Тургунов Нозимжон Абдуманноповичнинг

фан доктори (DSc) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон

I. Умумий маълумотлар.

Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи): «Киришма атомлари микробирикмалари ҳосил бўлишининг физик асослари ва уларнинг монокремний хусусиятларига таъсири», 01.04.10–Яримўтказгичлар физикаси (физика-математика фанлари).

Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: В2018.1.DSc/FM114.

Илмий маслаҳатчи: Зайнабидинов Cирожиддин Зайнабидинович, физика-математика фанлари доктори, профессор, академик.

Диссертация бажарилган муассаса номи: Андижон давлат университети.

ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Андижон давлат университети, DSc.28.02.2018. FM/60.01.

Расмий оппонентлар: Вайткус Юозас Юозович, физика-математика фанлари доктори, академик; Зикриллаев Нурилла Фатхуллаевич, физика-математика фанлари доктори, профессор; Гулямов Гофур, физика-математика фанлари доктори, профессор.

Етакчи ташкилот: Ўзбекистон Миллий университети.

Диссертация йўналиши: амалий ва назарий аҳамиятга молик.

II. Тадқиқотнинг мақсади: кремнийда никель, марганец ва кобальт киришма атомларининг преципитат ва микробирикмалари ҳосил бўлиш технологик шароитларини, уларнинг морфологик тузилиши ва хусусиятларини, ташқи омиллар таъсирида парчаланиш кинетикасини аниқлашдан иборат.

III. Тадқиқотнинг илмий янгилиги:

3d-гуруҳ элементлари атомлари билан диффузия усулида легирланган кремнийда киришма микробирикмалари ва преципитатлари ҳосил бўлишининг термодинамик муқаррарлиги аниқланган;

монокремнийда Ni, Co ва Mn микробирикмаларининг тузилиши ва кимёвий таркиби тажриба орқали аниқланган ва илмий асосланган;

киришма тўпламларининг таркибий тузилиши уларнинг ўлчамлари ва геометрик шаклларига боғлиқлиги, яъни ўлчами катта тўпламлар (>10^-6 м) кўп қатламли тузилишга, кичиклари эса (<5×10^-7 м), асосан, Ni, Co ёки Mn нинг бир турдаги силицидларидан ташкил топганлиги ва моноқатламли тузилишга эга эканлиги аниқланган;

кремний монокристаллида турлича тузилиш ва шаклдаги киришма атомлари микробирикмалари ва преципитатлари ҳосил бўлишининг физик механизми аниқланган;

киришма микробирикмалари ҳажмида технологик киришмалар (масалан: Fe, Cr, Cu ва бошқалар) атомлари мавжудлиги ҳамда уларнинг микробирикмалар ҳажми бўйича маълум бир қонуният асосида тақсимланиши аниқланган;

Ni, Co ёки Mn билан диффузияли легирланган кремнийда кузатилувчи янги электрик ва фотоэлектрик жараёнларнинг механизмлари аниқланган;

легирланган кремнийда термик куйдириш, юқори гидростатик босим, гамма ва нейтрон нурланишларнинг таъсирлари ва уларнинг моҳияти аниқланган;

легирланган кремний кристаллидаги киришма атомлари ва улар микробирик- маларининг термик ишлов, ҳар томонлама босим ва нурланиш таъсирида мумкин бўлган парчаланиш механизмлари аниқланган;

чуқур энергетик сатҳларнинг ҳосил бўлиши, электр жиҳатдан фаол бўлмаган атомларнинг иккинчи фаза уюшмалари ва уларнинг ташқи таъсирлар остида деградацияланиши аниқланган.

IV. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши.

Киришма микробирикмаларига эга бўлган кремний монокристаллининг турли ташқи таъсирлар остидаги физик параметрларига боғлиқ ҳолда электрофизик хусусиятларини бошқариш бўйича олинган натижалар асосида:

яримўтказгич материаллар физик хоссалари ва улар асосидаги асбобларнинг термик ва радиациявий стабиллигини ошириш имконини берувчи, олдиндан берилган даражада компенсирланган кремнийни олишнинг оптимал технологик шароитларини аниқлашга оид тадқиқотлар натижалари «FOTON» акционерлик жамиятида ижобий характеристикаларга эга яримўтказгичли асбобларни ишлаб чиқариш жараёнида фойдаланилган («Ўзэлтехсаноат» акциядорлик компаниясининг 2018 йил 29 майдаги 02–1229-сон маълумотномаси). Илмий натижалардан фойдаланиш ноанъанавий киришма атомлари билан легирланган кремний асосида олинган диод ва МДЯ-структуралар функционал имкониятларини кенгайтириш имконини берган;

кремнийга диффузиявий легирлаш орқали киришма атомларини киритиш, унинг ҳажмида микро ва нанобирикмаларни ҳосил қилишнинг тажрибавий натижалари Ф2-28 рақамли «Легирланган кремнийдаги сиртий ва ҳажмий квант ўлчовли эффектлар ва уларни p-, n- тузилмалардаги генерация-рекомбинация ва ток ташувчиларни ажралиш жараёнига таъсири» фундаментал лойиҳасида легирланган кремний намуналар хусусиятларини белгиланган йўналишда бошқаришда фойдаланилган (Ўзбекистон Республикаси Олий ва ўрта махсус таълим вазирлигининг 2018 йил 13 июндаги 89–03–2314-сон маълумотномаси). Илмий натижалардан фойдаланиш киришма атомлари микро- ва нанобирикмаларининг кремний кристалл структураси нуқсонлари билан ўзаро таъсирлашуви қонуниятларини аниқлаш имкониятини яратган.