Berkinov Elmurod Xoshimjonovichning
falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon

I. Umumiy ma’lumotlar. 
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): “Kremniy monokristallida nikel kirishma atomlari mikro- va nanobirikmalarning strukturaviy xossalari”, 01.04.10 – Yarimo‘tkazgichlar fizikasi (fizika-matematika fanlari).
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2020.2.PhD/FM477
Ilmiy rahbar: Turgunov Nozimjon Abdumannopovich, fizika-matematika fanlari doktori, dotsent.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: O‘zbekiston Milliy universiteti huzuridagi Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti. 
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: O‘zbekiston Milliy universiteti huzuridagi Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti, DSc.03/30.12.2019.FM/T.01.12
Rasmiy opponentlar: Raxmatov Axmad Zayniddinovich, texnika fanlari doktori, professor; Gulyamov Gofur, fizika-matematika fanlari doktori, professor.
Yetakchi tashkilot: Qoraqalpoq davlat universiteti. 
Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi nikel bilan legirlangan kremniyda kirishma mikro- va nanobirikmalarning strukturaviy tuzilishi, elementli tarkibi hamda tashqi ta’sirlar (harorat, bosim) ostida parchalanish ketma-ketligini aniqlashdan iborat.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi quyidagilardan iborat:
kremniy monokristalini diffuziya usulida T≥1273 K haroratlarda t=2÷4 soat davomida nikel bilan legirlaganda, uning hajmida kirishma mikro- va nanobirikmalari hosil bo‘lishi aniqlangan;
ilk bor kremniyda hosil bo‘lgan nikel kirishma to‘plamlarining, asosan o‘lchamiga bog‘liq holda, ya’ni d<1 mkm bo‘lganda birqatlamli va d≥1 mkm bo‘lganda ko‘pqatlamli strukturaviy tuzilishga ega bo‘lishligi aniqlangan;
elektron mikroskopiya usuli yordamida kremniyda hosil bo‘lgan nikel kirishma mikro- va nanobirikmalari kimyoviy tarkibining tahlili orqali, ulardagi texnologik kirishmalar (Fe, Cu, Cr va boshqalar) atomlarining miqdori asosiy kirishma atomlarining 0.01÷0.001% ulushi miqdorida ekanligi aniqlangan;
termik tavlash harorati T=1073 K ni tashkil etganda nikel kirishma nanobirikmalari n-Si<Ni> namunalarida 10 minut davomida, p-Si<Ni> namunalarida esa 15÷20 minut davomida parchalanishi aniqlangan;
R=6108 Pa qiymatdagi tashqi har tomonlama gidrostatik bosim ta’siri ostida n-Si<Ni> namunalaridagi o‘lchami ~700 nm gacha bo‘lgan ignasimon, disksimon va linzasimon kirishma nanobirikmalari, bosimning R=1.2109 Pa qiymatida esa o‘lchami ~1 mkm gacha bo‘lgan linzasimon va sharsimon shakldagi kirishma nano- va mikrobirikmalari parchalanishi aniqlangan.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi. Nikel atomlari kirishma mikro- va nanobirikmalariga ega bo‘lgan kremniy monokristalining elektrofizik xususiyatlarini tashqi ta’sirlar vositasida boshqarish bo‘yicha olingan ilmiy natijalar asosida: 
nikel bilan legirlangan kremniyda oldindan berilgan o‘lchamlar va tarkibiy tuzilmalarga ega bo‘lgan kirishma mikro- va nanobirikmalari hosil bo‘lishi uchun aniqlangan maqbul texnologik sharoitlardan hamda yuqori haroratlarda (T≥1273 K) diffuziya usulida nikel bilan legirlangan kremniy monokristalida hosil bo‘luvchi kirishma mikro- va nanobirikmalari tarkibida mavjud bo‘lgan texnologik kirishmalar (Fe, Cu, Cr va boshqalar) atomlarining miqdori asosiy kirishma atomlarining 0.01÷0.001% ulushi miqdorida ekanligidan Belorusiya FAning materialshunoslik bo‘yicha ilmiy-amaliy markazida 1.3.1 “Kremniyli asboblar strukturalarida radiatsiyaviy-induksiyalangan markazlarining nuqson-kirishma muhandisligi” mavzusidagi loyihasining “Kondensirlangan holat fizikasi va yangi funksional materiallarni yaratish hamda ularni olish texnologiyalari” kichik dasturini amalga oshirish jarayonida foydalanilgan (Belorusiya FAning materialshunoslik bo‘yicha ilmiy-amaliy markazining 2022 yil 14 noyabrdagi №150-01-39/583-sonli ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalardan foydalanish nikel bilan legirlangan kremniy asosida olingan diodlar va MDYa-strukturalarning funksional imkoniyatlarini oshirishga imkon bergan;
kremniydagi nikel kirishma atomlari to‘plamlarining strukturaviy tuzilishi asosan, diffuziya harorati va diffuziyadan so‘ng namunalarni sovitish tezligi qiymatlariga bog‘liq bo‘lib, T≥1273 K diffuziya haroratlarida olingan, so‘ngra tez sovitilgan (≥200 K/s) namunalarda o‘lchami bir necha yuzlab nanometrga yetuvchi kirishma nanobirikmalari, sekin sovitilgan (≤1 K/s) namunalarda esa o‘lchami 10 mkm gacha bo‘lgan kirishma mikrobirikmalari shakllanishidan; termik tavlash harorati T=1073 K ni tashkil etganda nikel kirishma nanobirikmalari n-Si<Ni> namunalarida 10 minut davomida, p-Si<Ni> namunalarida esa 15÷20 minut davomida parchalanishidan «FOTON» AJda ishlab chiqariladigan yarimo‘tkazgichli kremniy asosidagi elektron qurilmalar tayyorlashda foydalanilgan («O‘zeltexsanoat» aksionerlik jamiyatining 2022 yil 9 dekabrdagi №04-3/2558-sonli ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalardan foydalanish nikel bilan legirlangan kremniy tajribaviy na’munalarining elektrofizik parametrlarini termik tavlash ta’sirida boshqarish imkonini bergan..