematika fanlari).
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2019.4.DSc/FM147.
Ilmiy maslahatchi: Mamadalimov Abdugafur Tishabaevich, fizika-matematika fanlari doktori, professor, akademik.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: O‘zbekiston Milliy universiteti huzuridagi Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti.
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: Ion-plazma va lazer texnologiyalari instituti huzuridagi DSc.02/30.12.20.19.FM.65.01 ilmiy kengash asosidagi bir martalik ilmiy kengash.
Rasmiy opponentlar: Aripov Xayrulla Kabilovich, fizika-matematika fanlari doktori, professor; Ismaylov Qanatbay Abdreymovich, fizika-matematika fanlari doktori, professor; Onarkulov Karimberdi Egamberdievich, fizika-matematika fanlari doktori, professor.
Yetakchi tashkilot: Namangan davlat universiteti.
Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi: qiyin eruvchi elementlar kirishmalari bilan legirlangan kremniy va kremniyli strukturalarda nuqsonlar hosil bo‘lish jarayonlarini, shuningdek, mazkur jarayonlarga ba’zi nodir er elementlarining ta’sirini sig‘imli spektroskopiya, yorug‘lik sig‘imi va infraqizil spektroskopiya usullari yordamida kompleks o‘rganishdan iborat.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi:
ilk bor sig‘imli spektroskopiya usullari (DLTS va YoS) yordamida kremniyda qiyin eruvchi elementlar kirishmalari (Mo, W, Ti, Zr va Hf) hosil qiluvchi chuqur sathlarining energetik spektrlari identifikatsiya qilingan;
qiyin eruvchi elementlar (QEE) kirishmalari bilan kremniyni legirlashning fizik-kimyoviy jihatlari va texnologiyasi ishlab chiqilgan;
o‘stirish vaqtida kremniyga QEE kirishmalarini kiritishda ularning ko‘pchiligi elektr faol bo‘lmasligi va ularga uzoq muddatli yuqori haroratli ishlovlar berilganda faollashishi mumkinligi aniqlangan;
ilk bor QEE kirishmalari bilan legirlangan kremniyda nuqsonlar hosil bo‘lish jarayonlarining samaradorligi kremniyni legirlash usullari, boshlang‘ich kremniy strukturasidagi nuqsonlar mukammalligi, dastlabki issiqlik ishlovi berilishi va legirlash texnologik rejimlariga bog‘liqligi aniqlangan;
kremniyda QEE kirishmalari mavjudligi radiatsion nuqsonlar hosil bo‘lish jarayonlari samaradorligi pasayishiga olib kelishi, nazorat namunalariga nisbatan A-markazlarning hosil bo‘lish tezligini 5-6 marotabaga kamaytirishi va E-markazlar hosil bo‘lishiga to‘sqinlik qilishi aniqlangan;
QEE kirishmalari bilan legirlangan kremniy asosida 3-5 mkm to‘lqin uzunligi oralig‘ida fotosezgirlikka, bir tekis fotogeneratsiyaga ega bo‘lgan, issiqlikka barqaror va fotoelektrik parametrlari takrorlanuvchi fotoo‘zgartirgichlar yaratish imkoniyati aniqlangan;
ilk bor kremniy panjarasida nodir er elementlari kirishmalarining mavjudligi QEE kirishmalarining eruvchanligini keskin oshirishi va bir vaqtning o‘zida issiqliq nuqsonlar hosil bo‘lish samaradorligini kamayishi kuzatilgan;
QEE mavjud kremniyga nodir er elementlarini kiritish orqali turli boshqarib bo‘lmaydigan texnologik kirishmalar uchun ichki getter sifatida namoyon bo‘lishi ko‘rsatilgan;
kremniyli MDYa–strukturalar tagligida QEE kirishmalarining mavjudligi MDYa–struktura sirt holatlarining zichligi oshishiga va Si-SiO2 ajralish chegarasida musbat zaryad hosil bo‘lishiga va sirtiy holatlar taqsimotining (Nss) taqiqlangan zona kengligi (Eg) bo‘yicha o‘zgarishiga olib kelishi aniqlangan;
QEE kirishmalarining zaryad bog‘lovchi asboblar tagligida mavjudligi sirtiy holatlar zichligi 1 tartibga va sirtiy rekombinatsiya tezligi esa oddiy zaryad bog‘lovchi asboblarga nisbatan 2 marotabaga kamayishi aniqlangan;
dissertatsiya tadqiqotida rivojlantirilgan va asoslangan ilmiy natijalar “Qiyin eruvchi elementlar bilan legirlangan kremniy va kremniyli ko‘p qatlamli strukturalarda hosil bo‘ladigan jarayonlarning fizik asoslari” nomli yangi ilmiy yo‘nalishni yaratish imkonini bergan.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi.
