Isaxanov Zinaobidin Abilpeyzovichning
fan doktori (DSc) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon
I. Umumiy ma’lumotlar.
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): «Ionlar va elektronlarning yupqa kristallardan sochilishi va o‘tishi jarayonlaridagi orientatsion effektlar», 01.04.04–Fizikaviy elektronika (fizika-matematika fanlari).
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2017.2.DSc/FM48.
Ilmiy maslahatchi: Umirzakov Boltaxodja Ermatovich, fizika-matematika fanlari doktori, professor.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: Ion-plazma va lazer texnologiyalari instituti.
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasalar nomi, IK raqami: Fizika-texnika instituti, Ion-plazma va lazer texnologiyalari instituti, Samarqand davlat universiteti, DSc.27.06.2017.FM/T.34.01.
Rasmiy opponentlar: Turaev Nazar Yuldashevich, fizika-matematika fanlari doktori, akademik; Egamberdiev Baxrom Egamberdievich, fizika-matematika fanlari doktori, professor; Kutliev Uchkun Otoboevich, fizika-matematika fanlari doktori, professor.
Yetakchi tashkilot: O‘zbekiston Milliy universiteti.
Dissertatsiya yo‘nalishi: amaliy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi: zaryadli zarralarning har xil tabiatga ega bo‘lgan kristallar bilan o‘zaro ta’sirlashganda sodir bo‘ladigan jarayonlardagi orientatsion effektlarni aniqlash, aralashma atomlarining joylashishi va sirt diagnostikasi usullarini ishlab chiqishdan iborat.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi:
kristallar yuzasidan qaytgan hamda uning nanoplyonkalaridan o‘tgan zaryadli zarralarning spektrlarini olish hamda yozish uchun qayd qilish burchagi kichik bo‘lgan detektorli (α~0,50), yuqori ajrata olish qobiliyatiga ega bo‘lgan dispersion analizatorli (ΔE/E=0,2%), o‘ta yuqori vakuumli (~1x10-9 Torr.) eksperimental va Cu, Au, Al, Ag larning erkin nanoplenkalarini oladigan qurilma ishlab chiqilgan;
Mo, W, Si, Cu i Al monokristallarini avvalo ionlar bilan, so‘ngra qizdirish yo‘li bilan tozalanganda ularning ion oje-spektrlarida L2,3VV oje chizig‘ining yonida qo‘shimcha cho‘qqilarning paydo bo‘lishi aniqlangan;
Mo(100), W(100) yuza osti qatlamlarida kristall panjarada kislorod, uglerod atomlarining tugunlar orasida oktaedrik holatda joylashishi, W, Al, Si monokristallarini bir xil sharoitda ionlar, elektronlar bilan bombardimon qilish natijasida W(100) ion oje-spektrida asosiy cho‘qqi intensivligi kamayishi, cho‘qqi yarmida enining kengayishi va energiyaviy holatining o‘zgarishi, tarkibda kvazimolekulalar hosil bo‘lishi aniqlangan;
energiyasi E0=5–40 keV bo‘lgan sohada ionlar Cu va Ag monokristall nanoplenkalari orqali o‘tishida, bir vaqtning o‘zida ham o‘q, ham tekislik bo‘yicha kanallanishi va tartibsiz o‘tishi energiyaviy taqsimlanishining nozik strukturasi aniqlangan;
ionlar monokristall nanoplyonkalar orqali kanallanganda energiya yo‘qotishi qutb va azimutal burchaklarga bog‘liqligi hamda bu yo‘qotishlar polikristalga nisbatan to‘rt marta kam ekanligi, ion implantatsiyasi tufayli kristallning nozik strukturali energiyaviy spektrida kristall panjaraning amorfizatsiyalanishi hamda birinchi o‘q, keyin tekislik bo‘yicha kanallangan ionlar cho‘qqisi tekislanishi aniqlangan;
kristall orientatsiyasiga bog‘liq holda hajmiy plazmon tebranishlarida energiya yo‘qotishning anizotropiyasi, elektronlarning xarakteristik energiya yo‘qotish spektri funksiyasini hisoblashda dielektrik singdiruvchanlikning oddiy ossillyatorli modeli, xarakteristik energiya yo‘qotish spektrlarini hisoblash algoritmi, nanoplenkalardan o‘tgan elektronlarga nisbatan qaytgan elektronlar hajmiy plazmon tebranishiga katta energiya sarflashi aniqlangan;
