Баҳронқулов Завқиддин Эркин ўғлининг
фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон
I. Умумий маълумотлар.
Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи):
“Лютетсий билан легирланган кремнийнинг электрофизик хоссалари ва сирт қатлам морфологияси”, 01.04.10 – Яримўтказгичлар физикаси (физика-математика фанлари).
Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: B2025.1.PhD/FM579.
Илмий раҳбар: Далиев Хожакбар Султанович, физика-математика фанлари доктори, профессор.
Диссертация бажарилган муассаса номи: Ўзбекистон Миллий университети ҳузуридаги Яримўтказгичлар физикаси ва микроелектроника илмий-тадқиқот институти.
ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Мирзо Улуғбек номидаги Ўзбекистон Миллий университети ҳузуридаги Яримўтказгичлар физикаси ва микроелектроника илмий-тадқиқот институти, DSc.03/2025.27.12.FM/Т.01.06.
Расмий оппонентлар: Онарқулов Каримберди Эгамбердиевич, физика-математика фанлари доктори, профессор; Шарибаев Носиржон Юсуфжанович, физика-математика фанлари доктори, профессор.
Етакчи ташкилот: Андижон давлат университети.
Диссертация йўналиши: Назарий ва амалий аҳамиятга молик.
II.Тадқиқотнинг мақсади:
лютетсий билан легирланган кремнийнинг электрофизик хоссалари ва сирт қатлам морфологиясини комплекс ўрганиш, Лу атомларининг кремний кристалл панжарасига таъсири, ҳосил бўладиган нуқсонлар ва чуқур энергетик сатҳларнинг хусусиятларини аниқлашдан иборат.
III.Тадқиқотнинг илмий янгилиги қуйидагилардан иборат:
илк бор н-Си<Лу>намуналарда лютетсий киришмаси аксептор хоссага эга бўлиши, диффиизиядан сўнг н-Си намуналарининг солиштирма қаршилиги кескин ортиб п-типга ўзгариши аниқланган;
илк бор термик ишлов берилган н-Си<Лу> намуналарда электрон тутиш кесимлари
4×10-17 см2, 1.2×10-15 см2 ва ионизатсия энергиялари ЭC–0.23 эВ ва ЭC–0.37 эВ га тенг бўлган тақиқланган зонанинг юқори қисмида иккита чуқур сатҳ ҳосил боʻлиши аниқланган;
илк бор Си<Лу> намуналарининг сирт олди соҳаси комплекс тадқиқ қилиниб, кремнийда лютетсий атомларининг мавжудлиги, Раман спектрида 137 см-1, 230÷260 см-1, 730 см-1 ва 880 см-1 тебраниш (Лу2О3 ЛуСи2, Лу2СиО5, ва Лу2Си2О7 силитсид ва силикат) фазалари ҳосил бўлиши аниқланган;
илк бор Си<Лу> намуналарида ҳосил бўлган Лу2О3, ЛуСи2, Лу2СиО5 бирикмалар ўлчами, фазовий гуруҳлари ва панжара доимийлари рентген дифракция усули ёрдамида аниқланган;
илк бор инфрақизил спектроскопия ёрдамида кремний ҳажмида лютетсий киришмаси мавжудлиги оптик фаол кислород консентратсиясини 37% га камайтириши аниқланган.
IV. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши. Лютетсий билан легирланган кремнийнинг электрофизик хоссалари ва сирт қатлам морфологияси мавзусидаги олинган илмий натижалар асосида:
Нодир ер элементи лютетсий (Лу) атомлари диффузия орқали киритилган кремний намуналари сирт қатламида бирикмалар ҳосил қилиши, хусусан, Лу атомлари киритилиши натижасида кремнийда оптик фаол кислород консентратсиясини камайтириши ҳамда сирт ва ҳажмий кристалл панжаранинг тартибланишини таъминлаши Тошкент давлат техника университетида бажарилган АЛ-202102215 рақамли “Ферромагнит нанокластерли Си билан айланма саратон ҳужайраларини тутиб қолувчи микро суюқлик каналли интеграллашган тизим” (2022-2024 йй.) мавзусидаги Ўзбекистон-Туркия қўшма амалий лойиҳасини бажариш давомида фойдаланилган (Ўзбекистон Республикаси Олий таълим ва инновациялар вазирлиги ҳузуридаги Инновацион ривожланиш агентлигининг 2026-йил 23-январдаги 01-05/319-сонли маълумотномаси). Илмий натижалардан фойдаланиш лютетсий (Лу) элементи атомларининг кремний кристалл панжарасида бирикмалар ҳосил қилиши натижасида кремнийда лютетсий билан боғлиқ наноўлчамли кластер ва фазаларнинг энергетик ҳолатларини баҳолаш имкониятини берган.
Лютетсий билан легирланган кремнийда аниқланган аксепторлик хусусияти, чуқур энергетик сатҳлар ва Лу-Си-О фазаларининг шаклланиш қонуниятлари каби илмий натижалардан Ветнам Дуй Тан университетида 2021-2025-йилларга мўлжалланган “Кремнийли қурилмалар конструксияларида радиатсиявий марказларнинг нуқсон-қўшимчалари муҳандислиги” (рўйхат рақами 20210549, 07.04.2021-й.) лойиҳасини бажаришда жорий этилган (Дуй Тан университети Назарий ва амалий тадқиқотлар институти ҳузуридаги Плазма физикаси ва унинг қўлланилиши маркази маълумотномаси). Натижада, лютетсий билан легирланган кремнийда радиатсион таъсир остида кристалл панжарада юзага келувчи нуқсон-қўшимча комплексларининг ҳосил бўлиш механизмлари ҳамда уларнинг барқарорлиги ва трансформатсия қонуниятлари очиб берилди. Бу эса радиатсияга чидамли ва параметрлари барқарор яримўтказгич тузилмаларни шакллантиришнинг илмий асосларини ишлаб чиқиш имконини берган.
