Turopov Ilxom Ximmatalievichning 
falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon

 I. Umumiy ma’lumotlar. 
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): “Fizika-matematika fanlari”, 01.04.04 - Fizik elektronika (fizika-matematika fanlari).
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2022.2.PhD/FM468
Ilmiy raxbar: Umirzakov Boltaxodja Ermatovich, fizika-matematika fanlari doktori, professor. 
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: Toshkent davlat texnika universiteti. 
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK rakami: Qarshi davlat universiteti, PhD.03/31.03.2021.FM.70.06.
 Rasmiy opponentlar: fizika-matematika fanlari doktori, professor Isaxanov Zinaobidin Abilpeyzovich; fizika-matematika fanlari nomzodi, dotsent Aliqulov Muysin Nortoshevich.
Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi kremniy yuzasidaga epitaksiya va ion implantatsiyasi usullarida o‘stirilgan kobal`t va marganesning yupqa silisid plyonkalarining hosil bo‘lish qonuniyatlarini, ularning elektron tuzilishi, emissiya, optik va elektrofizik xususiyatlarini o‘rganish.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi:
kichik energiyali (E0 = 0.5 - 1 keV) va dozasi (D ≈ 81014 sm-2) bo‘lgan Ar+ ionlari bilan yuzani bombardimon qilish usuli bilan tartiblangan Co va CoSi2 ning birjinsli nanoplyonkalari hosil qilingani va Co nanofazalarining taqiqlangan zonasi Eg = 0.3 eV ga teng va yarimo‘tkazgich xossasiga ega ekanligi aniqlangan;
 monokristall kremniy taglik 600 K da qizdirilgan holda Co+ ionlari bilan implantatsiya qilinganda bir xil legirlangan qatlamning chuqurligi 50 - 60 Å ni tashkil etishi, sirtga yaqin qatlam qisman tartibsiz va Si bilan Co atomlari ~ 90 at.% kimyoviy bog‘ hosil qilishi aniqlangan;
 VUP-5 qurilmasida SiO2/Si (111) sirtida CoSi2 mishenini qattiq jism lazeri bilan changlatish usuli orqali CoSi2/SiO2/Si (111) nanoplyonkasi hosil qilinishi bilan 900 K da qizdirish orqali polikristall CoSi2/SiO2/Si (111) nanoplyonkasining   turli to‘lqin uzunligida yorug‘likni qaytarish va yutilish koeffisientlari turlicha ekanlishi aniqlangan;
 CoSi2/Si (111) yuzasida yupqa Ɵ  1 qalinlikdagi Ss atomlarini  o‘stirish orqali Eg qiymati va valent elektronlari zichligi holati maksimallarining o‘rni amalda o‘zgarmasligi va fotoelektronlarning chiqish ishi 3 eV gacha kamayishi, fotoelektronlarning kvant chiqishi 3 yoki undan ko‘p marta ortishi aniqlangan.
IV.Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi.
Monokristall kremniy sirtida hosil qilingan Co va Mn plyonkalari va silisid strukturalari, ularning elektron va optik xususiyatlari, elektrofizik xossalarini tadqiq qilish natijalari va olingan geterostrukturalar asosida:
kichik energiyali (E0 = 0.5 - 1 keV) va dozasi (D ≈ 8⸱1014 sm-2) bo‘lgan Ar+ ionlari bilan yuzani bombardimon qilish usuli bilan tartiblangan Co va CoSi2 ning birjinsli nanoplyonkalari hosil qilingani va Co nanofazalarining taqiqlangan zonasi Eg = 0.3 eV ga teng va yarimo‘tkazgich xossasiga ega ekanligi aniqlanganiga oid xulosalaridan Namangan muhandislik qurilishi institutida bajarilgan OT-F2-70 raqamli “Kuchli elektromagnit maydondagi nanoo‘lchamli yarimo‘tkazgich parametrlariga harorat, deformatsiya va yorug‘likning ta’siri” nomli fundamental loyihani bajarishda foydalanilgan (Namangan muhandislik qurilishi instituti rektorining 2022 yil 7 sentyabrdagi № 06/10-09/753-son ma’lumotnomasi). Natijada lazer changlatish usulida olingan CoSi2/SiO2/Si (111) plyonkalarining turli to‘lqin uzunlikdagi yorug‘likni qaytarishi va yutilish koeffisientlari turlicha ekanligi, Si sirtida Mn atomlarini har xil qalinlikda o‘tkazish va turli temperaturada qizdirish orqali 4s - Mn va 3s - Si elektronlarning 3s - Si + 3d - Mn, 3s - Si + 4s - Mn  o‘zaro bog‘lanishilar hosil qilishi, Si sirtida Co va Mn yupqa silisid plyonkalarining valent elektronlar zichligini aniqlash imkonini bergan;
VUP-5 qurilmasida SiO2/Si (111) sirtida CoSi2 mishenini qattiq jism lazeri bilan changlatish usuli orqali CoSi2/SiO2/Si (111) nanoplyonkasi hosil qilinishi bilan 900 K da qizdirish orqali polikristall CoSi2/SiO2/Si (111) nanoplyonkasining   turli to‘lqin uzunligida yorug‘likni qaytarish va yutilish koeffisientlari turlicha ekanligi aniqlanganiga doir xulosalaridan O‘zbekiston Respublikasi Fanlar Akademiyasida bajarilgan GNPT AF-Atex-2018 (15-274) raqamli “Razrabotka texnologii napileniya mnogokomponentnix tonkoplenochnix pokritiy s pomoshh`yu lazernogo izlucheniya” nomli loyihani bajarishda foydalaniogan (O‘zbekiston respublikasi Fanlar Akademiyasi Vise-prezidentining № 2/1255-2203-son ma’lumotnomasi). Natijada murakkab tarkibli mishenlarni vakuumli funksional qurilmada changlatish orqali issiqlikka sezgir qoplamalarni shakllantirish texnologiyasini yaratish imkonini bergan.