Хожиев Шерали Тешаевичнинг
фан доктори (DSc) диссертацияси ҳимояси ҳақида эълон

I. Умумий маълумотлар.
    Диссертация мавзуси, ихтисослик шифри (илмий даража бериладиган фан тармоғи номи): “Ионли чанглантириш натижасида юзага келадиган кластерларнинг ҳосил бўлиш механизмлари ва емирилиш жараёнлари”, 01.04.04 –Физик электроника (физика-математика фанлари).
    Диссертация мавзуси рўйхатга олинган рақам: В2022.3.DSc/FM164.
    Илмий маслахатчи: Максимов Сергей Эвлантиевич, физика-математика фанлари доктори, катта илмий ходим.
    Диссертация бажарилган муассаса номи: У.А. Арифов номидаги Ион-плазма ва лазер технологиялари институти.
    ИК фаолият кўрсатаётган муассаса номи, ИК рақами: Ион-плазма ва лазер технологиялари институти, DSc.02/30.12.2019.FM/Т.65.01.
    Расмий оппонентлар: Усманов Дилшадбек Турсунбаевич, физика-математика фанлари доктори, профессор; Кремков Мичаел Виталиевич, физика-математика фанлари доктори, профессор; Ниматов Самад Жайсанович, физика-математика фанлари доктори, доцент.
    Етакчи ташкилот: Ўзбекистон миллий унIVерситети.
    Диссертация йўналиши: назарий ва амалий аҳамиятга молик.
II. Тадқиқотнинг мақсади. Бу жараённинг моҳиятан номутаносиблигини ҳисобга олган ҳолда, сиртларнинг ионли сочилиши пайтида кластерларнинг ҳосил бўлиш механизмини ва эмиссиясини сифат жиҳатидан аниқлаш.
III. Тадқиқотнинг илмий янгилиги:
(н=4-10) Син+ чанглантирилган кластерлар асосий йўналишлари фрагментацияси учун қолдиқ ионларнинг ўлчанган кинетик энергиялари спектрлари бўйича РРК(Райс-Рамспергер-Кассел) классик назариясидан фойдаланилган ҳолда ушбу кластерларнинг диссоциацияланиш энергиялари аниқланган;
парчаланадиган Син+ кластерларининг яшаш вақтлари уларнинг қўзғалиш энергиясининг функсиялари сифатида баҳоланган;
Син+ н=1-11 гомоядроли кластерлар чиқишининг бомбардимон қилинаётган сирт яқинидаги кислород босимига боғлик равишда, хамда улар мономолекуляр емирилиши конуниятлари асосида шундай натижа олиндики, Син+ кластерларининг хосил бўлиши каналлари- синергетик тасаввурлар доирасида квазикимёвий реакциялаларнинг аник кўриниши сифатида қаралиши мумкин экан;
СинОм± гетероядроли кластерлар чиқишининг бомбардимон қилинаётган сирт яқинидаги кислород босимига боғлик равишда, хамда улар мономолекуляр емирилиши конуниятлари асосида шундай натижа олиндики, СинОм±  кластерларининг хосил бўлиши каналлари- синергетик тасаввурлар доирасида квазикимёвий реакциялаларнинг аник кўриниши сифатида қаралиши мумкин экан;
Си сиртини О2+ ионлари билан, ва камерага О2 киритиб Хе+ ионлари билан чанглантирилганда хосил булган СинОм- кластерларининг энергетик спектрлари бир хил эканликлари кўрсатилди;
чанглантирилган гетероядроли кластерларнинг хосил бўлиш жараёнларини –уларнинг комбинаторли табиатларини ҳисобга олган ҳолда синергетик тасаввурлар асосида назарий асослари ишлаб чиқилган;
ванадий ва ниобий сиртларини ксенон ионлари билан чанглантиришда юзага келадиган Вн+ (н= 5–11) ва Нбн+ (н = 3–8) кластерларнинг қолдик ионлар кинетик энергиялари спектрларини ўлчаш асосида уларнинг диссоциацияланиш энергиялари –хисоблаб топилган;
ванадий ва ниобий  сиртларини камерага кислород хайдаб ксенон ионлари билан чанглантиришда юзага келадиган ВнОм± ва НбнОм± кластерларнинг барча мавжуд бўлган стехиометрик  йўналишлар бўйича фрагментацияланишини ўрганиш асосида, уларнинг хосил бўлиш реакциялари комбинаторли синтез механизми асосида тушунтирилиши кўрсатилган;
Й сиртидан Хе+ билан чанглантиришдан юзага келадиган Йн+ кластерларининг тақсимланиши даражали қонун асосида аппроксимация қилинади, уларнинг хосил бўлиш механизмлари эса комбинаторли синтези механизми асосида ёритилади (тушунтирилади).
олинган маълумотларга асосланиб, асосий хулосага келиндики, сиртларнинг ионли чангланиши пайтида кластерларнинг пайдо бўлиши ва эмиссия механизми жараённинг табиати ва уларнинг асосий каналлари ҳақидаги синергик ғоялар доирасида тавсифланиши ва шаклланиши комбинацион тавсиф доирасида аниқланиши мумкинлиги кўрсатилди.
IV. Тадқиқот натижаларининг жорий қилиниши.
Диссертация ишининг натижалари Ўзбекистон Республикаси Фанлар академияси Конструкторлик бюроси ва ЭП билан бирга Илмий-техника марказида ФА-Атеч-2018 (15+274) тугалланган "Лазер нурланишидан фойдаланган ҳолда кўп компонентли юпқа қатламли қопламаларни ишлаб чиқиш технологияси" (2018-2020) илмий лойиҳаси доирасида амалий қўлланилди (Ўзбекистон Республикаси Фанлар академияси, 2023 йил 20 февралдаги 2/1255-341-сон маълумотнома). Диссертация ишида олинган илмий натижалардан фойдаланиб қопламаларнинг юқори ёпишқоқлик хусусиятларини сақлаш имконияти яратилди.
Диссертация ишида олинган илмий натижалар микроелектрон қурилмаларни яратишда ФОТОН АЖда жорий этилди ва фойдаланилди (“ФОТОН” АК 2022 йил 17 ноябрдаги 320-сон маълумотнома). Хусусан, термал барқарор параметрларга эга яримўтказгичли қурилмаларни яратиш ва ишлаб чиқарилаётган маҳсулот таннархини ва бир хил параметрларга эга мосламалардаги деталлар сонини камайтириш имконини берди.
Диссертация ишида олинган илмий натижалардан 2017-2018 йилларда Тошкент давлат техника унIVерситетида ОТ-А3-56 "Юқори марганес силидсидли плёнкалар асосида иссиқлик нурланишининг совутилмаган юқори унумдорлигини қабул қилувчилар ва инфрақизил нурланишнинг термоелектрик конверторларини ишлаб чиқиш" лойиҳаси доирасидаги тадқиқотларда фойдаланилган (Тошкент давлат техника унIVерситети, 2022 йил 14 ноябрдаги 01/9-14-3756-сон маълумотнома). Планар технологияни яратиш учун кремний диоксиди кремний таглик сиртида ортиқча кремний ҳосил бўлишидан ҳимоялади ва бунинг натижасида марганеснинг кремнийга реактIV тарқалишини олдини олиш учун сирт ҳимоясини таъминлади.