Turdaliev Temur Kamilovichning
falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon
I. Umumiy ma’lumotlar.
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): “G‘ovak kremniy va kremniy oksidi sirtida atom qatlamlab cho‘ktirish usulida olingan TiO2 va ZnO nanoqatlamlarining strukturaviy va optik xossalari”, 01.04.12 - Nanomateriallar fizikasi va texnologiyasi (fizika-matematika fanlari).
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2024.4.PhD/FM1213.
Ilmiy rahbar: Ashurov Xatam Baxranovich, texnika fanlari doktori, professor.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: U.A. Arifov nomidagi Ion-plazma va lazer texnologiyalari instituti.
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: Ion-plazma va lazer texnologiyalari instituti, DSc.02/30.12.2019.FM/T.65.01.
Rasmiy opponentlar: Nuritdinov Izzatillo, fizika-matematika fanlari doktori, professor. Quvondiqov Vahobjon Ortiqovich, fizika-matematika fanlari doktori, kat.i.x.
Yetakchi tashkilot: Islom Karimov nomidagi Toshkent davlat texnika universiteti.
Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi:
Makro G‘ovak kremniy, kremniy, kvars tagliklar sirtida ALD usulida TiO2 va ZnO qatlamlarini sintez qilish, hamda ularning morfologik, strukturaviy, optik xususiyatlarini o‘rganish, shuningdek, sintez muhiti va keyingi termik ishlov berishning fazaviy o‘zgarishlarga ta’sirini o‘rganish.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi:
- ilk bor dietilsink va suv yordamida termik ALD usulida, taglik harorati 200°C bo‘lgan sharoitda, makrog‘ovak va tekis kremniy tagligida qalinligi ~50 nm bo‘lgan ZnO qatlamlari sintez qilinganda, vyursit fazasiga tegishli geksagonal nanokristall tuzilmaning izotrop polikristall holda shakllanishi aniqlandi;
- ilk bor titan izopropoksidi va suv yordamida termik ALD usulida, makrog‘ovak va tekis kremniy tagligida 225°C taglik haroratida qalinligi ~100 nm bo‘lgan TiO2 qatlamlari sintez qilinganda, tarkibida anataz fazasi mavjud bo‘lgan izotrop polikristall tuzilma shakllanishi aniqlandi;
- ilk bor 240-1000 nm spektral oraliqda ALD usulida sintez qilingan TiO2 va ZnO qatlamlarining optik konstantalarini yuqori aniqlikda aniqlash, shuningdek defekt energetik sohalar ulushini hisobga olish imkonini beruvchi Taus-Lourens umumlashgan funksiyasi asosidagi uch ossilyatorli qatlam modeli ishlab chiqildi;
- ilk bor titan izopropoksidi va suv yordamida termik ALD usulida sintez qilingan TiO2 qatlamlarida fazaviy o‘tish jarayonlarining qalinlikka bog‘liqligi aniqlandi. Xususan, qalinligi 250 nm gacha bo‘lgan qatlamlar 1000°C gacha bo‘lgan haroratda yuqori termik barqarorlikka ega ekani tajribada isbotlandi;
- ilk bor termik ALD usulida sintez qilingan amorf TiO2 qatlamlariga keyingi termik ishlov berish natijasida, strukturada amorf tuzilmadan anataz va rutil fazalariga o‘tish jarayonlari, morfologiyada zichlashish va mikroyoriqlar hosil bo‘lishi, shu bilan birga, optik yutish sohasida lokal energetik holatlar ulushining kamayishi va qizil tarafga siljishi, hamda optik konstanta qiymati sikllar soniga bog‘liq emasligi aniqlandi.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi.
O‘zbekiston Respublikasi Intellektual mulk agentligi tomonidan foydali modelga patent olindi (“Gaz sensorlari uchun sezgir materialdan qoplamani olish usuli” № FAP 2698 18.11.2024). Gaz sensorlari uchun sezgir material sifatida ALD usulida sintez qilingan TiO₂ qatlamlarini qo‘llashni ko‘zda tutuvchi foydali model, sensorlar uchun taglik sifatida dielektrik materiallar yuzasida yupqa, birxil, yuqori tozalikka ega qatlamlarni hosil qilish imkoni beradi.
ALD usuli orqali makrogovak kremniy tagliklarda olingan TiO2 qatlamlarning morfologiyasi va optik xossalarini tadqiq etishga bag‘ishlangan maqola: “Morphology and optical characteristics of TiO2 nanofilms grown by atomic-laer deposition on a macroporous silicon substrate” (Journal of Applied Spectroscopy. 2024. Vol. 91. No. 4. pp. 769–774. DOI: 10.1007/s10812-024-01783-z) natijalariga xalqaro tadqiqotchilar tomonidan, qator maqolalarda (Shengxi Jiao and Zhenqiu Gao, Opt. Mater. Express 15, 541-554 (2025), Nedelin, S.V., Zolotovskii, N.A., Voronin, A.S. et al., Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 88, (2024), A.A. Rakhimov, I.Kh. Khudaykulov, A.A. Ismatov, M.M. Adilov, East European Journal of Physics, N3, 2025) havola qilingan.
TiO2 qatlamlarini termik ALD usulida titan izopropoksidi va suv yordamida olish hamda keyingi termik ishlov berish natijasida qatlamlardagi strukturaviy o‘zgarishlar va fazaviy o‘tish jarayonlarini aniq tavsiflash bo‘yicha olingan natijalar “SGD Systems” MChJ tomonidan 2024–2025 yillarda olib borilgan “Tibbiyotda qo‘llaniladigan maxsus implantlar” amaliy dasturi bajarilishida tatbiq etilgan (“SGD Systems” MChJ shaklidagi korxonasi 2025 yil 20 avgustdagi №20/08 ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalardan foydalanish umurtqa implantlarini biobarqaror TiO2 qoplamalari bilan qoplash, 3D printerda olingan implantlar sirtiga TiO2 yotqizish orqali ularning inson organizmiga biologik moslashuvchanligini ta’minlash, shuningdek, suyak o‘rnini bosish jarayonida mexanik chidamlilik va yuqori harakatchanlikni oshirish imkonini bergan.
