Xamidov Rustam Xojakbarovichning
Fizika-matematika fanlari fan doktori (DSc) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon
I. Umumiy ma’lumotlar.
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmogʻi nomi):
“Chuqur satxli kremniy va ular asosidagi tuzilmalarda tenz-termo effektlar”, 01.04.10 – Yarimo‘tkazgichlar fizikasi.
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2023.3.DSc/FM230
Ilmiy maslahatchi: Mamatkarimov Odiljon Oxundedaevich fizika-matematika fanlari doktori, professor.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: Namangan muxandislik texnologiya instituti va Rossiya milliy taddqiqotlar texnologiya universiteti MISIS Olmaliq filiali.
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: O‘zbekiston Milliy universiteti huzuridagi Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti, DSc.03/30.12.2019.FM/T.01.12.
Rasmiy opponentlar: Otajanov Salimjon Madraximovich, fizika-matematika fanlari doktori, professor; Imomov Erkin Zunnunovich, fizika-matematika fanlari doktori (DSc), professor; Ayupov Kutup Sautovich, fizika-matematika fanlari doktori (DSc), professor.
Yetakchi tashkilot: Qoraqalpoq davlat universiteti
Dissertatsiya yo‘nalishi: Nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II.Tadqiqotning maqsadi:
Chuqur energetik sathli kirishmalarga ega bo‘lgan kremniyda va ular yaratilgan Shottki diodlarida xar taraflama va biro‘qlama gidrostatik bosimning impulsli rejimidagi tenzoeffekt mexanizmlarini ochib berishdan iboratdir. Shuningdek tadqiq qilinayotgan namunalar va ular asosidagi metal-yarimo‘tkazgich tuzilmalardagi dinamik tenzoeffektining aloxida tarkiblarini o‘rganishdan iboratdir.
III.Tadqiqotning ilmiy yangiligi quyidagilardan iborat:
ilk bor, namunlar elektr o‘tkuvchnligining yuqori doimiy gidrostatik bosim sharoitida haroratga bog‘liqligini elektr isitgich yordamida o‘rgnish orqali nikel kirishmasi kiritilgan kremniy namunalaridagi dinamik tenzoeffekt nafaqat haroratning o‘zgarishi hisobiga, balki relaksatsion-tebranma jarayonlar hisobiga ham hosil bo‘lishi ko‘rsatilgan; .Qanday ko‘rsatilgan! Ochib berish kerak!
dinamik tenzoeffektning relaksatsion qismi tadqiq qilinayotgan kremniy namunalari hajmida chuqur sathli kirishmalarning mavjudligi bilan bog‘liq ekanligi va kompensirlovchi atomlar konsentratsiyasining ortishi bilan uning umumiy tenzoeffektdagi ulushi ham ortishi tenzo-xoll effektini tadqiq qilish orqali o‘rnatilgan; Yangilikni bitta gap bilan ifodalagan holda ochib berilishi kerak!