Qiyin eruvchi elementlar va nodir er elementlari bilan legirlangan monokristall kremniy va kremniy strukturalarida nuqsonlar hosil bo‘lish jarayonlarini o‘rganish natijasida olingan ilmiy natijalar asosida:
kremniy kristallini QEE kirishmalari bilan legirlash texnologiyasi va QEE kirishmalari hamda nodir er elementlarini kiritish orqali boshqarilmaydigan texnologik kirishmalarni ichki getterlash usuli “FOTON” aksionerlik jamiyatida elektron texnika mahsulotlari uchun tajriba namunalarini ishlab chiqishda foydalanilgan (“O‘zeltexsanoat” aksiyadorlik kompaniyasining 2019 yil 24 dekabrdagi 04-1/60-son ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalardan foydalanish elektron texnika mahsulotlari tajriba namunalarining elektrofizik parametrlarini yaxshilash va ishonchliligini oshirish imkonini bergan;
an’anaviy bor va fosfor kirishmalari diffuziyasi jarayonida nodir er elementlarini kiritish va kremniyda boshqarib bo‘lmaydigan kirishmalar uchun nodir er elementlari getter xususiyatlarini namoyon qilishi r+-n-n+- strukturalarli yarimo‘tkazgich diodlar ishlab chiqarish OAJ “Novosibirsk yarimo‘tkazgichli asboblar zavodi KBB”ga joriy etilgan (“Novosibirsk yarimo‘tkazgichli asboblar zavodi KBB” aksionerlik jamiyatining 2019 yil 6 dekabrdagi 04/401-543-son ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalarning qo‘llanishi diodlarning ishdan chiqish toklarini bir tartibga kamaytirish va quvvatni siklik sinovlarda ham ushlab turish imkonini bergan;
kremniyda QEE kirishmalarining eruvchanligi sezilarli darajada oshishining aniqlanishi va kremniy panjarasida nodir er elementlari aralashmalari ishtirokida issiqlik nuqsonlar hosil bo‘lish samaradorligining bir vaqtda pasayishi F2-FA-F118 raqamli “Ionlashtiruvchi nurlanish detektori sifatida ishlatiladigan oksid va ftorli qattiq jismli materiallarida radiatsiyaviy rag‘batlantiruvchi hodisalar qonuniyatlari” fundamental loyihada BaFI kristallarida radiatsion nuqsonlar hosil bo‘lish jarayonida W kirishmalar ta’siri natijalarini tahlil qilishda foydalanilgan (O‘zbekiston Respublikasi Fanlar akademiyasining 2019 yil 5 dekabrdagi 2/1255-3184-son ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalarning qo‘llanilishi radiatsion nuqsonlar hosil bo‘lishida W kirishmasining to‘sqinlik qilishini aniqlash imkonini bergan;
QEE bilan legirlangan kremniy asosidagi strukturalarning 3-5 mkm spektr sohasida fotosezuvchanlik xususiyatiga egaligi, yuqori termik barqarorligi, fotogeneratsiya jarayonining va fotoelektrik parametrlarning barqarorligi asosida mazkur metodikadan foydalanib, yuqori samaradorlikka ega fotoo‘zgartgichlar yaratish bo‘yicha ilmiy-texnika natijalar A-4-12 raqamli “Nanoplazmonikaning effekti va ular yordamida kremniyli r-n-strukturalarda fotoelektrik energiya olish samaradorligini oshirish” fundamental loyihasida kremniyli fotoelektrik r-n-strukturalarini ishlab chiqishda foydalanilgan (Oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligining 2019 yil 30 noyabrdagi 87-03-4624-son ma’lumotnomasi). Ilmiy natijaning qo‘llanishi QEE bilan legirlangan kremniy asosidagi r-n-strukturalarda fotoelektrik energiya olish samaradorligini oshirish imkonini bergan.