Maksimov Sergey Evlantievichning
fan doktori (DSc) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon

I. Umumiy ma’lumotlar. 
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): “Sirtdan ion bombardimoni ta’sirida changlatilgan klasterli ionlarning fundamental xossalari”, 01.04.04 – Fizik elektronika (fizika-matematika fanlari).
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2020.3.DSc/FM138.
Ilmiy maslahatchi: Ashurov Xatam Baxronovich, texnika fanlari doktori, professor.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: Ion-plazma va lazer texnologiyalari instituti.
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: Ion-plazma va lazer texnologiyalari instituti, DSc.02/30.12.2019.FM.65.01.
Rasmiy opponentlar: Kremkov Mixail Vital`evich, fizika-matematika fanlari doktori, professor; Umirzakov Boltaxo‘ja Ermatovich, fizika-matematika fanlari doktori, professor; Usmanov Dilshadbek Tursunbaevich, fizika-matematika fanlari doktori. 
Yetakchi tashkilot: O‘zbekiston Milliy universiteti.
Dissertatsiya yo‘nalishi: amaliy va nazariy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi ionlar bombardimoni bilan changlangan zaryadli klasterlarning fundamental xossalarini aniqlashning samarali usullarini ishlab chiqish va sinovdan o‘tkazib tasdiqlash hamda parchalanishning (dissotsialanish) aktivlashuv energiyasini aniqlashdan iborat.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi:
aynan bir xil tajriba sharoitlarda Ag, Nb va Ta sirtlarini og‘ir atomar Xe+ va massalari jihatdan yaqin bo‘lgan SF5+ molekulyar ionlar bilan to‘zg‘itish jarayonlarida Agn va Nbn metallarining gomoyadroli klasterlarining chiqishi bir xil, ular intensivligida kuzatiladigan farqlar changlanayotgan zarrachalarning ionlashish ehtimolligi bilan bog‘liq ekanligi aniqlangan;
Agn+, Aun+, Cun+, Nbn+ va Tan+ kabi qator klasterlarning o‘rtacha bo‘linish tezliklari doimiylari va o‘rtacha yashash vaqtlari, Nbn+ va Tan+ kabi klasterlar qatori uchun o‘rtacha g‘alayonlanish energiyalari aniqlandi; bir-biriga yaqin bo‘lgan atomar va molekulyar ionlar bilan changlantirilgan klasterlarning o‘rtacha bo‘linish tezliklari doimiylari va o‘rtacha yashash vaqtlari bir xil ekanliklari aniqlangan;
parchalangan ionlar kinetik energiyalari spektrini o‘lchash va Xe+ ionlari bilan changlantirilgan qator NbmCn+ klasterlarning dissotsiatsiyalanish energiyalarini baholash amalga oshirilgan, monomolekulyar reaksiyalari nazariyasi doirasida o‘lchash natijalarini qayta ishlashga asoslangan metodika ishlab chiqilgan; 
bombardimon qilish kamerasida kislorod kiritish va Si, V va Nb sirtlarni ksenon ionlari bilan changlantirish jarayonlarida SinOm, VnOm va NbnOm  klasterlarining hosil bo‘lishi va emissiyasi uchun samarali shart-sharoitlar aniqlangan; 
RRK va «bug‘lantiruvchi ansambl» nazariyalari doirasida hisoblangan SinO-2n+1 (n=2-7) va SinOm+ klasterlarning dissotsiatsiya energiyalarining sonli qiymatlari metodika o‘lchash xatoliklari darajasida kislorod kiritilgan sharoitda O2+ va Xe+ ionlari bilan changlantirilgan SinO-2n+1 (n=2-7) klasterlarning dissotsiatsiya energiyalari bilan bir xil ekanligi, ya’ni ushbu klasterlarning strukturaviy tuzilishlari ularning paydo bo‘lish yoki uyg‘otilish usullariga bog‘liq emasligi aniqlangan;
