Xojiev Sherali Teshaevichning
fan doktori (DSc) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon

I. Umumiy ma’lumotlar.
    Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): “Ionli changlantirish natijasida yuzaga keladigan klasterlarning hosil bo‘lish mexanizmlari va emirilish jarayonlari”, 01.04.04 –Fizik elektronika (fizika-matematika fanlari).
    Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2022.3.DSc/FM164.
    Ilmiy maslaxatchi: Maksimov Sergey Evlantievich, fizika-matematika fanlari doktori, katta ilmiy xodim.
    Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: U.A. Arifov nomidagi Ion-plazma va lazer texnologiyalari instituti.
    IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: Ion-plazma va lazer texnologiyalari instituti, DSc.02/30.12.2019.FM/T.65.01.
    Rasmiy opponentlar: Usmanov Dilshadbek Tursunbaevich, fizika-matematika fanlari doktori, professor; Kremkov Michael Vitalievich, fizika-matematika fanlari doktori, professor; Nimatov Samad Jaysanovich, fizika-matematika fanlari doktori, dotsent.
    Yetakchi tashkilot: O‘zbekiston milliy unIVersiteti.
    Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi. Bu jarayonning mohiyatan nomutanosibligini hisobga olgan holda, sirtlarning ionli sochilishi paytida klasterlarning hosil bo‘lish mexanizmini va emissiyasini sifat jihatidan aniqlash.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi:
(n=4-10) Sin+ changlantirilgan klasterlar asosiy yo‘nalishlari fragmentatsiyasi uchun qoldiq ionlarning o‘lchangan kinetik energiyalari spektrlari bo‘yicha RRK(Rays-Ramsperger-Kassel) klassik nazariyasidan foydalanilgan holda ushbu klasterlarning dissotsiatsiyalanish energiyalari aniqlangan;
parchalanadigan Sin+ klasterlarining yashash vaqtlari ularning qo‘zg‘alish energiyasining funksiyalari sifatida baholangan;
Sin+ n=1-11 gomoyadroli klasterlar chiqishining bombardimon qilinayotgan sirt yaqinidagi kislorod bosimiga bog‘lik ravishda, xamda ular monomolekulyar emirilishi konuniyatlari asosida shunday natija olindiki, Sin+ klasterlarining xosil bo‘lishi kanallari- sinergetik tasavvurlar doirasida kvazikimyoviy reaksiyalalarning anik ko‘rinishi sifatida qaralishi mumkin ekan;
SinOm± geteroyadroli klasterlar chiqishining bombardimon qilinayotgan sirt yaqinidagi kislorod bosimiga bog‘lik ravishda, xamda ular monomolekulyar emirilishi konuniyatlari asosida shunday natija olindiki, SinOm±  klasterlarining xosil bo‘lishi kanallari- sinergetik tasavvurlar doirasida kvazikimyoviy reaksiyalalarning anik ko‘rinishi sifatida qaralishi mumkin ekan;
Si sirtini O2+ ionlari bilan, va kameraga O2 kiritib Xe+ ionlari bilan changlantirilganda xosil bulgan SinOm- klasterlarining energetik spektrlari bir xil ekanliklari ko‘rsatildi;
changlantirilgan geteroyadroli klasterlarning xosil bo‘lish jarayonlarini –ularning kombinatorli tabiatlarini hisobga olgan holda sinergetik tasavvurlar asosida nazariy asoslari ishlab chiqilgan;
vanadiy va niobiy sirtlarini ksenon ionlari bilan changlantirishda yuzaga keladigan Vn+ (n= 5–11) va Nbn+ (n = 3–8) klasterlarning qoldik ionlar kinetik energiyalari spektrlarini o‘lchash asosida ularning dissotsiatsiyalanish energiyalari –xisoblab topilgan;
vanadiy va niobiy  sirtlarini kameraga kislorod xaydab ksenon ionlari bilan changlantirishda yuzaga keladigan VnOm± va NbnOm± klasterlarning barcha mavjud bo‘lgan stexiometrik  yo‘nalishlar bo‘yicha fragmentatsiyalanishini o‘rganish asosida, ularning xosil bo‘lish reaksiyalari kombinatorli sintez mexanizmi asosida tushuntirilishi ko‘rsatilgan;
Y sirtidan Xe+ bilan changlantirishdan yuzaga keladigan Yn+ klasterlarining taqsimlanishi darajali qonun asosida approksimatsiya qilinadi, ularning xosil bo‘lish mexanizmlari esa kombinatorli sintezi mexanizmi asosida yoritiladi (tushuntiriladi).
olingan ma’lumotlarga asoslanib, asosiy xulosaga kelindiki, sirtlarning ionli changlanishi paytida klasterlarning paydo bo‘lishi va emissiya mexanizmi jarayonning tabiati va ularning asosiy kanallari haqidagi sinergik g‘oyalar doirasida tavsiflanishi va shakllanishi kombinatsion tavsif doirasida aniqlanishi mumkinligi ko‘rsatildi.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi.
Dissertatsiya ishining natijalari O‘zbekiston Respublikasi Fanlar akademiyasi Konstruktorlik byurosi va EP bilan birga Ilmiy-texnika markazida FA-Atech-2018 (15+274) tugallangan "Lazer nurlanishidan foydalangan holda ko‘p komponentli yupqa qatlamli qoplamalarni ishlab chiqish texnologiyasi" (2018-2020) ilmiy loyihasi doirasida amaliy qo‘llanildi (O‘zbekiston Respublikasi Fanlar akademiyasi, 2023 yil 20 fevraldagi 2/1255-341-son ma’lumotnoma). Dissertatsiya ishida olingan ilmiy natijalardan foydalanib qoplamalarning yuqori yopishqoqlik xususiyatlarini saqlash imkoniyati yaratildi.
Dissertatsiya ishida olingan ilmiy natijalar mikroelektron qurilmalarni yaratishda FOTON AJda joriy etildi va foydalanildi (“FOTON” AK 2022 yil 17 noyabrdagi 320-son ma’lumotnoma). Xususan, termal barqaror parametrlarga ega yarimo‘tkazgichli qurilmalarni yaratish va ishlab chiqarilayotgan mahsulot tannarxini va bir xil parametrlarga ega moslamalardagi detallar sonini kamaytirish imkonini berdi.
Dissertatsiya ishida olingan ilmiy natijalardan 2017-2018 yillarda Toshkent davlat texnika unIVersitetida OT-A3-56 "Yuqori marganes silidsidli plyonkalar asosida issiqlik nurlanishining sovutilmagan yuqori unumdorligini qabul qiluvchilar va infraqizil nurlanishning termoelektrik konvertorlarini ishlab chiqish" loyihasi doirasidagi tadqiqotlarda foydalanilgan (Toshkent davlat texnika unIVersiteti, 2022 yil 14 noyabrdagi 01/9-14-3756-son ma’lumotnoma). Planar texnologiyani yaratish uchun kremniy dioksidi kremniy taglik sirtida ortiqcha kremniy hosil bo‘lishidan himoyaladi va buning natijasida marganesning kremniyga reaktIV tarqalishini oldini olish uchun sirt himoyasini ta’minladi.