ilk bor, impulsli bosim ostidagi tenzo-xoll xodisasini tadqiq qilish orqali dinamik tenzoeffektining relaksatsion qismi tadqiq qilinayotgan namunalardagi chuqur sathli kirishmlarning tabiatiga bog‘liq ekanligi aniqlangan bo‘lib,.bunda akseptor kirishmali kremniy namunalaridagi dinamik tenzoeffekt donor kirishmali va amfoter kirishmali namunalardagiga qaraganda kam bo‘lishi xamda amfoter kirishmali namunalar esa statik bosimga bo‘lgan sezgirlikka deyarli ega emasligi, dinamik bosimga sezgirligi esa eng katta bo‘lishi o‘rnatilgn;
ilk bor, chuqur sathli kirishmalar kiritilgan kremniy asosidagi Shottki to‘siqli tuzilmalarda har taraflama gidrostatik bosim ostidagi Volt-Amper xarakteristikalarini tadqiq qilish orqali ularning tenzoo‘tkazuvchanligini keskin ortishiga olib keluvchi tashqi elektr kuchlanishning qayta taqsimlanishining kuzatilishi ko‘rsatilgan;
ilk bor, Shottki to‘siqli tuzilmalardagi dinamik tenzoeffektning relaksatsion qismi baza sohasidagi chuqur sathli kirishmalarning tabiatiga bog‘liq ekanligi impulsli bosim ostidagi volt amper xarakteristikani tadqiq qilish orqali o‘rnatilgan;
bir o‘qlama bosim ta’sirining impulsli rejimida chuqur sathlarda yotuvchi nikel kirishmali kremniyda relaksatsion va haroratli komponentalardan tashkil topuvchi dinamik tenzoeffekt kuzatilishi o‘rnatilgan bo‘lib, bunda tadqiq qilinayotgan kuchlii kompensirlangan namunalrdagi dinamik tenzoeffektning tebranma-relaksatsion qismi haroratli qismiga nisbatan sezilarli darajada yuqori ekanligi aniqlangan;
ilk bor, nikel kirishmasi kiritilgan kremniy asosidagi Shottki to‘siqli tuzilmalar biro‘qlama gidrostatik bosim ostida volt – amper xarakteristikalari tadqiq qilingan bo‘lib, bu tuzilmalarning biro‘qlama gidrostatik bosim ostidagi tenzoo‘tkazchanliklari shunday tuzilmalarning har taraflama bosim ostidagi tenzoo‘tkazuvchanligiga qaragada bir daraja yuqori bo‘lishi ko‘rsatilgan;
tashqi bosimning juda keng oralig‘ida ishlaydigan, tenzo-termo effekt asosida yangi ko‘p kaskadli, mexanik o‘zgarishlarni elektr o‘zgarishlarga aylantirib beruvchi o‘zgartirgich yaratilgan.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi.
Chuqur satxli kirishmalar kiritilgan kremniy va ular asosida tayyorlangan sirtiy to‘siqli tuzilmalarda xarorat - relaksatsiya xodisalarini tadqiq qilish jarayonida olingan muxim natijalar asosida:
chuqur satxli kirishma atomlari kiritilgan kremniy kristalidagi dinamik tenzoo‘tkazuvchanlik nafaqat xaroratning o‘zgarishi bilan balki, relaksatsion effektlar bilan xam bog‘liq ekanligi; chuqur satxli kirishmalar turidan qat’iy nazar barcha tadqiq qilingan namunalarda ro‘y beradigan tebranma – relaksatsion xodisalari ulushining o‘zgarish tabiati bir xil ekanligi; elektrofizik kattaliklar o‘zgarishining relaksatsion qismi tadqiq qilinayotgan namunalarning o‘tkazuvchanlik turiga bog‘liq ekanligi; impulsli gidrostatik bosim (IGB) ta’sirida n-Si<Ni> namunalaridagi zaryad tashuvchilar xarakatchanligini o‘zgarishi asosan relaksatsion xodisalar bilan bog‘liq ekanligi; tadqiq qilinayotgan Shottki to‘siqli diod tuzilmalarida baza soxasidagi kompensirlovchi kirishma atomlari konsentratsiyasining ortishi bilan relaksatsion xodisalar xam ortishi Namangan muxandislik-texnologiya institutida (2017-2020 yillar) C20140807091641 raqamli “Kuchli legirlangan yarimo‘tkazgichlar va yarimo‘tkazgichli qorishmalardagi energetik spektrlarning o‘zgarishi” mavzusidagi Davlat ilmiy texnik loyixasini bajarilishida foydalanilgan (06.09.2023y dagi № 4G‘17-4G‘06-09 raqamli ma’lumotnoma). Olingan ilmiy natijalarning qo‘llanilishi sirtiy to‘siqli tuzilmalarda izotrop deformatsiya ta’sirida ro‘y beradigan fizik jarayonlarni tushuntirish imkonini berdi.
