Davlatov Muzaffar Abduhamidovichning
falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon
I. Umumiy ma’lumotlar.
Dissertatsiya mavzusi, ixtissoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i): “Yarimo‘tkazgichli (BaTiO3/Si, SiC/Si) yupqa plyonkalarining hosil bo‘lishi, ularning optik va elektrofizik xossalari” mavzusidagi 01.04.04 – Fizik elektronika.
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam:
Ilmiy tadqiqot ishi bajarilgan muassasa nomi: Qarshi davlat universiteti
Ilmiy rahbar: Normuradov Muradulla Togaevich, fizika-matematika fanlari doktori, professor.
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa (muassasalar) nomi, IK raqami: Qarshi davlat universiteti huzuridagi PhD.03/2025.27.12.FM.11.02 raqamli Ilmiy kengash.
Rasmiy opponentlar: Andijon davlat universiteti professori, O‘zbekiston Fanlar Akademiyasi akademigi, Zaynobiddinov Sirojiddin va Termiz davlat universiteti professori Turaev Ergash Yuldashevich.
Yetakchi tashkilot: Sharof Rashidov nomidagi Samarqand davlat universiteti.
Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi ion-plazma usuli yordamida ko‘p komponentli BaTiO₃/Si, SiC/Si yarimo‘tkazgichli yupqa plyonkalarini hosil qilish jarayonlari hamda ularning elementlar tarkibini, fazalarini, optik va elektrofizik xossalarini o‘rganish.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi quyidagilardan iborat:
tozaligi 99,95% bo'lgan bariy titanat kukunidan tayyorlangan mishen yordamida impulsli radiochastotali magnetron changlatish qurilmasida monokristall kremniy tagliklarida BaTiO3 yupqa plyonkalarini hosil qilishning optimal texnologik rejimi va changlatish quvvati, taglik harorati (250–600°C) va gaz bosimi parametrlari ishlab chiqildi hamda mazkur rejimda 60–160 nm qalinlikdagi bir xil, silliq va yuqori strukturaviy sifatli plyonkalar olish mumkinligi isbotlangan;
SEM-EDS tahlili yordamida magnetron changlatish sharoitida hosil qilingan BaTiO3/Si va SiC/Si yupqa plyonkalarning sirti g‘ovaksiz, bir xil va kimyoviy tarkibi bo‘yicha stexiometrik (Ba:Ti:O=19,17:19,23:58,11at.%) ekanligi eksperimental tarzda isbotlanib, Rietveld usuli asosida BaTiO3 plyonkalarida kubik (Pm‑3m) kristall tuzilishi va SiC plyonkalarida kubik (3C–SiC) politipi shakllanishini aniqlanib, plyonka kristalligining taglik materialiga bog‘liqligi ko‘rsatilgan;
BaTiO3 yupqa plyonkasining elektrofizik xossalari HMS-5000 tizimida Van der Pauw usuli bilan o‘lchanib, zaryad tashuvchilar harakatchanligi μ = 20,93 sm2/V·s, hajmiy konsentratsiyasi n = 1,43×1018 sm-3 va elektr o‘tkazuvchanligi σ = 4,78 S/sm ekanligi aniqlandi va harakatchanlikning harorat ortishi bilan μ~T-2.9 qonuni bo‘yicha kamayishi o‘tkazuvchanlik zonasida fonon tarqalishi mexanizmini tasdiqlovchi sifatida ko‘rsatilgan;
UV-Vis spektroskopiya ma’lumotlari asosida Kubelka-Munk transformatsiyasi qo‘llanib, amorf va polikristall BaTiO3 plyonkalar uchun taqiqlangan zona kengligi mos ravishda Eg = 3,15 eV va Eg = 2,86 eV ekanligi aniqlandi va ushbu qiymatlar plyonkalarning yarimo‘tkazgich hamda optoelektron qurilmalarda sensor elementlar, DRAM, fotodetektorlar va ko‘k LED qo‘llanishi uchun istiqbolli ekanligini asoslab berilgan.
IV.Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi: BaTiO₃/Si va SiC/Si yupqa plyonkalarning hosil bo'lish texnologiyasi va fizik xossalari bo‘yicha olingan ilmiy natijalar asosida:
BaTiO₃/Si asosidagi polikristalli yupqa plyonkalarni impulsli radiochastotali magnetron changlatish qurilmasining qattiq fazali ion-plazma usulida hosil qilish texnologiyasi “FOTON” aksiyadorlik jamiyatiga joriy etildi (“FOTON” AJning 2025-yil 21-apreldagi №70-sonli ma’lumotnomasi asosida). Natijada yarimo‘tkazgich elementlari ishlab chiqarish jarayonida BaTiO₃/Si yupqa plyonkalarini shakllantirishning optimal texnologik rejimlari amaliy sinovdan o‘tkazildi, texnologik parametrlarning barqarorligi ta’minlandi hamda hosil qilingan plyonkalarning fotoelektrik va elektrofizik xossalari ishlab chiqarish talablariga mos ekanligi tasdiqlandi. Bu esa kremniy asosidagi fotoelektrik va yarimo‘tkazgich qurilmalarda BaTiO₃ funksional qatlamlaridan foydalanish imkoniyatlarini kengaytirishga xizmat qildi.
dissertatsiya doirasida BaTiO₃/Si va SiC/Si yupqa plyonkalarining hosil bo‘lish mexanizmlari, strukturaviy holati, optik va elektrofizik xossalariga oid ilmiy natijalar xalqaro ilmiy hamjamiyatga joriy etildi. Tadqiqot natijalari Scopus ma’lumotlar bazasida indekslanuvchi xalqaro jurnallar va konferensiya materiallarida chop etilib, ularning elektron DOI identifikatorlari hamda xalqaro ilmiy bazalardagi havolalari orqali keng foydalanishga taqdim etildi. Natijada olingan ilmiy ma’lumotlardan yarimo‘tkazgichli geterotuzilmalar, ferroelektrik materiallar va yupqa plyonkalar fizikasi bo‘yicha olib borilayotgan tadqiqotlarda foydalanish imkoniyati yaratildi, shuningdek mazkur natijalar ilmiy-tadqiqot laboratoriyalari va oliy ta’lim muassasalarida o‘quv hamda ilmiy faoliyatga tatbiq etildi.