Bekmuratov Mansur Baxram o‘g‘lining
falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon
I. Umumiy ma’lumotlar.
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi):
“Itterbiy bilan legirlangan kremniyni elektrofizik xususiyatlariga tashqi faktorlarning ta’sirini o‘rganish”, 01.04.10 – Yarimo‘tkazgichlar fizikasi (fizika-matematika fanlari).
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2018.4.PhD/FM296.
Ilmiy rahbar: Daliev Xojakbar Sultanovich, fizika-matematika fanlari doktori, professor.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: O‘zbekiston Milliy Universiteti huzuridagi Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti.
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: Mirzo Ulug‘bek nomidagi O‘zbekiston Milliy universiteti huzuridagi Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti, DSc.03/2025.27.12.FM/T.01.06.
Rasmiy opponentlar: Zikrillaev Nurullo Fathullaevich, fizika-matematika fanlari doktori, professor; Mamadalieva Lola Kamildjanovna, texnika fanlari doktori, professor;
Yetakchi tashkilot: Namangan davlat texnika universiteti
Dissertatsiya yo‘nalishi: Nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II.Tadqiqotning maqsadi:
kompleks usullar yordamida eritmadan o‘stirish hamda diffuziya jarayonida itterbiy atomlari kiritilgan kremniy namunalarining elektrofizik xususiyatlariga tashqi faktorlar ta’sirini hamda kremniy tarkibidagi texnologik kirishmalar bilan itterbiy atomlarining o‘zaro ta’sirlashuvini tadqiq qilishdan iborat.
III.Tadqiqotning ilmiy yangiligi quyidagilardan iborat:
ilk bor chuqur sathlar nostatsionar sig‘imli spektroskopiyasi (DLTS), Atom kuch mikroskopiya va Raman spektroskopiyasi usullari yordamida kremniyda itterbiy kirishmasi hosil qiluvchi chuqur sathlarining energetik spektrlari va strukturaviy nuqsonlar identifikatsiya qilingan;
itterbiy kirishmasi bilan kremniyni legirlashning fizik-kimyoviy jihatlari va texnologiyasi ishlab chiqilgan, o‘stirish vaqtida kremniyga itterbiy kirishmasi kiritishda Yb atomlari elektrofaol bo‘lmasligi va Si<Yb> ga uzoq muddatli yuqori harorat ishlovlar berish natijasida ular faollashishi aniqlangan;
ilk bor itterbiy kirishmasi bilan legirlangan kremniyda nuqsonlar hosil bo‘lish jarayonlarining samaradorligi kremniyni legirlash usullari, boshlang‘ich kremniy strukturasidagi nuqsonlar mukammalligi, dastlabki termik ishlov berilishi va legirlash texnologik rejimlariga bog‘liqligi aniqlangan;
yuqori haroratli diffuziya usulida itterbiy kiritilgan kremniyda Ec - 0,21 eV va Ec - 0,36 eV energiyali chuqur sathlar hosil bo‘lishi hamda Si<Yb> namunalarida termik nuqsonlarning hosil bo‘lish effektivligining pasayishi va kremniyning parametrlari stabillashishi aniqlangan;
kremniyda itterbiy kirishmasi mavjudligi radiatsion nuqsonlar hosil bo‘lish jarayonlari samaradorligi pasayishiga olib kelishi, nazorat namunalariga nisbatan A-markazlarning hosil bo‘lish tezligini 4-5 marotabaga kamaytirishi va E-markazlar hosil bo‘lishiga to‘sqinlik qilishi aniqlangan;
ilk bor infraqizil (IQ) spektroskopiyasi yordamida kremniy hajmida itterbiy kirishmasi mavjudligi optik faol kislorod konsentratsiyasini 30–40% ga kamaytirishi aniqlangan;
ilk bor Atom kuch mikroskopi fazaviy tahlili Si<Yb> namunalarida itterbiy atomlarining sirtoldi qatlamtda notekis taqsimlanishi natijasida kremniy sirtida YbSi2 fazasining shakllanishi aniqlangan, Raman spektrlarida esa Yb-O bog‘lar hosil bo‘lishi aniqlangan.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi. Itterbiy bilan legirlangan kremniyning elektrofizik xossalariga tashqi omillarning ta’sirini o‘rganish hamda ularga texnologik omillarning ta’sirini kompleks tadqiq qilish asosida:
Kremniyda itterbiy atomlarining mavjudligi radiasion nuqsonlarning hosil bo‘lishini sekinlashtirishi, A-markazlar va E-markazlarni shakllanish samaradorligi oddiy kremniyga qaraganda 1-1,5 marta kamayishi, hamda Yb atomlarining konsentratsiyasi qanchalik yuqori bo‘lsa, radiasion nuqsonlarning konsentratsiyasi shunchalik past bo‘lishi kabi olingan tadqiqot natijalardan MDH Nanotexnologiya xalqaro innovasion markazida A.Tamonov rahbarligida 2023-yilda bajarilgan “Itterbiy bilan legirlangan kremniyning xossalariga radiatsiya va turli xil termik ishlov berishning ta’sirini o‘rganish” mavzusidagi lmiy loyihada joriy etilgan (MDH Nanotexnologiya xalqaro innovasion markazining 2023 yil 19 iyundagi 010/20-son ma’lumotnomasi). Natijada Yb bilan legirlangan kremniyning nuqsonli strukturasini boshqarish va kremniy hajmini turli boshqarib bo‘lmaydigan kirishmalardan tozalash imkonini bergan;
Kremniyda itterbiy atomlari diffuziya rejimlari, o‘tkazuvchanlik turini boshqarish, optik faol kislorod markazlari va chuqur energetik sathlar kinetikasiga oid ilmiy natijalar «FOTON» AJ da nazorat namunalari uchun texnologik jarayonlarni optimallashtirish, radiatsiyaga bardosh strukturalarni olishda joriy etilgan («FOTON» aksionerlik jamiyatining 2025 yil 3 dekabrdagi 448-son ma’lumotnomasi). Natijada namunalarda A- va E-markazlar generatsiyasi 2÷5 marta, termik va radiatsion nuqsonlar konsentratsiyasi esa 3–4 martagacha kamayishi, nazorat namunalarining elektrofizik parametrlari γ-nurlantirish va kuchaytirilgan termik ishlov sharoitida ham barqaror saqlangan.