Dissertatsi ishini bajarish davomida aniqlangan quyidagi muxim natijalar: n-Si<Ni> namunalaridagi zaryad tashuvchilar xarakatchanligining impulsli gidrostatik bosim ta’siridagi ortishi asosan relaksatsion xodisalar bilan bog‘liq ekanligi;
n-Si<Ni> namunalarida xam r-Si<Ni> namunalarida xam IGB ta’siridagi zaryad tashuvchilar xarakatchanligi sezilarsiz darajada o‘zgardi. Xar xil o‘tkazuvchanlik turiga ega bo‘lgan namunalarda zaryad tashuvchilar xarakatchanliginig o‘zgarish xarakteri xar xil bo‘lishi. Bunda n-Si<Ni> namunalaridagi zaryad tashuvchilar xarakatchanligi 7-8 % ga orsa r-Si<Ni> namunalaridagi zaryad tashuvchilarning xarakatchanligi 10-11 % ga kamayishi; kremniy kristalli tenzosergirligining ikkita komponentadan dinamik va statik komponentalardan iborat bo‘lishi, dinamik komponenta o‘z navbatida xarorat va relaksatsion komponentalardan iborat bo‘lishi, “Foton” aksionerlik jamiyati ilmiy tadqiqot ishlarining texnologik jarayonlarida qo‘llanilmoqda (07.08.2023 y. dagi № 155 raqamli ma’lumotnoma). Dissertatsiyada keltirilgan mazkur ilmiy natijalardan foydalanish yarimo‘tkazgich asosli yangi tuzilmalarning tashqi ta’sirlarga bo‘lgan chidamliligini yuqori bo‘lish imkonini berdi
Tadqiq qilinayotgan namunalardagi xaroratning o‘zgarishi namunalar xajmi bo‘yicha tarqalishini to‘lqin tabiatga ega ekanligini ko‘rsatuvchi taklif etilayotgan formula va chuqur satxli kirishmalarga ega bo‘lgan yarimo‘tkazgichlar tenzosezgirligini aniqlashning relaksatsion xodisalarni xisobga oluvchi taklif qilinayotgan usul Malayziya universitetining ionika markazida foydalanilgan. (Center for Ionics Universiti Malaya) (Ref: C.I.U.MG‘11082023 (R). Ilmiy natijalardan foydalanish yangi turdagi quyosh elementlari parametrlarini yaxshilash imkoniyatini berdi.
Dissertatsiya ishini bajarish davomida olipgan quyidagi natijalar: dinamik tenzoeffektining relaksatsion qismi tadqiq qilinayotgan namunalardagi chuqur satxli kiritmlarning tabiatiga bog‘liq ekanligini; aksseptor kirishmali kremniy namunalaridagi dinamik tenzoeffekt donor kirishmali va amfoter kirishmali namunalardagiga qaraganda kam bo‘lishi; amfoter kirishmali namunalar esa statik bosimga bo‘lgan sezgirlikka deyarli ega emasligi, dinamik bosimga nisbatan sezgirligini eng katta bo‘lishi O‘zFA Yadro fizikasi institutida olib borilgan FA-Atex-2018-176 “Oltigugurt kirishmasi bilan legirlangan kremniy monokristal plenkalar olishning radiatsion texnologik usulini yaratish” (loyiha rahbari fizika-matematika fanlari nomzodi, katta ilmiy hodim Sh. A. Mahmudov) mavzusidagi amaliy tadqiqot loyihasida foydalanilgan (13.10.2023 y. dagi №2G‘1255-2283 raraqamli ma’lumotnoma). Ilmiy natijalardan foydalanish oltigugurt kirishmasi bilan legirlangan kremniy monokristalidagi chuqur sathlarni radiatsiya ta’siri ostida o‘zini tutishi sabablarini tushuntirish imkonini berdi.