Аширов Атабек Салиевичнинг
фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон
I. Умумий маълумотлар.
Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри: “Кичик бурчак остида тушаётган Не+ ва Ар+ ионларининг Ал2О3(001) ва СиО2(001) сиртидан сочилиш жараёнини моделлаштириш”, 01.04.04- Физик электроника (физика-математика фанлари).
Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: В2022.1.PhD/FM680.
Илмий раҳбар: Кутлиев Учкун Отабоевич, физика-математика фанлари доктори.
Диссертация бажарилган муассаса номи: Урганч давлат университети.
ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Урганч давлат университети, PhD.03/30.09.2020.FM.55.04.
Расмий оппонентлар: Ядгаров Ишмумин Жаббарович, физика-математика фанлари доктори; Шаропов Ўткиржон Баҳодирович, физика-математика фанлари доктори.
Етакчи ташкилот: Тошкент Давлат Техника университети.
Диссертация йўналиши: назарий аҳамиятга молик.
II. Тадқиқотнинг мақсади:
Идеал Ал2О3(001) ва СиО2(001) юпқа қатлам сиртларини кичик бурчак остида бомбардимон қилаётган ионларнинг сочилиш жараёнини компютерда моделлаштириш усули билан ўрганишдан иборат.
III. Тадқиқотнинг илмий янгилиги:
илк маротаба идеал Ал2О3(001) ва СиО2(001) юпқа қатламлар сиртидаги метал ва кислород атомлардан ташкил топган ярим каналлардан ионларнинг сочилиши жараёнини компютерда моделлаштириш учун дастурлар яратилган ва мавжудлари такомиллаштирилган;
кичик энергия ва кичик бурчаклар остида СиО2(001) оксид юпқа қатлами сиртини бомбардимон қилаётган Ар+ ва Не+ ионларининг сиртдаги ярим каналлардан сочилиш жараёнида ярим канал деворидаги кислород атоми таъсирида ионларнинг ноеластик энергия йўқотишларининг қийматлари ортгани аниқланган;
СиО2(001) ва Ал2О3(001) сиртини кичик бурчак ҳамда кичик энергияларда бомбардимон қилаётган Ар+ ва Не+ ионларининг сиртдаги ярим каналларга кириш чуқурлигининг мўлжал масофасига боғлиқлиги ва ярим канал деворидаги кислород атоми жойлашгани учун ионларнинг ярим каналга кириш бурчагининг қийматини ортишига олиб келиши аниқланган;
биринчи марта Ал2О3(001) юпқа қатлам сиртини Ар+ ва Не+ ионлари билан бомбардимон қилганда сиртдаги атом қаторидан сочилган ионларнинг траекториялари таҳлил қилинди ва сирт атом қаторидан сочлаётган ионларнинг траекторияларининг параллеллиги мўлжал масофасининг қиймати ортиши йўқолишига аниқланган;
илк маротаба СиО2(001) ва Ал2О3(001) оксид юпқа қатламлари сиртидан сочилган ионларнинг энергетик ва бурчак тақсимотларида сирт атом қатори ва ярим канал тубидаги атомлардан сочиган ионларга тегишли бўлган чўққилардан ташқари сирт ости қатламидаги кислороддан сочилган ионларга тегишли бўлган чўққилар ҳам аниқланган.
IV. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши. Диссертацияда олинган натижалар қуйидаги лойиҳаларда қоʻлланилган: Ал2О3(001) ва СиО2(001) оксид юпқа қатламлари сиртини кичик бурчак остида бомбардимон қилаётган Не+ ва Ар+ ионларини сочилиш жараёнини моделлаштириш бўйича олиб борилган тадқиқотлар натижаларига кўра:
диссертация ишида амалга оширилган сирт ҳолати ўрганиш бўйича олинган натижалардан Тошкент давлат техника университети “Электрон аппаратларни ишлаб чиқариш технологияси” кафедрасида Давлат амалий — тадқиқот дастурлари доирасида 2017-2020 йилларда олиб борилган №ОТ-Атех-2018-503: «Модификация электронной структуры, эмиссионных и оптических свойств поверхности слоёв Си, Ни и их окислов ионной бомбардировкой » (Си, Ни сирти катламлари ва уларнинг оксидлари электрон тузилишлари, эмиссия ва оптик хусусиятларини ион бомардимони билан ўзгартириш) номли амалий тадқиқот лойихасида фойдаланилди (Тошкент давлат техника университети 2022 йил 28 декабр санасидаги 01/9.14-4256 рақамли далолатномаси). Илмий натижалардан фойдаланиш ионлар билан сиртни бомбардимон қилиш жараёнида сирт структураси, тузилишини ўрганиш ва фундаментал физикавий қонуниятларни ўзлаштириш имконини яратилган.
Диссертация ишида сирт билан ионларнинг тўқнашув жараёнини моделлаштириш бўйича олинган натижалар ЎзР ФА Ион -плазма ва лазер технологиялари институтида ф.м.ф.д. А.С. Балтенков раҳбарлигида 2017-2020 йилларда олиб борилган № ОТ-Ф2-46 “Углеродли нанотрубкалар ва фуллеренлар билан атом зарралари, электронлар ва фотонларнинг ўзаро таъсири жараёнини назарий тадқиқ этиш” номли фундаментал лойиҳа илмий-техникавий вазифаларни бажаришда самарали фойдаланилди (ЎзРФА нинг 2023 йил 28 феврал санасидаги 2/1255-377 рақамли далолатномаси). Илмий натижалардан сирт билан тўқнашувдан кейин сочилган электронлар ва ионларнинг дифференциал кесимини ҳисоблаш бўйича ишлаб чиқилган алгоритмлар пакети ва дастурларини яратишда, қаттиқ жисм сиртига йўналтирилган заррача (ион ёки электрон)нинг дастлабки ва ундан кейинги тўқнашувлар кетма-кетлигини ҳосил қилишда ишлатиладиган йўналтирувчи векторларнинг қийматларини ҳамда йўналишини ҳисоблаш дастурини яратишда, сиртга йўналтирилган заррача(ион)ларнинг тўқнашув жараёнини тўла ёритиб бериш учун муҳим бўлган траекторияларини визуал ўрганиш учун дастурларни яратишда ва заррачаларнинг монокристал ичига чегаравий кириш бурчагини аниқлаш бўйича яратилган алгоритм ва дастурларидан олинган натижаларни ўзаро таққослашда қўлланилган.
