Максимов Сергей Евлантиевичнинг
фан доктори (DSc) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон

I. Умумий маълумотлар. 
Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи): “Сиртдан ион бомбардимони таъсирида чанглатилган кластерли ионларнинг фундаментал хоссалари”, 01.04.04 – Физик электроника (физика-математика фанлари).
Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: B2020.3.DSc/FM138.
Илмий маслаҳатчи: Ашуров Хатам Бахронович, техника фанлари доктори, профессор.
Диссертация бажарилган муассаса номи: Ион-плазма ва лазер технологиялари институти.
ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Ион-плазма ва лазер технологиялари институти, DSc.02/30.12.2019.FM.65.01.
Расмий оппонентлар: Кремков Михаил Витальевич, физика-математика фанлари доктори, профессор; Умирзаков Болтахўжа Ерматович, физика-математика фанлари доктори, профессор; Усманов Дилшадбек Турсунбаевич, физика-математика фанлари доктори. 
Етакчи ташкилот: Ўзбекистон Миллий университети.
Диссертация йўналиши: амалий ва назарий аҳамиятга молик.
II. Тадқиқотнинг мақсади ионлар бомбардимони билан чангланган зарядли кластерларнинг фундаментал хоссаларини аниқлашнинг самарали усулларини ишлаб чиқиш ва синовдан ўтказиб тасдиқлаш ҳамда парчаланишнинг (диссоциаланиш) активлашув энергиясини аниқлашдан иборат.
III. Тадқиқотнинг илмий янгилиги:
айнан бир хил тажриба шароитларда Ag, Nb ва Ta сиртларини оғир атомар Xe+ ва массалари жиҳатдан яқин бўлган SF5+ молекуляр ионлар билан тўзғитиш жараёнларида Agn ва Nbn металларининг гомоядроли кластерларининг чиқиши бир хил, улар интенсивлигида кузатиладиган фарқлар чангланаётган заррачаларнинг ионлашиш эҳтимоллиги билан боғлиқ эканлиги аниқланган;
Agn+, Aun+, Cun+, Nbn+ ва Tan+ каби қатор кластерларнинг ўртача бўлиниш тезликлари доимийлари ва ўртача яшаш вақтлари, Nbn+ ва Tan+ каби кластерлар қатори учун ўртача ғалаёнланиш энергиялари аниқланди; бир-бирига яқин бўлган атомар ва молекуляр ионлар билан чанглантирилган кластерларнинг ўртача бўлиниш тезликлари доимийлари ва ўртача яшаш вақтлари бир хил эканликлари аниқланган;
парчаланган ионлар кинетик энергиялари спектрини ўлчаш ва Xe+ ионлари билан чанглантирилган қатор NbmCn+ кластерларнинг диссоциацияланиш энергияларини баҳолаш амалга оширилган, мономолекуляр реакциялари назарияси доирасида ўлчаш натижаларини қайта ишлашга асосланган методика ишлаб чиқилган; 
бомбардимон қилиш камерасида кислород киритиш ва Si, V ва Nb сиртларни ксенон ионлари билан чанглантириш жараёнларида SinOm, VnOm ва NbnOm  кластерларининг ҳосил бўлиши ва эмиссияси учун самарали шарт-шароитлар аниқланган; 
РРК ва «буғлантирувчи ансамбл» назариялари доирасида ҳисобланган SinO-2n+1 (n=2-7) ва SinOm+ кластерларнинг диссоциация энергияларининг сонли қийматлари методика ўлчаш хатоликлари даражасида кислород киритилган шароитда O2+ ва Xe+ ионлари билан чанглантирилган SinO-2n+1 (n=2-7) кластерларнинг диссоциация энергиялари билан бир хил эканлиги, яъни ушбу кластерларнинг структуравий тузилишлари уларнинг пайдо бўлиш ёки уйғотилиш усулларига боғлиқ эмаслиги аниқланган;
РРК ва «буғлантирувчи ансамбл» назариялари доирасида ҳисобланган SinO-2n+1 (n=2-7) ва SinOm+ кластерларнинг диссоциация энергияларининг сонли қийматлари методика ўлчаш хатоликлари даражасида кислород киритилган шароитда O2+ ва Xe+ ионлари билан чанглантирилган SinO-2n+1 (n=2-7) кластерларнинг диссоциация энергиялари билан бир хил эканлиги, яъни ушбу кластерларнинг структуравий тузилишлари уларнинг пайдо бўлиш ёки уйғотилиш усулларига боғлиқ эмаслиги аниқланган;
SinO-2n+1 (n=1-6) и SinOm+, (n=1,2) кластерларнинг  ўртача яшаш вақтлари ва ўртача парчаланиш тезлиги доимийлари аниқланган;
«буғлантирувчи ансамбл» ва РРК назарияларидан фойдаланган ҳолда ишлаб чиқилган методика доирасида VnOm± ва NbnOm± қатори бош бўлиниш реакциялари учун парчаланган ионлар кинетик энергиялари спектрлари ўлчанган ҳамда уларнинг диссоциация энергиялари аниқланган; 
чанглантирилган номувозанатли кластерли структураларнинг релаксация вақтлари назарий ҳисобланган, τ<10-9 с вақт интервалида (диапазонида) чангланган кластерлар фрагментациялари (бўлинишлари) учун жавобгар эканликлари аниқланган.
