Olimbekov Zafarbek Olimbek o‘g‘lining
falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon

I. Umumiy ma’lumotlar.
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): «Platina, kobal`t va xrom bilan legirlangan kremniyda nuqsonlar hosil bo‘lish jarayonlarining xususiyatlari», 01.04.10 – Yarimo‘tkazgichlar fizikasi (fizika-matematika fanlari). 
Dissertatsiya mavzusi ro‘yhatga olingan raqam: B2019.3.PhD/FM.418.
Ilmiy rahbar: Utamuradova Sharifa Bekmuradovna, fizika-matematika fanlari doktori, professor.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti.
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: O‘zbekiston Milliy universiteti qoshidagi Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti, DSc.03/30.12.2019. FM/T.01.12.
Rasmiy opponentlar: Aripov Xayrulla Kabilovich fizika-matematika fanlari doktori, professor; Otajonov Salim Madraximovich, fizika-matematika fanlari doktori, professor.
Yetakchi tashkilot: Namangan muhandislik-qurilish instituti. 
Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi: Platina, kobal`t va xrom kabi o‘tuvchi elementlar bilan legirlangan kremniydagi nuqsonlar hosil bo‘lish jarayonlarining xususiyatlarini va ularga har xil tashqi omillarning ta’sirini kompleks tadqiq qilish.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi quyidagilardan iborat:
ilk bor sig‘imli spektroskopiya yordamida Pt, Co va Cr bilan legirlangan kremniyning xossalari kompleks tadqiq qilingan, bu kirishmalarning  yuqori haroratli diffuziya bilan kremniyga kiritilishi tufayli bir qator chuqur sathlarning  hosil bo‘lishi aniqlangan va ularning energetik spektri identifikatsiya qilingan. O‘stirish paytida kremniyga Pt, Co, Cr kiritilganda bunday sathlar kuzatilmagan;
Pt, Co va Cr bilan legirlangan kremniyda chuqur sathlarning hosil bo‘lish samaradorligi texnologik omillarga: boshlang‘ich kremniyga dastlabki termik ishlov berish, diffuziya harorati va diffuziyadan keyingi namunalarning sovutilish tezligiga bog‘liqligi ko‘rsatilgan;
diffuziya oldi yuqori haroratli termik ishlov berish sikllari legirlangan kremniyning strukturasini boshqarish imkoniyatini berishi aniqlangan;
900-12500C oraliqdagi yuqori haroratli qo‘shimcha ishlov berish tufayli Pt, Co yoki Cr  bilan legirlangan kremniyda Ec - 0.30 eV energiyali yangi chuqur sath paydo bo‘lishi aniqlangan;
Pt, Co, Cr ning kremniyga diffuzion kiritilishi issiqlik nuqsonlari hosil bo‘lish samaradorligini 4-5 marta va nurlanish nuqsonlarini 3-4 marta kamaytirishga va kremniy parametrlarini barqarorlashtirishga olib kelishi ko‘rsatilgan;
Si hajmidagi boshqarib bo‘lmaydigan texnologik Fe kabi kirishmalari diffuziya orqali kiritilgan  Pt o‘tuvchi elementlar atomlari  bilan o‘zaro ta’sirlashib Fe atomlarini Si hajmidan sirtiga tortib tozalash mumkinligi ko‘rsatilgan.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi.  
O‘tuvchi elementlar Pt, Co va Cr bilan legirlangan kremniyda nuqsonlar hosil qilish jarayonlarining xususiyatlarini o‘rganish asosida: 
Pt, Co va Cr kirishmalari legirlangan kremniyda  4-5 marta issiqlik nuqsonlar shakllantirish samaradorligini pasayishiga va 3-4 marta radiatsion nuqsonlar kamayishi va kremniy parametrlarini barqarorlashtirish uchun, shuningdek, tez diffuziyalanuvchi boshqarib bo‘lmaydigan kirishmalardan temir atomlarini getterlash uchun kremniy namunalari yuzasiga o‘tuvchi metallarni surkash orqali olingan namunalar asosida «FOTON» AJda kremniy asosidagi issiqlikka va radiatsiyaga chidamli diodlar olishda joriy qilindi (Uzeltexsanoatning 2020 yil 22 iyundagi 04-1/1184-son ma’lumotnomasi). Natijada, kremniy sirtida platina qatlami bo‘lgan temir atomlarini olish uchun ishlab chiqilgan texnologik rejimlar va usullardan foydalanish yarimo‘tkazgichli kremniyli diodlar parametrlarining barqarorligini oshirish imkonini bergan;
kremniyning elektrofizik xossalarini barqarorlashtirishga olib keluvchi platina, kobal`t va xrom kirishmalari bilan legirlangan kremniyning optimallashtirilgan texnologik rejimlari; legirlangan kremniyda nuqson tuzilishini nazorat qilish yo‘llari va namunalar yuzasiga o‘tqizilgan o‘tuvchi elementlar kirishmalarini metall qatlamidan diffuziya yo‘li bilan kremniy hajmida tez diffuziyalanuvchi boshqarib bo‘lmaydigan temir kabi kirishmalarni getterlash Toshkent davlat texnika universitetida bajarilgan A-3-73 “Yarimo‘tkazgichli materiallarda klasterli kirishma atomlarini taqsimoti va konsentratsiyasini boshqarish qurilmasini yaratish va ishga tushirish” mavzusidagi loyihada qo‘llanilgan (O‘zbekiston Respublikasi Oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligining 2020 yil 17 iyundagi №89-03-2099 son ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalardan foydalanish yarimo‘tkazgich materiallarda kirishma atomlar klasterlarining tarqalishini nazorat qilish imkonini bergan.