RRK va «bug‘lantiruvchi ansambl» nazariyalari doirasida hisoblangan SinO-2n+1 (n=2-7) va SinOm+ klasterlarning dissotsiatsiya energiyalarining sonli qiymatlari metodika o‘lchash xatoliklari darajasida kislorod kiritilgan sharoitda O2+ va Xe+ ionlari bilan changlantirilgan SinO-2n+1 (n=2-7) klasterlarning dissotsiatsiya energiyalari bilan bir xil ekanligi, ya’ni ushbu klasterlarning strukturaviy tuzilishlari ularning paydo bo‘lish yoki uyg‘otilish usullariga bog‘liq emasligi aniqlangan;
SinO-2n+1 (n=1-6) i SinOm+, (n=1,2) klasterlarning  o‘rtacha yashash vaqtlari va o‘rtacha parchalanish tezligi doimiylari aniqlangan;
«bug‘lantiruvchi ansambl» va RRK nazariyalaridan foydalangan holda ishlab chiqilgan metodika doirasida VnOm± va NbnOm± qatori bosh bo‘linish reaksiyalari uchun parchalangan ionlar kinetik energiyalari spektrlari o‘lchangan hamda ularning dissotsiatsiya energiyalari aniqlangan; 
changlantirilgan nomuvozanatli klasterli strukturalarning relaksatsiya vaqtlari nazariy hisoblangan, τ<10-9 s vaqt intervalida (diapazonida) changlangan klasterlar fragmentatsiyalari (bo‘linishlari) uchun javobgar ekanliklari aniqlangan.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi:
Ionlar bombardimoni bilan changlangan zaryadli klasterlarning fundamental xossalarini aniqlashning samarali usullarini ishlab chiqish va sinovdan o‘tkazib tasdiqlash hamda parchalanishning (dissotsialanish) aktivlashuv energiyasini aniqlash bo‘yicha olingan ilmiy natijalar asosida:
changlatilgan VmOn+ klasterlar dissotsiatsiyasi energiyalarining olingan sonli qiymatlari Uxan sh. (XXR) universitetida prof. D.Fu rahbarligidagi ilmiy guruhda Xitoyning Uxan va Suchjou ilmiy-texnika Boshqarmalari ilmiy Loyihalarini bajarishda, “Research on cluster ion beam equipment for fabrication of ultra shallow junction devices” nomli №2016030409020210 raqamli grant va “Cluster ion beam nanofabrication device” nomli №ZXG201448 raqamli grantlarni bajarishda foydalanilgan (Uxan  universitetining 2020 yil 9 oktyabrdagi ma’lumotnomasi). Natijada, zarur stexiometriya va boshqa parametrlarga ega bo‘lgan vanadiy oksidining musbat klasterli ionlar dastasini olish imkonini bergan; 
kremniy oksidining changlantirilgan klasterlarining dissotsiatsiya energiyalarini baholash natijalari Michigan plazmali tadqiqotlar va injeneriya AQSh energetika Vazirligi institutida bajarilgan AQSh Energetika Vazirligining «Directed Energy Interactions with Surfaces» nomli №DE-AC02-06CH11357 raqamli ilmiy loyihasida klasterlar miqdori va ularning nisbiy intensivligi nuqtai nazaridan o‘lchangan mass-spektrlarni tahlil qilishda foydalanilgan (Michigan davlat universitetining 2020 yil 30 sentyabrdagi ma’lumotnomasi). Natijada, mass-spektrlarda turg‘un klasterlarni baholash imkonini bergan;
radiatsion sinergetika konsepsiyasi asosida ishlab chiqilgan ion bombardimon jarayonida ikkilamchi zarrachalar emissiyasini ifodalash uchun foydalanilgan, dinamik va termodinamik nazariyalar orasidagi bo‘shliqni to‘ldirishga mo‘ljallangan nazariy tahlil metoddan Ural federal universiteti Fizika-texnologiya institutida (Rossiya) 3.1485.2017/4.6 «Defektnaya struktura, vozbujdyonnie sostoyaniya i konversiya izlucheniya UF-IK diapazona v razuporyadochennix oksidax RZE s ponijenoy razmernost`yu» va RFFI №20-42-660012 «Elektronnaya struktura, defekti i fotoindusirovannie protsessi v ionno-implantirovannix materialax» ilmiy-tadqiqot loyihalarini bajarish doirasida radiatsion indusirlangan effektlarni o‘rganish jarayonlarida foydalanilgan (Ural federal universiteti Fizika-texnologiya institutining 2020 yil 5 oktyabrdagi 33.05-32/64-son ma’lumotnomasi). Natijada, radiatsion indusirlangan effektlarni o‘rganish imkonini bergan.