Akbarov Shuhratjon Kosimovichning
falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon
I. Umumiy ma’lumotlar.
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): “Diffuziya parametrlarining 3d-elementlar bilan legirlangan kremniyning elektrofizik xususiyatlariga ta'siri” 01.04.10–“Yarimo‘tkazgichlar fizikasi” ixtisosligi bo‘yicha falsafa doktori (PhD) (fizika-matematika fanlari).
Dissertatsiya mavzusi ro‘yhatga olingan raqam: B2024.1.PhD/FM1038
Ilmiy rahbar: Turgunov Nozimjon Abdumannopovich, fizika-matematika fanlari doktori., professor.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: Andijon davlat universiteti
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: Namangan davlat texnika universiteti, PhD.03/2025.27.12.FM/T.15.05.
Rasmiy opponentlar: Namangan davlat texnika universiteti professori, fizika-matematika fanlari doktori, Ikramov Rustam G‘ulomjonovich; Toshkent davlat texnika universiteti professori? fizika-matematika fanlari doktori, Ayupov Kutup Sautovich.
Yetakchi tashkilot: Farg‘ona davlat universiteti.
Dissertatsiya yo‘nalishi: ilmiy amaliy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi: kobalt va nikel bilan legirlangan kremniydagi kirishma to‘plamlarining morfologik kattaliklariga diffuziya parametrlarining ta’sirini, shuningdek kirishma to‘plamlarining kremniyni elektrofizik xususiyatlariga ta’sirini o‘rganishdan iborat.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi: kremniyga kobalt va nikel kirishmalarini diffuziya harorati oraligʼi T=1250÷1300 ºS va diffuziya vaqti t=2÷4 davomida legirlaganda, uning hajmida turli morfologik kattaliklarga ega bo‘lgan kirishma atomlari to‘plamlari hosil bo‘lishi aniqlangan;
n-Si<Co> namunalari hajmida diffuziya harorati T=1300 ºS, davomiyligi 2 soat, sovutish tezligi 400 ºS/s ni tashkil etganda o‘lchamlari 450 nm gacha bo‘lgan ignasimon va disksimon kirishma nanoto‘plamlari, sovutish tezligi 1 ºS/s tashkil etganda esa o‘lchamlari 800 nm gacha bo‘lgan linzasimon va sferasimon kirishma nanoto‘plamlari hosil bo‘lishi aniqlangan;
p-Si<Co> namunalari hajmida diffuziya harorati T=1300 ºS, davomiyligi 2 soat, sovutish tezligi 400 ºS/s ni tashkil etganda o‘lchamlari 500 nm gacha bo‘lgan ignasimon va disksimon kirishma nanoto‘plamlari, sovutish tezligi 1 ºS/s tashkil etganda esa o‘lchamlari 1,5 mkm gacha bo‘lgan sferasimon shakldagi kirishma mikroto‘plamlari shakllanishi aniqlangan;
Co bilan legirlangan Si namunalari hajmida diffuziya harorati T=1275 ºS, davomiyligi 2 soat, sovutish tezligi 250 ºS/s ni tashkil etganda o‘lchamlari 500 nm gacha bo‘lgan asosan bir qatlamli kirishma nanoto‘plamlari, sovutish tezligi 0,05 ºS/s ni tashkil etganda esa o‘lchamlari 700 nm gacha bo‘lgan ko‘p qatlamli kirishma nanoto‘plamlari hosil bo‘lishi aniqlangan;
Ni bilan legirlangan Si namunalarida diffuziya harorati T=1275 ºS, davomiyligi 2 soat, sovutish tezligi 250 ºS/s ni tashkil etganda o‘lchamlari 2 mkm gacha, sovutish tezligi 0,05 ºS/s ni tashkil etganda esa o‘lchamlari 7 mkm gacha bo‘lgan kirishma mikroto‘plamlari shakllanishi aniqlangan;
