Мухтаров Зиядулла Эргашевичнинг

фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон

I. Умумий маълумотлар.

Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи): «Турли табиатли материалларнинг иккиламчи манфий ион эмиссиясини ишқорий металлар ионлари имплантацияси ва қиздириш билан стимуллаштириш», 01.04.04–Физик электроника (физика-математика фанлари).

Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: B2018.3.PhD/FM277.

Илмий раҳбар: Исаханов Зинаобидин Абилпейзович, физика-математика фанлари доктори.

Диссертация бажарилган муассаса номи: Ион-плазма ва лазер технологиялари институти.

ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Ион-плазма ва лазер технологиялари институти, DSc.30.05.2018.FM./T.65.01.

Расмий оппонентлар: Ташмухаммедова Дилноза Артикбаевна, физика-математика фанлари доктори, профессор; Максимов Сергей Евлантиевич, физика-математика фанлари номзоди.

Етакчи ташкилот: Ўзбекистон Миллий университети.

Диссертация йўналиши: назарий ва амалий аҳамиятга молик.

II. Тадқиқотнинг мақсади: қаттиқ жисм сирт ости қатламларида ишқорий металлар ионларини имплантация қилиш ва қиздириш билан иккиламчи манфий ион эмиссиясини стимуллаштиришнинг самарадор усулларини ишлаб чиқиш ва тадқиқ қилинаётган намуналар сиртининг элемент таркибини ярим миқдорий таҳлил қилишдан иборат.

III. Тадқиқотнинг илмий янгилиги:

қаттиқ жисм сирт ости қатламига электромусбат металл ионларини имплантация қилиш ва кейинги қиздиришга асосланган иккиламчи манфий ионлар эмиссиясини стимуллаштиришнинг самарадор усули яратилган;

бир хил шароитда манфий ионлар иккиламчи ионлар масс-спектрометрияси мусбат ионлар иккиламчи ионлар масс-спектрометриясига нисбатан ўрганилаётган материаллар киришма атомлари таркиби тўғрисида кўпроқ маълумот олишга имкон бериши аниқланган;

сирт чиқиш ишининг максимал камайиши ва манфий ионлар максимал чиқишига олиб келадиган ионлар имплантация ва қиздиришнинг оптимал шароитлари ўрнатилган (сирт чиқиш ишининг 1.9÷2 эВ қийматларида барча элемент пикларининг интенсивлиги максимал даражага етиши кўрсатилган);

сирт қатламларидан эмитирланган манфий ионлар концентарцияси ва чиқиш иши ўзгариши орасидаги ўзаро боғлиқлик қонунияти аниқланган жумладан,  15-20 кэВ энергияли Cs⁺ ионлар билан имплантация қилинган Мо вакуумда қиздирилганда чиқиш иши 1.9 эВ гача, кислород атмосферасида қиздирилганда эса 1.8 эВ гача камайиши кўрсатилган;

ҳар хил табиатли стандарт ва саноат материалларининг юзаси элементар ва кимёвий таркибининг концентрациявий миқдори иккиламчи манфий ионлар эмиссияси стимуллаштириш усули орқали аниқланиб, иккиламчи манфий ионлар эмиссияси стимуллаштириш усули иккиламчи ионлар масс-спектрометрияси ва электрон Оже-спектроскопияси усуллари билан аниқлаб бўлмайдиган қатор киришма атомларини аниқлаш мумкинлиги кўрсатилган;

саноат намуналари атомларининг чуқурлик бўйича концентрациявий тақсимоти профили олинган.

IV. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши.

Материалларнинг сирт қатламларига актив металл ионларини имплантация қилиш орқали иккиламчи манфий ион эмиссиясини стимуллаштиришнинг самарали усулини яратиш асосида:

стимуллаш усулида юзани минимал чиқиш ишини турғун ҳолатда ушлаб туришни таъминлашда иккиламчи манфий ионлар эмиссиясини рағбатлантириш учун олдиндан ишқорий металл ионларини имплантация қилиш ва кейинги қиздириш турига, энергиясига, ионлар дозасига, қизиш температурасига боғлиқлик тажриба натижалари хорижий журналларда (Applied physics 118, 073303 (2015), IF: 2.101; Technical Physics, 2015, V.60, № 4, pp. 621-623, IF: 0.702; Docteur en sciences de L^\'UNIVERSITE Paris XI, Orsay, Yang XIANG, 2012  ва бошқалар) турли табиатли материалларнинг юза ва юза ости қатламларида жуда кам киришма атомларининг концентрациясини аниқлашда фойдаланилган. Илмий натижаларнинг қўлланиши қаттиқ жисм юза ва юза ости қатламларида жуда кам киришма атомларининг концентрациясини (0,0001 ат.%) аниқлаш имконини берган;

сиртнинг чиқиш ишини камайтириш ва бу туфайли сиртдан манфий ионларнинг эмиссиясини рағбатлантириш ва намуналарнинг элементар таркибини миқдорий таҳлил қилиш бўйича олинган натижалар ФА-Ф2-Ф162 рақамли «Кўп атомли зарраларнинг қаттиқ жисм сирти билан ўзаро таъсири» лойиҳада иккиламчи ночизиқли ноаддитив жараёнларни тадқиқ қилишда бомбардимон қилиш учун ишлатиладиган Au_m^-(m=1-9), Si_m^-(m=1-6), C_m^-(m=1-12), Bi_m^-(m=1-10) каби кластер ионларининг дастасини олиш ҳамда тадқиқ қилинаётган материалларда атомларнинг чуқурлик бўйича тақсимотини аниқлашда фойдаланилган (Ўзбекистон Республикаси Фанлар академиясининг 2019 йил 14 мартдаги 2/1255-728-сон маълумотномаси). Илмий натижалардан фойдаланиш иккиланган масс-спектрометрда 4-20 кэВ энергияли тезликдаги зарраларнинг сирт билан ўзаро таъсирида рўй берадиган молекуляр эффектлар аниқлаш имконини берган.