Бекмуратов Мансур Бахрам ўғлининг 
фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон

I. Умумий маълумотлар. 
Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи): 
“Иттербий билан легирланган кремнийни электрофизик хусусиятларига ташқи факторларнинг таъсирини ўрганиш”, 01.04.10 – Яримўтказгичлар физикаси (физика-математика фанлари).
Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: В2018.4.PhD/FM296.
Илмий раҳбар: Далиев Хожакбар Султанович, физика-математика фанлари доктори, профессор.
Диссертация бажарилган муассаса номи: Ўзбекистон Миллий Университети ҳузуридаги Яримўтказгичлар физикаси ва микроелектроника илмий-тадқиқот институти.
ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Мирзо Улуғбек номидаги Ўзбекистон Миллий университети ҳузуридаги Яримўтказгичлар физикаси ва микроелектроника илмий-тадқиқот институти, DSc.03/2025.27.12.FM/Т.01.06.
Расмий оппонентлар: Зикриллаев Нурулло Фатҳуллаевич, физика-математика фанлари доктори, профессор; Мамадалиева Лола Камилджановна, техника фанлари доктори, профессор; 
Етакчи ташкилот: Наманган давлат техника университети
Диссертация йўналиши: Назарий ва амалий аҳамиятга молик.
II.Тадқиқотнинг мақсади: 
комплекс усуллар ёрдамида эритмадан ўстириш ҳамда диффузия жараёнида иттербий атомлари киритилган кремний намуналарининг электрофизик хусусиятларига ташқи факторлар таъсирини ҳамда кремний таркибидаги технологик киришмалар билан иттербий атомларининг ўзаро таъсирлашувини  тадқиқ қилишдан иборат.
III.Тадқиқотнинг илмий янгилиги қуйидагилардан иборат:
илк бор чуқур сатҳлар ностатсионар сиғимли спектроскопияси (ДЛТС), Атом куч микроскопия ва Раман спектроскопияси усуллари ёрдамида кремнийда иттербий киришмаси ҳосил қилувчи чуқур сатҳларининг энергетик спектрлари ва структуравий нуқсонлар  идентификатсия қилинган;
иттербий киришмаси билан кремнийни легирлашнинг физик-кимёвий жиҳатлари ва технологияси ишлаб чиқилган,  ўстириш вақтида кремнийга иттербий киришмаси киритишда Йб атомлари электрофаол бўлмаслиги ва Си<Йб> га узоқ муддатли юқори ҳарорат ишловлар бериш натижасида улар фаоллашиши аниқланган;
илк бор иттербий киришмаси билан легирланган кремнийда нуқсонлар ҳосил бўлиш жараёнларининг самарадорлиги кремнийни легирлаш усуллари, бошланғич кремний структурасидаги нуқсонлар мукаммаллиги, дастлабки термик ишлов берилиши ва легирлаш технологик режимларига боғлиқлиги аниқланган; 
юқори ҳароратли диффузия усулида иттербий киритилган кремнийда Еc - 0,21 эВ ва                       Еc - 0,36 эВ энергияли чуқур сатҳлар  ҳосил бўлиши ҳамда  Си<Йб> намуналарида термик нуқсонларнинг ҳосил бўлиш эффективлигининг пасайиши ва кремнийнинг параметрлари стабиллашиши аниқланган;
кремнийда иттербий киришмаси мавжудлиги радиатсион нуқсонлар ҳосил бўлиш жараёнлари самарадорлиги пасайишига олиб келиши, назорат намуналарига нисбатан А-марказларнинг ҳосил бўлиш тезлигини 4-5 маротабага камайтириши ва Э-марказлар ҳосил бўлишига тўсқинлик қилиши аниқланган; 
илк бор инфрақизил (ИҚ) спектроскопияси ёрдамида  кремний ҳажмида иттербий киришмаси мавжудлиги  оптик фаол кислород консентратсиясини 30–40% га камайтириши аниқланган;
илк бор Атом куч микроскопи фазавий таҳлили Си<Йб> намуналарида иттербий атомларининг сиртолди қатламтда нотекис тақсимланиши натижасида кремний сиртида ЙбСи2 фазасининг шаклланиши аниқланган,  Раман спектрларида эса Йб-О боғлар ҳосил бўлиши аниқланган.
IV. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши. Иттербий билан легирланган кремнийнинг электрофизик хоссаларига ташқи омилларнинг таъсирини ўрганиш ҳамда уларга технологик омилларнинг таъсирини комплекс тадқиқ қилиш асосида:
Кремнийда иттербий атомларининг мавжудлиги радиасион нуқсонларнинг ҳосил бўлишини секинлаштириши, А-марказлар ва Э-марказларни шаклланиш самарадорлиги оддий кремнийга қараганда 1-1,5 марта камайиши, ҳамда Йб атомларининг консентратсияси қанчалик юқори бўлса, радиасион нуқсонларнинг консентратсияси шунчалик паст бўлиши каби олинган тадқиқот натижалардан МДҲ Нанотехнология халқаро инновасион марказида А.Тамонов раҳбарлигида 2023-йилда бажарилган “Иттербий билан легирланган кремнийнинг хоссаларига радиатсия ва турли хил термик ишлов беришнинг таъсирини ўрганиш” мавзусидаги лмий лойиҳада жорий этилган (МДҲ Нанотехнология халқаро инновасион марказининг 2023 йил 19 июндаги 010/20-сон маълумотномаси). Натижада Йб билан легирланган кремнийнинг нуқсонли структурасини бошқариш ва кремний  ҳажмини турли бошқариб бўлмайдиган  киришмалардан тозалаш имконини берган;
Кремнийда иттербий атомлари диффузия режимлари, ўтказувчанлик турини бошқариш, оптик фаол кислород марказлари ва чуқур энергетик сатҳлар кинетикасига оид илмий натижалар «ФОТОН» АЖ да назорат намуналари учун технологик жараёнларни оптималлаштириш, радиатсияга бардош структураларни олишда жорий этилган («ФОТОН» аксионерлик жамиятининг 2025 йил 3 декабрдаги 448-сон маълумотномаси). Натижада намуналарда А- ва Э-марказлар генератсияси 2÷5 марта, термик ва радиатсион нуқсонлар консентратсияси эса 3–4 мартагача камайиши, назорат намуналарининг электрофизик параметрлари γ-нурлантириш ва кучайтирилган термик ишлов шароитида ҳам барқарор сақланган.

Yangiliklarga obuna bo‘lish