Mo, W Nb, Si Ge monokristallari yuzasidan qaytgan elektronlarning spektrlaridan energiya yo‘qotishning shakllanish mexanizmlari, kristallning har xil yo‘nalishlari bo‘yicha elektronlar holati zichligini baholash usuli, materiallar kristall holatdan amorf holatga o‘tganda elektron-fonon o‘zaro ta’siri ehtimolligi oshishi, elektronlar holatlari zichligi deformatsiyasi tufayli elektronlarning katta energiya yo‘qotishi aniqlangan;
ionlar bilan bombardimon qilingan metallarning nanoplenkalari yuza qatlamlarining amorfizatsiyasi darajasini baholash usuli ishlab chiqilgan.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi:
Mayda dispersli mis setkasi ustida olingan erkin mis plenkalari hamda ular ustida olingan ko‘p qavatli yarimo‘tkazgichli strukturalardagi orientatsiyali effektlarni o‘rganishda olingan natijalar asosida:
ion implantatsiyasi, Oje-elektronlar emissiyasi va ionlarning kristallar yupqa plenkalari orqali o‘tishi bo‘yicha olingan orientatsiyaviy effektlarni aniqlashda olingan natijalari «FOTON» aksiyadorlik jamiyatida ko‘pqatlamli strukturalar hamda metall-dielektrik-yarimo‘tkazgich (MDYa) va yarimo‘tkazgich-dielektrik-yarimo‘tkazgich (YaDYa) strukturalarni olishda elementlarni legirlash texnologiyasida qo‘llanilgan («O‘zeltexsanoat» aksiyadorlik kompaniyasining 2017 yil 11 iyuldagi №03-1297-son ma’lumotnomasi). Ilmiy natijaning qo‘llanishi elektron asboblarning ishlash ishonchligini, MDYa va YaDYa strukturalarni olish texnologiyasi sifatini yaxshilash imkonini bergan.
vakuum asbob-uskunalarini ekspluatatsiya qilishda elektron boshqarishga imkon beradigan ishonchli, sifatli kommutatsiya qurilmasi ishlab chiqarishda qo‘llaniladigan kontakt elektrodlari «PROTON» ilmiy-texnikaviy korxonasida ishlab chiqilgan («PROTON» ilmiy-texnikaviy korxonasining 2016 yil 9 sentyabrdagi ma’lumotnomasi). Ishlanmaning qo‘llanilishi avtomatik ravishda boshqariladigan elektron asbob- uskunalarni ishlab chiqarishga, ularning ishlash muddati, aniqligi va sifatini oshirishga hamda past haroratli vakuum texnologiyasini takomillashtirishga imkon bergan;
monokristallarni ion va elektronlar bilan bombardimon qilish natijasida olingan orientatsiyaviy effektlarning namoyon bo‘lish, kanallangan va kanallanmagan ionlarning energiya yo‘qotish mexanizmlari 2F.1.№ 01200009821 «Murakkab kristallarning yupqa qatlamlarida va yuzasida o‘rta va kichik energiyaga ega bo‘lgan ionlarning sochilishi va kanallanishi jarayonlarini va ionlarning kanallanish paytida yarimo‘tkazgichlarda eksitonlarning paydo bo‘lishini tadqiq qilish» va BV-F2-003 «Mashinada modellashtirish uslubi bilan ionlar implantatsiyasi va yupqa monokristallar va amorf yarimo‘tkazgichlarda fototashuvchilarning nurli rekombinatsiyasini tadqiq qilish» grant loyihalarida olingan energiyaviy taqsimot spektrlaridagi orientatsiyaviy effektlar mexanizmlarini aniqlashda qo‘llanilgan (O‘zbekiston Respublikasi Fan va texnologiyalarni rivojlantirishni muvofiqlashtirish davlat qo‘mitasining 2016 yil 15 dekabrdagi FTK-0313/912-son ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalarning qo‘llanilishi sanoat materiallarining sifatini yaxshilash, kristallar sirti strukturasi, tarkibi va yupqa plyoenkalarning mukammallik darajasini nazorat qilish, plenkaning monokristalligi va kristalldagi aralashma atomlari joylashishini aniqlash imkonini bergan.
