Қучқаров Беҳзод Хошимжоновичнинг
фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон
I. Умумий маълумотлар.
Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи): «Яримўтказгич-диэлектрик чегара бўлими фазаларининг динамик хоссалари», 01.04.10–Яримўтказгичлар физикаси (физика-математика фанлари).
Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: В2017.1.PhD/FM42.
Илмий раҳбар: Мамaткаримов Одилжон Охундадаевич, физика-математика фанлари доктори.
Диссертация бажарилган муассасалар номи: Наманган давлат университети.
ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Андижон давлат университети, PhD.28.02.2018.FM.60.01.
Расмий оппонентлар: Каримов Абдулазиз Вахитович, физика-математика фанлари доктори, профессор; Каримов Иброхим Набиевич, физика-математика фанлари доктори.
Етакчи ташкилот: Фарғона давлат университети.
Диссертация йўналиши: назарий ва амалий аҳамиятга молик.
II. Тадқиқотнинг мақсади: n-типдаги кремний сиртига қўрғошин-бор-силикатли шишани қоплаш билан ҳосил қилинган металл-диэлектрик-яримўтказгич структуралар чегара соҳаларида рўй берадиган физик жараёнларга барча турдаги таъсирлар натижаларини ўрганиш орқали ток ташувчилар динамикасида муҳим бўлган факторларни аниқлашдан иборат.
III. Тадқиқотнинг илмий янгилиги:
қўрғошин-бор-силикатли шишанинг эриш температураси 670ºС дан юқори бўлганда кремний–шиша чегара соҳасида локаллашган электрон ҳолатлари зичлигининг ортиши аниқланган;
қўрғошин ионларида ушлаб қолинган электронларни чиқариб юборилиши ва уларнинг инверс қатлам зарядлари билан таъсирлашуви натижасида электрон инжекциясига учратилган структуралар инверс қатламида заряд шаклланиш тезлигининг камайиши аниқланган;
металл-диэлектрик-яримўтказгич структураларда сиғим релаксацияси орқали назарий ҳисобланган фазавий заряд соҳаси кенглигининг вақтга боғланиши орқали ҳажмий ва сиртий генерация тезликларини аниқлаш усули ишлаб чиқилган;
Al-n-Si–шиша–Al структураларга 2,5 МГц частотали, 0,5 Вт қувватли ультратовуш билан 40 минут давомида берилган таъсир яримўтказгич шиша чегара соҳасида локаллашган электрон ҳолатлари интеграл зичлигини камайиши ва яримўтказгичдаги ҳажмий электрон ҳолатлари энергетик спектри ўзгармай қолиши аниқланган;
металл-диэлектрик-яримўтказгич структураларга ҳар томонлама ўта юқори частотали ишлов берилганда сирт ҳолат зичлигининг ўзгариши ва сиртий генерация токининг камайиши натижасида фотосезгирликнинг ортиши кўрсатилган;
металл-диэлектрик-яримўтказгич структураларни протон билан нурлантириш чегара соҳасида мусбат заряднинг ортиши ва келгусида термик ишлов берилиши узилган боғларнинг ва ўз навбатида чегара соҳаси яқинида локаллашган мусбат заряднинг камайиши аниқланган;
термоцикликишлов таъсирида сиртий ҳолатларнинг мусбат зарядлари зичлиги камайишини асословчи физик модели ишлаб чиқилган.
IV. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши.
Кремний асосли металл-шиша-яримўтказгич структуралар характеристикаларининг турли ташқи таъсирларга барқарор ва чидамлилигини аниқлаш асосида:
яримўтказгич-диэлектрик чегара соҳасида заряд ташувчилар динамикаси, заряд шаклланиш тезлиги ва миқдорининг ўзгариши «FOTON» акционерлик жамиятида барқарор характеристикага эга бўлган металл-диэлектрик-яримўтказгич транзисторлар тайёрлашда фойдаланилган («Ўзэлтехсаноат» акциядорлик компаниясининг 2017 йил 25 сентябрдаги 02-1953-сон маълумотномаси). Илмий натижаларнинг қўлланилиши металл-диэлектрик-яримўтказгич структуралар асосидаги транзисторларнинг тезкорлигини ўнлаб марта орттириш, сирқиш токини 5-10 марта камайтириш имконини берган;
металл-диэлектрик-яримўтказгич структураларда таъқиқланган зона бўйлаб ҳолат зичлигининг ўзгариш натижалари Ф-2-21 рақамли «Яримўтказгич-диэлектрик чегарасидаги сирт ҳолатлар зичлигини аниқлашни математик моделлаштириш» лойиҳада металл-диэлектрик-яримўтказгич структуралар чегара соҳасидаги ҳолат зичлигининг физик жараёнларга таъсирини аниқлашда ишлатилган (Ўзбекистон Республикаси Фан ва технологиялар агентлигининг 2017 йил 13 ноябрдаги ФТА–02–11/1068-сон маълумотномаси). Илмий натижалардан фойдаланиш металл-диэлектрик-яримўтказгич структураларда чегара соҳаси фазасидаги ҳолат зичлигининг шаклланишига таъсир этувчи омилларнинг ролини аниқлаш имконини берган.