Шоабдурахимова Манзура Мирзохид қизининг
фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон
I. Умумий маълумотлар.
Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи):
“Селен ва марганес киришма атомлари билан легирланган кремнийдаги автотебранишлар”, 01.04.10 – Яримўтказгичлар физикаси (физика-математика фанлари).
Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: В2024.1.PhD/FM771.
Илмий раҳбар: Зикриллаев Нурулла Фатхуллаевич, физика-математика фанлари доктори, профессор.
Диссертация бажарилган муассаса номи: Ислом Каримов номидаги Тошкент давлат техника университети.
ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Мирзо Улуғбек номидаги Ўзбекистон Миллий университети ҳузуридаги Яримўтказгичлар физикаси ва микроелектроника илмий-тадқиқот институти, DSc.03/30.12.2019.FM/Т.01.12.
Расмий оппонентлар: Азаматов Закиржан Тохирович, физика-математика фанлари доктори, профессор; Имамов Эркин Зуннунович, физика-математика фанлари доктори, профессор;
Етакчи ташкилот: Андижон давлат университети
Диссертация йўналиши: Назарий ва амалий аҳамиятга молик.
II.Тадқиқотнинг мақсади:
Селен ёки марганес киришма атомлари билан легирлаб, компенсатсияланган кремнийда автотебраниш жараёнларини комплекс тадқиқ қилиш.
III.Тадқиқотнинг илмий янгилиги қуйидагилардан иборат:
селен киришма атомлари билан легирланган кремнийда ҳарорат Т=1100÷1250°C ва диффузия вақти т=5÷20 соат, марганес киришма атомлари билан легирланган кремнийда ҳарорат Т=950÷1200°C ва диффузия вақти т=0,5÷1 соат оралиғида бўлганда, бошланғич монокристалл кремнийнинг кристалл панжарасида селен ёки марганес киришма атомларининг нанокластерларини шаклланишининг икки босқичли такрорланувчи диффузион технологияси ишлаб чиқилган;
селен ёки марганес киришма атомлари билан легирлаб, компенсатсияланган кремнийда автотебранишнинг вужудга келиш шартлари (электр майдон кучланганлиги, ҳарорат, ёритилинганлик)ни бошқариб, уч хил табиатдаги турғун ва такрорланувчи параметрли автотебранишлар битта намунада кузатилган ҳамда автотебранишларнинг вужудга келишини термодинамик шартлари ва ҳарорат бўйича чегара соҳаси Си<Б, Се> намуналари учун Т=77÷300 К, Си<Б, Мн> намуналари учун Т=77÷350 К оралиқда бўлиши аниқланган;
илк маротаба селен киришма атомлари диффузия усули билан легирланган кремний намуналарида Т=77÷300 К ҳарорат оралиғида ток автотебранишининг частотаси ф=5·10-3÷105 Гс оралиғида, амплитудаси Ж=10-4÷2·10-1 А оралиғида, марганес киришма атомлари диффузия қилинган кремний намуналарда Т=77÷350 К ҳарорат оралиғида автотебранишнинг частотаси ф=10-3÷5·105 Гс ва амплитудаси
Ж=3·10-5÷2,5·10-1 А оралиғида бўлиши ҳамда магнит майдони 25 кЕр гача ўзгаришида автотебранишининг частотаси ф=102÷3,5∙103 Гс оралиғида, амплитудаси Ж=10-4÷6·10-5 А оралиғида бўлиши аниқланган;
селен ёки марганес киришма атомлари билан легирланган кремнийда кузатилган ток автотебранишларининг физик механизмини тушунтиришда, бир жинсли бўлмаган яримўтказгичнинг модели таклиф этилган ва олинган тажриба натижаларининг физик моҳиятлари ушбу модел асосида тушунтирилган;
олинган тажриба натижаларининг таҳлилидан аниқланган, компенсатсияланган кремнийда кузатилган ток автотебранишларининг параметрлари (амплитуда, частота)ни Т=77÷300 К ҳарорат оралиғида чизиқли ўзгариши асосида физик катталикларни ўлчайдиган амплитуда-частотали чиқишга эга датчикларни ҳамда электромагнит тўлқинли қаттиқ жисм генераторларини яратиш имкониятлари кўрсатиб берилган.
IV. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши.
Селен ёки марганес киришма атомлари билан легирлаб, компенсатсияланган кремнийда автотебраниш жараёнларини тадқиқ қилиш асосида:
селен ёки марганес киришма атомларини газ ҳолатидан диффузия қилишда, кремний сирт ҳолатини эрозиясиз олишда яратилган технология “ФОТОН” АЖ да фойдаланилди (Ўзбекистон Республикаси “Узелтехсаноат” Ассотсатсиясининг 2024-йил 1-апрелдаги №-04-3/340 рақамли ҳамда “ФОТОН” АЖ ни 2024-йил 27-мартдаги 68-сон маълумотномалари). Илмий натижалардан фойдаланиш керакли ва турғун электрофизик ишчи параметрли диодлар ва транзисторларни олиш имконини берган;
селен ёки марганес киришма атомлари билан компенсатсияланган кремний намуналарида кузатилган токнинг автотебранишларини ўрганишда олинган илмий натижалар Бердақ номидаги Қорақалпоқ давлат университетида, ОТ-Ф2-77 рақамли “Ички нуқсонлар структурасини моделлаштириш асосида яримўтказгич асбобларнинг ишончлигини башорат қилиш усулини такомиллаштириш” мавзусидаги фундаментал лойиҳани бажаришда фойдаланилган (Ўзбекистон Республикаси Олий таълим, фан ва инновациялар вазирлигининг 2024-йил 13-августдаги 4/14-4/4-13473-сон маълумотномаси). Илмий натижалар асосида амплитуда-частотали чиқиш сигналли датчикларни ҳамда кенг частота ф=10-3÷105 Гс оралиғида ишловчи қаттиқ жисм генераторларни яратиш имконини берган.