Эшбобоев Сардор Нурбобо ўғли
фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон
I. Умумий маълумотлар.
Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи): “Бир ва кўп компонентли яримўтказгичлар ва уларнинг бирикмаларининг фотоемиссион ва рентген-электрон спектроскопияси” (физика-математика фанлари).
Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: В2025.1.PhD/FM 1243.
Илмий раҳбар: Ташатов Алланазар Қаршиевич, физика-математика фанлари бўйича фан доктори (DSc), профессор.
Диссертация бажарилган муассаса номи: Қарши давлат университети
ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Қарши давлат университети, PhD.03/2025.27.12FM.11.02.
Расмий оппонентлар: Эгамбердиев Бахром Эгамбердиевич, физика-математика фанлари доктори, профессор; Хожиев Шерали Тешаевич, физика-математика фанлари номзоди, профессор.
Етакчи ташкилот: Ислом Каримов номидаги Тошкент давлат техника университети.
Диссертация йўналиши: назарий ва амалий аҳамиятга молик.
II. Тадқиқотнинг мақсади: Си(111) ва ГаАс(111) сиртларида ион-плазма усули билан синтез қилинган Cр, CрСи₂, Ни ва НиСи₂ юпқа плёнкаларининг шаклланиш қонуниятлари ҳамда уларнинг таркиби ва физик хоссаларини аниқлаш асосида, ушбу материалларни юқори функсионал нано- ва оптоелектрон қурилмаларда қўллаш учун илмий-амалий асос яратишдан иборат.
III. Тадқиқотнинг илмий янгилиги:
магнетрон чанглатиш қурилмасининг доимий ток (ДC) режими ёрдамида Си(111) таглигида ҳосил қилинган Cр қатламининг термик қиздириш орқали CрСи₂ фазасига ўтиш механизми ва бу фазанинг кристаллиги ИҚ-Фуре ва Раман спектроскопияси асосида аниқланиб, МеСи₂ тизими учун панжара параметрлари ва боғланиш энергияси экспериментал тарзда асослаб берилган;
ион-плазма усулида Ни/Си тизимини НиСи → НиСи₂ фазавий ўтиш босқичлари ва кристалларнинг ўсиш механизмлари РФЕС, ХРД ва СЕМ усуллари комбинациясида аниқланиб, илк бор юқори бир жинсли ва силлиқ НиСи₂ фазавий плёнка Ни/Си ва Ни/ГаАс тизимларида шакллантирилган;
Ни ва Си элементларининг ўзаро диффузияси ион пуркаш билан бирга олиб борилган РФЕС таҳлили ёрдамида батафсил ўрганилиб, НиСи₂ фазаси учун Ни 2п3/2 сатҳининг кимёвий силжиши (+2,0 эВ) боғланиш энергияси спектрлари орқали аниқланди ва бу структуравий ўзгаришларни тавсифловчи кўрсаткич сифатида асослаб берилган;
НиСи₂ нинг юқори кристаллилиги Раман спектроскопиясида 197 см⁻¹ ва 216 см⁻¹ тебраниш частоталарида, шунингдек 508, 335, 1322, 1563 см⁻¹ режимларида тасдиқланди, бу натижалар ДФТ ҳисоблари билан мос келиши кўрсатилди ва оксидланиш изларининг йўқлиги плёнка тозалигининг юқори даражаси исботланган;
НиСи₂ ва CрСи₂ плёнкаларининг қалинликка боғлиқлиги тизимли ўрганилиб, энг паст сиртий қаршилик (~1,89 Ом/см²) қалинлиги 140–189 нм бўлган плёнкаларга хос эканлиги, д < 135 нм бўлганда эса қопланмаслик нуқсонлари ва юқори қаршилик кузатилиши кўрсатилган.
IV. Тадқиқот натижаларининг амалиётга жорий қилиниши. Бир ва кўп компонентли яримўтказгичлар ва уларнинг бирикмаларининг фотоемиссион ва рентген-электрон спектроскопияси бўйича олинган илмий натижалар асосида:
бир ва кўп компонентли яримўтказгичлар ва уларнинг бирикмаларининг юпқа плёнкаларни магнетрон чанглатиш қурилмасининг қаттиқ фазали ион-плазма усулида ҳосил қилиш технологияси “ФОТОН” акциядорлик жамиятига жорий этилган (“Фотон” акциядорлик жамиятининг 2025-йил 26-июндаги №111-сонли маълумотномаси). Натижада технологик параметрларнинг барқарорлиги таъминлаш, ҳосил қилинган плёнкаларнинг электрофизик ва оптик хоссалари ишлаб чиқариш талабларига мос эканлиги тасдиқланиб, Си ва ГаАс асосидаги яримўтказгич қурилмаларда Ни ва Cр наноплёнкалари функсионал қатламларидан фойдаланиш имконини берган;
Ни ва Си элементларининг ўзаро диффузияси ион пуркаш билан бирга олиб борилган РФЕС таҳлили ёрдамида батафсил ўрганилиб, НиСи₂ фазаси учун Ни 2п3/2 сатҳининг кимёвий силжиши (+2,0 эВ) боғланиш энергияси спектрлари орқали аниқланган ва бу структуравий ўзгаришларни тавсифловчи кўрсаткич сифатида асослаб берилганига доир илмий хулосаларидан 2024–2025-йилларда бажарилган АЛМ-202310062527-сонли “Энергия тежовчи технологияларда фойдаланиладиган силисид металл ва яримўтказгич бирикмалар асосидаги наноўлчамли плёнкаларни олиш технологиясини яратиш” мавзусидаги амалий лойиҳада фойдаланилган. (Қарши давлат университетининг 2026-йил 16-июндаги №04/6131-сонли маълумотномаси). Натижада лойиҳани бир ва кўп компонентли яримўтказгичли гетероструктуралар, силицид материаллар ва юпқа плёнкалар физикаси бўйича илмий хулосалар билан бойитиш имконини берган.
