Muxtarov Ziyadulla Ergashevichning
falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon
I. Umumiy ma’lumotlar.
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): «Turli tabiatli materiallarning ikkilamchi manfiy ion emissiyasini ishqoriy metallar ionlari implantatsiyasi va qizdirish bilan stimullashtirish», 01.04.04–Fizik elektronika (fizika-matematika fanlari).
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2018.3.PhD/FM277.
Ilmiy rahbar: Isaxanov Zinaobidin Abilpeyzovich, fizika-matematika fanlari doktori.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: Ion-plazma va lazer texnologiyalari instituti.
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: Ion-plazma va lazer texnologiyalari instituti, DSc.30.05.2018.FM./T.65.01.
Rasmiy opponentlar: Tashmuxammedova Dilnoza Artikbaevna, fizika-matematika fanlari doktori, professor; Maksimov Sergey Evlantievich, fizika-matematika fanlari nomzodi.
Yetakchi tashkilot: O‘zbekiston Milliy universiteti.
Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi: qattiq jism sirt osti qatlamlarida ishqoriy metallar ionlarini implantatsiya qilish va qizdirish bilan ikkilamchi manfiy ion emissiyasini stimullashtirishning samarador usullarini ishlab chiqish va tadqiq qilinayotgan namunalar sirtining element tarkibini yarim miqdoriy tahlil qilishdan iborat.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi:
qattiq jism sirt osti qatlamiga elektromusbat metall ionlarini implantatsiya qilish va keyingi qizdirishga asoslangan ikkilamchi manfiy ionlar emissiyasini stimullashtirishning samarador usuli yaratilgan;
bir xil sharoitda manfiy ionlar ikkilamchi ionlar mass-spektrometriyasi musbat ionlar ikkilamchi ionlar mass-spektrometriyasiga nisbatan o‘rganilayotgan materiallar kirishma atomlari tarkibi to‘g‘risida ko‘proq ma’lumot olishga imkon berishi aniqlangan;
sirt chiqish ishining maksimal kamayishi va manfiy ionlar maksimal chiqishiga olib keladigan ionlar implantatsiya va qizdirishning optimal sharoitlari o‘rnatilgan (sirt chiqish ishining 1.9÷2 eV qiymatlarida barcha element piklarining intensivligi maksimal darajaga etishi ko‘rsatilgan);
sirt qatlamlaridan emitirlangan manfiy ionlar konsentarsiyasi va chiqish ishi o‘zgarishi orasidagi o‘zaro bog‘liqlik qonuniyati aniqlangan jumladan, 15-20 keV energiyali Cs+ ionlar bilan implantatsiya qilingan Mo vakuumda qizdirilganda chiqish ishi 1.9 eV gacha, kislorod atmosferasida qizdirilganda esa 1.8 eV gacha kamayishi ko‘rsatilgan;
har xil tabiatli standart va sanoat materiallarining yuzasi elementar va kimyoviy tarkibining konsentratsiyaviy miqdori ikkilamchi manfiy ionlar emissiyasi stimullashtirish usuli orqali aniqlanib, ikkilamchi manfiy ionlar emissiyasi stimullashtirish usuli ikkilamchi ionlar mass-spektrometriyasi va elektron Oje-spektroskopiyasi usullari bilan aniqlab bo‘lmaydigan qator kirishma atomlarini aniqlash mumkinligi ko‘rsatilgan;
sanoat namunalari atomlarining chuqurlik bo‘yicha konsentratsiyaviy taqsimoti profili olingan.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi.
Materiallarning sirt qatlamlariga aktiv metall ionlarini implantatsiya qilish orqali ikkilamchi manfiy ion emissiyasini stimullashtirishning samarali usulini yaratish asosida:
stimullash usulida yuzani minimal chiqish ishini turg‘un holatda ushlab turishni ta’minlashda ikkilamchi manfiy ionlar emissiyasini rag‘batlantirish uchun oldindan ishqoriy metall ionlarini implantatsiya qilish va keyingi qizdirish turiga, energiyasiga, ionlar dozasiga, qizish temperaturasiga bog‘liqlik tajriba natijalari xorijiy jurnallarda (Applied physics 118, 073303 (2015), IF: 2.101; Technical Physics, 2015, V.60, № 4, pp. 621-623, IF: 0.702; Docteur en sciences de L\'UNIVERSITE Paris XI, Orsay, Yang XIANG, 2012 va boshqalar) turli tabiatli materiallarning yuza va yuza osti qatlamlarida juda kam kirishma atomlarining konsentratsiyasini aniqlashda foydalanilgan. Ilmiy natijalarning qo‘llanishi qattiq jism yuza va yuza osti qatlamlarida juda kam kirishma atomlarining konsentratsiyasini (0,0001 at.%) aniqlash imkonini bergan;
sirtning chiqish ishini kamaytirish va bu tufayli sirtdan manfiy ionlarning emissiyasini rag‘batlantirish va namunalarning elementar tarkibini miqdoriy tahlil qilish bo‘yicha olingan natijalar FA-F2-F162 raqamli «Ko‘p atomli zarralarning qattiq jism sirti bilan o‘zaro ta’siri» loyihada ikkilamchi nochiziqli noadditiv jarayonlarni tadqiq qilishda bombardimon qilish uchun ishlatiladigan Aum-(m=1-9), Sim-(m=1-6), Cm-(m=1-12), Bim-(m=1-10) kabi klaster ionlarining dastasini olish hamda tadqiq qilinayotgan materiallarda atomlarning chuqurlik bo‘yicha taqsimotini aniqlashda foydalanilgan (O‘zbekiston Respublikasi Fanlar akademiyasining 2019 yil 14 martdagi 2/1255-728-son ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalardan foydalanish ikkilangan mass-spektrometrda 4-20 keV energiyali tezlikdagi zarralarning sirt bilan o‘zaro ta’sirida ro‘y beradigan molekulyar effektlar aniqlash imkonini bergan.
