Davranov Xujamqul Turaqulovich
falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon

I. Umumiy ma’lumotlar.
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): “Ion-plazma usuli bilan hosil qilingan metall silisid va yarimo‘tkazgich birikmalarning elektron tuzilishi, elektrofizik va optik xossalari”, 01.04.04 - “Fizik elektronika” (fizika-matematika fanlari).  
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2024.2.PhD/FM1097.
Ilmiy rahbar: Normuradov Muradulla Togaevich, fizika-matematika fanlari doktori, professor, professor.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: Qarshi davlat universiteti
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: Qarshi davlat universiteti, PhD.03/31.03.2021.FM.70.06.
Rasmiy opponentlar: Donaev Sardor Burxonovich, fizika-matematika fanlari doktori, professor; Sadullaev Alovuddin Muxtorovich, fizika-matematika fanlari nomzodi, dotsent.
Yetakchi tashkilot: Sh.Rashidov nomidagi Samarqand davlat universitetining Fizika Muhandislik insitituti. 
Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi Magnetron changlatish qurilmasining DC va RF rejimlarida yordamidai ion-plazma usuli bilan hosil qilingan metall (Cu), silisid (Cu15Si4), yarimo‘tkazgich perovskit (CaTiO3) yupqa plyonkalarining hosil bo‘lishi, sirt morfologiyasi, elektron tuzilishi tahlil qilish, yaxshilangan elektrofizik va optik xususiyatlarini plyonkalarning shakllanishiga ta’sirini aniqlashdan iborat.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi:
elektrokimyoviy usul bilan hosil qilingan CaTiO3 kukunidan Magnetron changlatish qurilmasi uchun ishlatiladigan mishen tayyorlanib, undan CaTiO3 yupqa plyonkalari hosil qilingan;
CaTiO3 plyonkalarining kristal va amorflik darajalari aniqlanib, Kalsiy titanat uchun amorf faza mos ravishda 71,35%, kristal faza esa 28,65% ni tashkil qilinib, namunasining faza tarkibi bo‘yicha 90.7 % perovskit (CaTiO3), 3.8 % titan, 5.5 % kalsiy ekanligi aniqlangan; 
FT-IR tahlil natijalariga ko‘ra, asosiy keng cho‘qqilar 680÷400 sm-1 oralig‘ida kuzatilgan, 538,14 sm-1 to‘lqin sonidagi yutilish zonasi Ti-O bog‘lanishlarining o‘ziga xos cho‘zish tebranishlariga mos kelib, eng kuchli cho‘qqilar 538.14 sm-1, 435.91 sm-1, 416.62 sm-1, 405.05 sm-1 to‘lqin soniga mos bo‘lib, kalsiy titanatning 910÷3600 sm-1 oralig‘ida xarakterli tebranishlarining yo‘qligi sof CaTiO3 hosil bo‘lishi ko‘rsatilgan;
450 °C ga oldindan qizdirilgan Si(111) tagligida, RF-rejimda ishlovchi magnetron changlatish qurilmasida, 100 kHz chastotada va 70% samaradorlikda ion-plazma usuli orqali Cu meshindan bevosita mis silisid (Cu₁₅Si₄) nanoo‘lchamli yupqa plyonka hosil qilinib, bu metodologiya mis silisidlarni avval Si ustiga mis bug‘lantirib, so‘ng diffuziya qilish yo‘li bilan emas, balki bevosita changlatish orqali Cu₁₅Si₄ fazasini olish bilan farqlanishi hamda olingan plyonkaning fazaviy tarkibi XRD va EDS analizlari orqali aniqlanib, unda Cu₁₅Si₄ nanofazasi mavjudligi isbotlangan.
IV. Tadqiqot natijalarining amaliyotga joriy qilinishi. Ion-plazma usuli bilan hosil qilingan metall silisid va yarimo‘tkazgich birikmalarning elektron tuzilishi, elektrofizik va optik xossalarini tadqiq qilish natijalari asosida:
elektrokimyoviy usul bilan hosil qilingan CaTiO3 kukunidan Magnetron changlatish qurilmasi uchun ishlatiladigan mishen tayyorlanib, undan CaTiO3 yupqa plyonkalari hosil qilinganiga doir xulosalaridan “O‘zeltexsanoat” uyushmasiga qarashli “Foton” AJ ishlab chiqarish korxonasida foydalanilgan (“Foton” aksiyadorlik jamiyatining 2025-yil 19-martdagi №48-son ma’lumotnomasi). Natijada yuqori haroratda ishlov berilgan kremniy substratida nano o‘lchamli silisid qatlamlarining shakllanishi, elektrofizik va fazaviy holatiga doir eksperimental ma’lumotlar ishlab chiqarish jarayonini optimallashtirish imkonini bergan;
FT-IR tahlil natijalariga ko‘ra, asosiy keng cho‘qqilar 680÷400 sm-1 oralig‘ida kuzatilgan, 538,14 sm-1 to‘lqin sonidagi yutilish zonasi Ti-O bog‘lanishlarining o‘ziga xos cho‘zish tebranishlariga mos kelib, eng kuchli cho‘qqilar 538.14 sm-1, 435.91 sm-1, 416.62 sm-1, 405.05 sm-1 to‘lqin soniga mos bo‘lib, kalsiy titanatning 910÷3600 sm-1 oralig‘ida xarakterli tebranishlarining yo‘qligi sof CaTiO3 hosil bo‘lishi ko‘rsatilganiga oid xulosalaridan Qarshi muhandislik iqtisodiyot institutining “Fizika va elektronika” kafedrasida o‘qitiladigan “Nanoelektronika” fanining o‘qitishda va talabalarning bitiruv malakaviy ishlarida foydalanilgan (QarMII rektorining 2024-yil 27-yanvardagi №6 - sonli dalolatnomasi). Natijada “Fizika va elektronika” kafedrasida o‘qitiladigan “Nanoelektronika” fanining o‘qitishda va talabalarning bitiruv malakaviy ishlarini bajarishda mukammallashtirish imkonini bergan.