Давранов Хужамқул Турақулович
фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон

I. Умумий маълумотлар.
Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи): “Ион-плазма усули билан ҳосил қилинган металл силицид ва яримўтказгич бирикмаларнинг электрон тузилиши, электрофизик ва оптик хоссалари”, 01.04.04 - “Физик электроника” (физика-математика фанлари).  
Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: В2024.2.PhD/FM1097.
Илмий раҳбар: Нормурадов Мурадулла Тогаевич, физика-математика фанлари доктори, профессор, профессор.
Диссертация бажарилган муассаса номи: Қарши давлат университети
ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Қарши давлат университети, PhD.03/31.03.2021.FM.70.06.
Расмий оппонентлар: Донаев Сардор Бурхонович, физика-математика фанлари доктори, профессор; Садуллаев Аловуддин Мухторович, физика-математика фанлари номзоди, доцент.
Етакчи ташкилот: Ш.Рашидов номидаги Самарқанд давлат университетининг Физика Муҳандислик инсититути. 
Диссертация йўналиши: назарий ва амалий аҳамиятга молик.
II. Тадқиқотнинг мақсади Магнетрон чанглатиш қурилмасининг ДC ва РФ режимларида ёрдамидаи ион-плазма усули билан ҳосил қилинган металл (Cу), силицид (Cу15Си4), яримўтказгич перовскит (CаТиО3) юпқа плёнкаларининг ҳосил бўлиши, сирт морфологияси, электрон тузилиши таҳлил қилиш, яхшиланган электрофизик ва оптик хусусиятларини плёнкаларнинг шаклланишига таъсирини аниқлашдан иборат.
III. Тадқиқотнинг илмий янгилиги:
электрокимёвий усул билан ҳосил қилинган CаТиО3 кукунидан Магнетрон чанглатиш қурилмаси учун ишлатиладиган мишен тайёрланиб, ундан CаТиО3 юпқа плёнкалари ҳосил қилинган;
CаТиО3 плёнкаларининг кристал ва аморфлик даражалари аниқланиб, Калсий титанат учун аморф фаза мос равишда 71,35%, кристал фаза эса 28,65% ни ташкил қилиниб, намунасининг фаза таркиби бўйича 90.7 % перовскит (CаТиО3), 3.8 % титан, 5.5 % калсий эканлиги аниқланган; 
ФТ-ИР таҳлил натижаларига кўра, асосий кенг чўққилар 680÷400 см-1 оралиғида кузатилган, 538,14 см-1 тўлқин сонидаги ютилиш зонаси Ти-О боғланишларининг ўзига хос чўзиш тебранишларига мос келиб, энг кучли чўққилар 538.14 см-1, 435.91 см-1, 416.62 см-1, 405.05 см-1 тўлқин сонига мос бўлиб, калсий титанатнинг 910÷3600 см-1 оралиғида характерли тебранишларининг йўқлиги соф CаТиО3 ҳосил бўлиши кўрсатилган;
450 °C га олдиндан қиздирилган Си(111) таглигида, РФ-режимда ишловчи магнетрон чанглатиш қурилмасида, 100 кҲз частотада ва 70% самарадорликда ион-плазма усули орқали Cу мешиндан бевосита мис силисид (Cу₁₅Си₄) наноўлчамли юпқа плёнка ҳосил қилиниб, бу методология мис силисидларни аввал Си устига мис буғлантириб, сўнг диффузия қилиш йўли билан эмас, балки бевосита чанглатиш орқали Cу₁₅Си₄ фазасини олиш билан фарқланиши ҳамда олинган плёнканинг фазавий таркиби ХРД ва ЭДС анализлари орқали аниқланиб, унда Cу₁₅Си₄ нанофазаси мавжудлиги исботланган.
IV. Тадқиқот натижаларининг амалиётга жорий қилиниши. Ион-плазма усули билан ҳосил қилинган металл силицид ва яримўтказгич бирикмаларнинг электрон тузилиши, электрофизик ва оптик хоссаларини тадқиқ қилиш натижалари асосида:
электрокимёвий усул билан ҳосил қилинган CаТиО3 кукунидан Магнетрон чанглатиш қурилмаси учун ишлатиладиган мишен тайёрланиб, ундан CаТиО3 юпқа плёнкалари ҳосил қилинганига доир хулосаларидан “Ўзелтехсаноат” уюшмасига қарашли “Фотон” АЖ ишлаб чиқариш корхонасида фойдаланилган (“Фотон” акциядорлик жамиятининг 2025-йил 19-мартдаги №48-сон маълумотномаси). Натижада юқори ҳароратда ишлов берилган кремний субстратида нано ўлчамли силицид қатламларининг шаклланиши, электрофизик ва фазавий ҳолатига доир экспериментал маълумотлар ишлаб чиқариш жараёнини оптималлаштириш имконини берган;
ФТ-ИР таҳлил натижаларига кўра, асосий кенг чўққилар 680÷400 см-1 оралиғида кузатилган, 538,14 см-1 тўлқин сонидаги ютилиш зонаси Ти-О боғланишларининг ўзига хос чўзиш тебранишларига мос келиб, энг кучли чўққилар 538.14 см-1, 435.91 см-1, 416.62 см-1, 405.05 см-1 тўлқин сонига мос бўлиб, калсий титанатнинг 910÷3600 см-1 оралиғида характерли тебранишларининг йўқлиги соф CаТиО3 ҳосил бўлиши кўрсатилганига оид хулосаларидан Қарши муҳандислик иқтисодиёт институтининг “Физика ва электроника” кафедрасида ўқитиладиган “Наноелектроника” фанининг ўқитишда ва талабаларнинг битирув малакавий ишларида фойдаланилган (ҚарМИИ ректорининг 2024-йил 27-январдаги №6 - сонли далолатномаси). Натижада “Физика ва электроника” кафедрасида ўқитиладиган “Наноелектроника” фанининг ўқитишда ва талабаларнинг битирув малакавий ишларини бажаришда мукаммаллаштириш имконини берган.