Жураев Химматали Номозовичнинг

фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон

I. Умумий маълумотлар.

Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи): «Si- вa C- вакансиялари оқимида бор ва алюминийнинг кремний карбидига паст ҳароратли диффузияси», 01.04.10–Яримўтказгичлар физикаси (физика-математика фанлари).

Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: В2017.1.PhD/FM34.

Илмий раҳбар: Атабаев Илхам Гафурович, физика-математика фанлари доктори, профессор.

Диссертация бажарилган муассаса номи: Физика-техника институти.

ИК фаолият кўрсатаётган муассасалар номи, ИК рақами: Физика-техника институти, Ион-плазма ва лазер технологиялари институти, Самарқанд давлат университети, DSc.27.06.2017.FM/T.34.01.

Расмий оппонентлар: Камалов Амангелди Базарбаевич, физика-математика фанлари доктори; Парчинский Павел Борисович, физика-математика фанлари номзоди, доцент.

Етакчи ташкилот: Тошкент давлат техника университети.

Диссертация йўналиши: назарий ва амалий аҳамиятга молик.

II. Тадқиқотнинг мақсади: паст ҳароратли диффузия жараёнининг такрорланиш даражаси ва олинаётган кремний карбиди p-n-ўтишларнинг хоссаларига ўсиш нуқсонлари ва юза ҳолатининг таъсирларини аниқлашдан иборат.

III. Тадқиқотнинг илмий янгилиги:

кремний карбиди монокристалларида бор ва алюминий (илк бор) паст ҳароратли диффузияси билан p-n ўтишлар олинган ва электрофизик хоссалари аниқланган;

илк бор кремний карбиди сиртини КОНнинг сувли эритмасида ультрабинафша нурида стимуллаб емириш усули ишлаб чиқилган;

бир зондли ток ёйилиш методи ёрдамида паст ҳароратли диффузиядан сўнг бор ва алюминий киришмаларининг кремний карбидидаги тақсимоти аниқланган;

илк бор паст ҳароратли диффузия усули билан 300°С гача ҳароратда ишлай оладиган, токининг қайта уланиш вақти ва тескари тикланиш вақтининг давомийлиги жуда кичик (10 нс дан кичик) бўлган кремний карбиди диоди ишлаб чиқилган.

IV. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши:

Кремний ва углерод вакансиялари оқимида бор ва алюминийнинг кремний карбидига паст ҳароратли диффузияси бўйича олинган натижалар асосида:

ишлаб чиқилган кремний карбидини калий гидроксидининг сувли эритмасида ультрабинафша нурлар таъсири остида емириш бўйича «Кремний карбидига ишлов бериш усули»га Ўзбекистон Республикаси Интеллектуал мулк агентлигининг ихтиро патенти олинган (№ IAP 05087, 2015 й.). Ишлаб чиқилган усул кремний карбидининг силлиқ емирилган сиртларини олиш ва мезатузилмалар тайёрлаш имконини берган;

кремний карбидига паст ҳароратда бор ва алюминийни диффузия қилиш усули билан янги кўчкили учма диодлар ишлаб чиқилган (IX Республика Инновацион ғоялар, технологиялар ва лойиҳалар ярмаркаси катологи «Кўчкили-учма  p-i-n SiC диоди» 2016 й.). Ишлаб чиқилган диодлар юқори тезкорлигига ҳамда 300°С ҳароратгача ишлай олиши билан ананавий диодлардан афзалликка эришиш имконини берган.