Ғуломов Бахтиёржон Дилмуроджон ўғлининг
фалсафа доктори (PhD) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон
I. Умумий маълумотлар.
Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи): «Зол-гел чўктириш усулида ўстирилган ЗнО:Ал плёнкаларининг тузилмавий, оптик ва электрофизик хоссаларини тадқиқ қилиш» 01.04.10 – «Яримўтказгичлар физикаси» ихтисослиги бўйича фалсафа доктори (PhD) (физика-математика фанлари).
Диссертация мавзуси рўйҳатга олинган рақам: B2024.4.PhD/FM1205
Илмий раҳбар: Зайнабидинов Сиражидин Зайнабидинович, физика-математика фанлари доктори, академик.
Диссертация бажарилган муассаса номи: Андижон давлат университети ва Андижон машинасозлик институти
ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Наманган муҳандислик-технология институти, PhD.03/30.11.2022.FM/T.66.04.
Расмий оппонентлар: Гулямов Гафур, физика-математика фанлари доктори, профессор; Отажонов Салим Мадраҳимович, физика-математика фанлари доктори, профессор.
Етакчи ташкилот: Самарқанд давлат университети.
Диссертация йўналиши: илмий амалий аҳамиятга молик.
II. Тадқиқотнинг мақсади: такомиллаштирилган Зол-гел чўктириш усули ёрдамида ўстирилган яримўтказгичли ЗнО юпқа плёнкаларининг тузилмавий, морфологик, электрофизик ва оптик хусусиятларига Ал киришма атомларининг таъсирини тадқиқ қилишдан иборат.
III. Тадқиқотнинг илмий янгилиги: илк бора Зол-гел усулининг такомиллаштирилган чўктириш қурилмаси ёрдамида 1% дан 5% гача Ал атомлари билан легирланган яримўтказгичли ЗнО қатламлари ўстирилган ва энг мақбул технологик шарт-шароитлар: чўктириш тезлиги (1 мм/с), иссиқлик ишлов ҳарорати (500°C) ва вақти (10 дақиқа) аниқланган;
ўстирилган яримўтказгичли ЗнО плёнкаларининг сирти (002) кристаллографик ёʻналишга мансублиги ва C6/ммc фазовий гуруҳга тегишли панжара доимийлари а = б = 0.3265 нм ва c = 0.5212 нмга тенг вюрсит тузилишли гексогонал кристалл панжарага эга эканлиги рентгенодифраксион усул ёрамида аниқланган;
ЗнО плёнкаларига 1% дан 5% гача Ал атомлари киритилганда, унинг элементар катагидаги “c” ўқи 0,0009 нм га ортгани, шунингдек, сирт соҳаларда ЗнО ва Ал атомларининг ўзаро бирикиши натижасида панжара доимийси а = 0,5791 нм бўлган, Фд3м фазовий гуруҳига мансуб куб элементар катакчалардан ташкил топган нанокристаллитлар ҳосил бўлиши морфологик тадқиқотлар натижалари асосида аниқланган;
электрофизик тадқиқот натижалари ёрдамида ЗнО плёнкаларига 1% Ал атомлари киритилганда заряд ташувчилар консентрасияси 2,3∙10¹⁸ см⁻³ гача ортиши, бироқ Ал атомлари миқдори 5% гача оширилганда бу кўрсаткич 2,9∙10¹⁷ см⁻³ гача камайиши аниқланган;
яримўтказгичли ЗнО плёнкаларида Ал атомлари миқдори 1% дан 5% гача ошиши билан тақиқланган энергетик соҳа кенглиги 3.243 дан 3.318 эВ гача ортиши, мазкур тузилмалар учун оптик ютилиш коеффициентини қайта ҳисоблаш усули орқали аниқланган.
IV. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши. Такомиллаштирилган Зол-гел чўктириш усули ёрдамида ўстирилган ЗнО юпқа плёнкаларининг тузилмавий, морфологик, электрофизик ва оптик хусусиятларига Ал киришма атомларининг таъсирини тадқиқ қилиш бўйича олинган илмий-амалий натижалар асосида:
тадқиқот натижасида олинган хулосалар, яъни 1% дан 5% гача Ал атомлари билан легирланган ЗнО юпқа плёнкалари гексагонал кристалл панжарасининг “c” ўқи 0,0009 нм га ортиши, рентгенограммада (002) кристаллографик ориентасиясидаги тузилмавий чўққининг кичик бурчаклар томон 0,12° га силжиши, шунингдек, плёнкалар юзасида ЗнО ва Ал атомлари бирикиши натижасида панжара доимийси а = 0,5791 нм бўлган ва Фд3м фазавий гуруҳга мансуб куб элементар катакчалардан иборат конуссимон шаклдаги нанокристаллитларнинг ҳосил бўлиши ҳақидаги илмий натижалар физика-математика фанлари доктори, профессор Ш.Х. Йўлчиевнинг “Яримўтказгичларда атомлар диффузияси” номли ўқув қўлланмада фойдаланилган (Андижон давлат педагогика институтининг 2024-йил 7-декабрдаги 04-334-сон маълумотномаси). Ушбу илмий натижалардан фойдаланиш ЗнО плёнкаларида турли соҳаларда юзага келаётган ҳажмий нуқсонларни камайтириш имконини берган;
1% Ал атомлари билан легирланган ЗнО қатламларида заряд ташувчилар консентрасиясининг 2,3∙10¹⁸ см⁻³ гача ортиши, Ал миқдори 5% гача оширилганда эса уларнинг консентрасиясининг 2,9∙10¹⁷ см⁻³ гача камайиши, шунингдек, бундай ҳолатда ҳаракатчанликнинг аввал 1.81 см/В∙с гача пасайиши, кейин эса 8.23 см/В∙с гача ортиши каби илмий-амалий натижалар “ФОТОН” АЖда ишлаб чиқариладиган яримўтказгичли электрон қурилмаларни тайёрлашда қўлланилган (“Ўзелтехсаноат” акциядорлик компаниясининг 2024-йил 16-сентябрдаги 156-сон маълумотномаси). Олинган илмий натижалардан фойдаланиш тажрибавий намуналарда электрон техника воситаларини тайёрлаш ва уларнинг оптик хоссаларини яхшилаш имконини берган.