kobalt va nikel bilan legirlangan kremniy namunalarida hosil bo‘luvchi kirishma to‘plamlari hajmida asosiy kirishma atomlari Co va Ni dan tashqari Fe, Cu, O va C kabi texnolgik kirishmalar atomlari ham mavjud bo‘lib, ularning miqdori asosiy kirishma atomlariga nisbatan 0,01% ulushini tashkil etishi aniqlangan;
n-Si<Co> namunalari uchun bosimning P≥0,3 GPa qiymati va n-Si<Ni> namunalari uchun P≥0,4 GPa qiymatlarida ularning hajmida hosil bo‘luvchi kirishma to‘plamlarining parchalanishi aniqlangan;
kobalt bilan legirlangan kremniyning hajmida hosil bo‘luvchi kirishma to‘plamlarining dastlab F=21015÷51016 n/sm2 nurlanish intervalida kichik o‘lchamli (<0,4 mkm) kirishma to‘plamlari, so‘ngra esa nurlanishning F>51016 n/sm2 qiymatlarida nisbatan katta o‘lchamli (>0,5 mkm) ko‘pqatlamli kirishma to‘plamlari parchalanishi aniqlangan.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi. Kremniy monokristalini 3d-o‘tish guruhi elementlari kirishmalari bilan legirlaganda hosil bo‘luvchi kirishma to‘plamlari evaziga uning elektrofizik xususiyatlarining tashqi omillar ta’sirida o‘zgarishi bo‘yicha olingan ilmiy natijalar asosida:
kobalt va nikel bilan yuqori haroratlarda (T=1250÷1300 °C), t = 2÷4 soat davomida legirlangan, so‘ng diffuziyadan keyin 0,05÷400 °C/s tezlik oralig‘ida sovutilgan kremniyda turli morfologik kattaliklarga ega bo‘lgan kirishma to‘plamlarining shakllanishining optimal texnologik sharoitlari hamda ularning kremniy va uning asosidagi tuzilmalar elektrofizik xususiyatlariga ta’siri bo‘yicha olingan natijalardan Belarus Respublikasi “Materialshunoslik, yangi materiallar va texnologiyalar” ilmiy tadqiqotlar davlat dasturi “Kondensirlangan holat fizikasi va yangi funksional materiallarni yaratish hamda ularni olish texnologiyalari” kichik dasturining 1.3.1 vazifasi “Kremniyli asboblar strukturalarida radiatsiyaviy-induksiyalangan markazlarning nuqson-kirishma muhandisligi” loyihasini amalga oshirish jarayonida foydalanilgan (Belarus FA materialshunoslik bo‘yicha ilmiy-amaliy markazining 2024 yil 6 martdagi ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalardan foydalanish kobalt va nikel bilan legirlangan kremniy asosida mikroelektron asboblar tayyorlash va yangi funksional imkoniyatli yarimo‘tkazgichli strukturalarni ishlab chiqishga imkon bergan;
yuqori haroratda (1300 °C) diffuziya usuli bilan legirlangan hamda diffuziyadan keyin turli xil sovutish tezligida sovutilgan n- va p-tipli Si namunalari hajmida hosil bo‘luvchi kirishma to‘plamlari morfologik parametrlarini o‘rganish bo‘yicha olingan natijalardan, kobalt bilan legirlangan kremniy namunalari hajmida hosil bo‘luvchi kirishma to‘plamlarining F>210¹⁵ n/sm² nurlanish dozalari ta’sirida parchalanish jarayoni bosqichma-bosqich amalga oshishi, dastlab F = 210¹⁵–510¹⁶ n/sm² oralig‘ida kichik o‘lchamli (<0,4 mkm) kirishma to‘plamlari, keyin esa F>510¹⁶ n/sm² da katta o‘lchamli (>0,5 mkm) ko‘p qatlamli kirishma to‘plamlarining parchalanishi natijalaridan “FOTON” AJda ishlab chiqariladigan yarimo‘tkazgichli kremniy asosidagi elektron qurilmalar tayyorlashda foydalanilgan (“O‘zeltexsanoat” AJning 2024 yil 11 iyundagi №04-3/1122-sonli ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalardan foydalanish kobalt bilan legirlangan kremniy tajriba namunalarining elektrofizik parametrlarini termik tavlash ta’sirida boshqarish imkonini bergan.