IV. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши:
Ионлар бомбардимони билан чангланган зарядли кластерларнинг фундаментал хоссаларини аниқлашнинг самарали усулларини ишлаб чиқиш ва синовдан ўтказиб тасдиқлаш ҳамда парчаланишнинг (диссоциаланиш) активлашув энергиясини аниқлаш бўйича олинган илмий натижалар асосида:
чанглатилган VmOn+ кластерлар диссоциацияси энергияларининг олинган сонли қийматлари Ухан ш. (ХХР) университетида проф. Д.Фу раҳбарлигидаги илмий гуруҳда Хитойнинг Ухан ва Сучжоу илмий-техника Бошқармалари илмий Лойиҳаларини бажаришда, “Research on cluster ion beam equipment for fabrication of ultra shallow junction devices” номли №2016030409020210 рақамли грант ва “Cluster ion beam nanofabrication device” номли №ZXG201448 рақамли грантларни бажаришда фойдаланилган (Ухан  университетининг 2020 йил 9 октябрдаги маълумотномаси). Натижада, зарур стехиометрия ва бошқа параметрларга эга бўлган ванадий оксидининг мусбат кластерли ионлар дастасини олиш имконини берган; 
кремний оксидининг чанглантирилган кластерларининг диссоциация энергияларини баҳолаш натижалари Мичиган плазмали тадқиқотлар ва инженерия АҚШ энергетика Вазирлиги институтида бажарилган АҚШ Энергетика Вазирлигининг «Directed Energy Interactions with Surfaces» номли №DE-AC02-06CH11357 рақамли илмий лойиҳасида кластерлар миқдори ва уларнинг нисбий интенсивлиги нуқтаи назаридан ўлчанган масс-спектрларни таҳлил қилишда фойдаланилган (Мичиган давлат университетининг 2020 йил 30 сентябрдаги маълумотномаси). Натижада, масс-спектрларда турғун кластерларни баҳолаш имконини берган;
радиацион синергетика концепцияси асосида ишлаб чиқилган ион бомбардимон жараёнида иккиламчи заррачалар эмиссиясини ифодалаш учун фойдаланилган, динамик ва термодинамик назариялар орасидаги бўшлиқни тўлдиришга мўлжалланган назарий таҳлил методдан Урал федерал университети Физика-технология институтида (Россия) 3.1485.2017/4.6 «Дефектная структура, возбуждённые состояния и конверсия излучения УФ-ИК диапазона в разупорядоченных оксидах РЗЭ с пониженой размерностью» ва РФФИ №20-42-660012 «Электронная структура, дефекты и фотоиндуцированные процессы в ионно-имплантированных материалах» илмий-тадқиқот лойиҳаларини бажариш доирасида радиацион индуцирланган эффектларни ўрганиш жараёнларида фойдаланилган (Урал федерал университети Физика-технология институтининг 2020 йил 5 октябрдаги 33.05-32/64-сон маълумотномаси). Натижада, радиацион индуцирланган эффектларни ўрганиш имконини берган.