Беркинов Елмурод Хошимжоновичнинг
фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон

И. Умумий маълумотлар. 
Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи): “Кремний монокристаллида никел киришма атомлари микро- ва нанобирикмаларнинг структуравий хоссалари”, 01.04.10 – Яримўтказгичлар физикаси (физика-математика фанлари).
Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: В2020.2.ПҳД/ФМ477
Илмий раҳбар: Тургунов Нозимжон Aбдуманнопович, физика-математика фанлари доктори, доцент.
Диссертация бажарилган муассаса номи: Ўзбекистон Миллий университети ҳузуридаги Яримўтказгичлар физикаси ва микроелектроника илмий-тадқиқот институти. 
ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Ўзбекистон Миллий университети ҳузуридаги Яримўтказгичлар физикаси ва микроелектроника илмий-тадқиқот институти, ДСc.03/30.12.2019.ФМ/Т.01.12
Расмий оппонентлар: Рахматов Aхмад Зайниддинович, техника фанлари доктори, профессор; Гулямов Гофур, физика-математика фанлари доктори, профессор.
Йетакчи ташкилот: Қорақалпоқ давлат университети. 
Диссертация йўналиши: назарий ва амалий аҳамиятга молик.
ИИ. Тадқиқотнинг мақсади никел билан легирланган кремнийда киришма микро- ва нанобирикмаларнинг структуравий тузилиши, елементли таркиби ҳамда ташқи таъсирлар (ҳарорат, босим) остида парчаланиш кетма-кетлигини аниқлашдан иборат.
ИИИ. Тадқиқотнинг илмий янгилиги қуйидагилардан иборат:
кремний монокристалини диффузия усулида Т≥1273 К ҳароратларда т=2÷4 соат давомида никел билан легирлаганда, унинг ҳажмида киришма микро- ва нанобирикмалари ҳосил бўлиши аниқланган;
илк бор кремнийда ҳосил бўлган никел киришма тўпламларининг, асосан ўлчамига боғлиқ ҳолда, яъни д<1 мкм бўлганда бирқатламли ва д≥1 мкм бўлганда кўпқатламли структуравий тузилишга ега бўлишлиги аниқланган;
електрон микроскопия усули ёрдамида кремнийда ҳосил бўлган никел киришма микро- ва нанобирикмалари кимёвий таркибининг таҳлили орқали, улардаги технологик киришмалар (Фе, Cу, Cр ва бошқалар) атомларининг миқдори асосий киришма атомларининг 0.01÷0.001% улуши миқдорида еканлиги аниқланган;
термик тавлаш ҳарорати Т=1073 К ни ташкил етганда никел киришма нанобирикмалари н-Си<Ни> намуналарида 10 минут давомида, п-Си<Ни> намуналарида еса 15÷20 минут давомида парчаланиши аниқланган;
Р=6108 Па қийматдаги ташқи ҳар томонлама гидростатик босим таъсири остида н-Си<Ни> намуналаридаги ўлчами ~700 нм гача бўлган игнасимон, дисксимон ва линзасимон киришма нанобирикмалари, босимнинг Р=1.2109 Па қийматида еса ўлчами ~1 мкм гача бўлган линзасимон ва шарсимон шаклдаги киришма нано- ва микробирикмалари парчаланиши аниқланган.
ИВ. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши. Никел атомлари киришма микро- ва нанобирикмаларига ега бўлган кремний монокристалининг електрофизик хусусиятларини ташқи таъсирлар воситасида бошқариш бўйича олинган илмий натижалар асосида: 
никел билан легирланган кремнийда олдиндан берилган ўлчамлар ва таркибий тузилмаларга ега бўлган киришма микро- ва нанобирикмалари ҳосил бўлиши учун аниқланган мақбул технологик шароитлардан ҳамда юқори ҳароратларда (Т≥1273 К) диффузия усулида никел билан легирланган кремний монокристалида ҳосил бўлувчи киришма микро- ва нанобирикмалари таркибида мавжуд бўлган технологик киришмалар (Фе, Cу, Cр ва бошқалар) атомларининг миқдори асосий киришма атомларининг 0.01÷0.001% улуши миқдорида еканлигидан Белорусия ФАнинг материалшунослик бўйича илмий-амалий марказида 1.3.1 “Кремнийли асбоблар структураларида радиациявий-индукцияланган марказларининг нуқсон-киришма муҳандислиги” мавзусидаги лойиҳасининг “Конденсирланган ҳолат физикаси ва янги функционал материалларни яратиш ҳамда уларни олиш технологиялари” кичик дастурини амалга ошириш жараёнида фойдаланилган (Белорусия ФАнинг материалшунослик бўйича илмий-амалий марказининг 2022 йил 14 ноябрдаги №150-01-39/583-сонли маълумотномаси). Илмий натижалардан фойдаланиш никел билан легирланган кремний асосида олинган диодлар ва МДЯ-структураларнинг функционал имкониятларини оширишга имкон берган;
кремнийдаги никел киришма атомлари тўпламларининг структуравий тузилиши асосан, диффузия ҳарорати ва диффузиядан сўнг намуналарни совитиш тезлиги қийматларига боғлиқ бўлиб, Т≥1273 К диффузия ҳароратларида олинган, сўнгра тез совитилган (≥200 К/с) намуналарда ўлчами бир неча юзлаб нанометрга йетувчи киришма нанобирикмалари, секин совитилган (≤1 К/с) намуналарда еса ўлчами 10 мкм гача бўлган киришма микробирикмалари шаклланишидан; термик тавлаш ҳарорати Т=1073 К ни ташкил етганда никел киришма нанобирикмалари н-Си<Ни> намуналарида 10 минут давомида, п-Си<Ни> намуналарида еса 15÷20 минут давомида парчаланишидан «ФОТОН» АЖда ишлаб чиқариладиган яримўтказгичли кремний асосидаги електрон қурилмалар тайёрлашда фойдаланилган («Ўзелтехсаноат» акционерлик жамиятининг 2022 йил 9 декабрдаги №04-3/2558-сонли маълумотномаси). Илмий натижалардан фойдаланиш никел билан легирланган кремний тажрибавий наъмуналарининг електрофизик параметрларини термик тавлаш таъсирида бошқариш имконини берган..