Ashirov Atabek Salievichning
falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon
I. Umumiy ma’lumotlar.
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri: “Kichik burchak ostida tushayotgan Ne+ va Ar+ ionlarining Al2O3(001) va SiO2(001) sirtidan sochilish jarayonini modellashtirish”, 01.04.04- Fizik elektronika (fizika-matematika fanlari).
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2022.1.PhD/FM680.
Ilmiy rahbar: Kutliev Uchkun Otaboevich, fizika-matematika fanlari doktori.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: Urganch davlat universiteti.
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: Urganch davlat universiteti, PhD.03/30.09.2020.FM.55.04.
Rasmiy opponentlar: Yadgarov Ishmumin Jabbarovich, fizika-matematika fanlari doktori; Sharopov O‘tkirjon Bahodirovich, fizika-matematika fanlari doktori.
Yetakchi tashkilot: Toshkent Davlat Texnika universiteti.
Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi:
Ideal Al2O3(001) va SiO2(001) yupqa qatlam sirtlarini kichik burchak ostida bombardimon qilayotgan ionlarning sochilish jarayonini kompyuterda modellashtirish usuli bilan o‘rganishdan iborat.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi:
ilk marotaba ideal Al2O3(001) va SiO2(001) yupqa qatlamlar sirtidagi metal va kislorod atomlardan tashkil topgan yarim kanallardan ionlarning sochilishi jarayonini kompyuterda modellashtirish uchun dasturlar yaratilgan va mavjudlari takomillashtirilgan;
kichik energiya va kichik burchaklar ostida SiO2(001) oksid yupqa qatlami sirtini bombardimon qilayotgan Ar+ va Ne+ ionlarining sirtdagi yarim kanallardan sochilish jarayonida yarim kanal devoridagi kislorod atomi ta’sirida ionlarning noelastik energiya yo‘qotishlarining qiymatlari ortgani aniqlangan;
SiO2(001) va Al2O3(001) sirtini kichik burchak hamda kichik energiyalarda bombardimon qilayotgan Ar+ va Ne+ ionlarining sirtdagi yarim kanallarga kirish chuqurligining mo‘ljal masofasiga bog‘liqligi va yarim kanal devoridagi kislorod atomi joylashgani uchun ionlarning yarim kanalga kirish burchagining qiymatini ortishiga olib kelishi aniqlangan;
birinchi marta Al2O3(001) yupqa qatlam sirtini Ar+ va Ne+ ionlari bilan bombardimon qilganda sirtdagi atom qatoridan sochilgan ionlarning traektoriyalari tahlil qilindi va sirt atom qatoridan sochlayotgan ionlarning traektoriyalarining parallelligi mo‘ljal masofasining qiymati ortishi yo‘qolishiga aniqlangan;
ilk marotaba SiO2(001) va Al2O3(001) oksid yupqa qatlamlari sirtidan sochilgan ionlarning energetik va burchak taqsimotlarida sirt atom qatori va yarim kanal tubidagi atomlardan sochigan ionlarga tegishli bo‘lgan cho‘qqilardan tashqari sirt osti qatlamidagi kisloroddan sochilgan ionlarga tegishli bo‘lgan cho‘qqilar ham aniqlangan.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi. Dissertatsiyada olingan natijalar quyidagi loyihalarda qoʻllanilgan: Al2O3(001) va SiO2(001) oksid yupqa qatlamlari sirtini kichik burchak ostida bombardimon qilayotgan Ne+ va Ar+ ionlarini sochilish jarayonini modellashtirish bo‘yicha olib borilgan tadqiqotlar natijalariga ko‘ra:
dissertatsiya ishida amalga oshirilgan sirt holati o‘rganish bo‘yicha olingan natijalardan Toshkent davlat texnika universiteti “Elektron apparatlarni ishlab chiqarish texnologiyasi” kafedrasida Davlat amaliy — tadqiqot dasturlari doirasida 2017-2020 yillarda olib borilgan №OT-Atex-2018-503: «Modifikatsiya elektronnoy strukturi, emissionnix i opticheskix svoystv poverxnosti sloyov Si, Ni i ix okislov ionnoy bombardirovkoy » (Si, Ni sirti katlamlari va ularning oksidlari elektron tuzilishlari, emissiya va optik xususiyatlarini ion bomardimoni bilan o‘zgartirish) nomli amaliy tadqiqot loyixasida foydalanildi (Toshkent davlat texnika universiteti 2022 yil 28 dekabr sanasidagi 01/9.14-4256 raqamli dalolatnomasi). Ilmiy natijalardan foydalanish ionlar bilan sirtni bombardimon qilish jarayonida sirt strukturasi, tuzilishini o‘rganish va fundamental fizikaviy qonuniyatlarni o‘zlashtirish imkonini yaratilgan.
Dissertatsiya ishida sirt bilan ionlarning to‘qnashuv jarayonini modellashtirish bo‘yicha olingan natijalar O‘zR FA Ion -plazma va lazer texnologiyalari institutida f.m.f.d. A.S. Baltenkov rahbarligida 2017-2020 yillarda olib borilgan № OT-F2-46 “Uglerodli nanotrubkalar va fullerenlar bilan atom zarralari, elektronlar va fotonlarning o‘zaro ta’siri jarayonini nazariy tadqiq etish” nomli fundamental loyiha ilmiy-texnikaviy vazifalarni bajarishda samarali foydalanildi (O‘zRFA ning 2023 yil 28 fevral sanasidagi 2/1255-377 raqamli dalolatnomasi). Ilmiy natijalardan sirt bilan to‘qnashuvdan keyin sochilgan elektronlar va ionlarning differensial kesimini hisoblash bo‘yicha ishlab chiqilgan algoritmlar paketi va dasturlarini yaratishda, qattiq jism sirtiga yo‘naltirilgan zarracha (ion yoki elektron)ning dastlabki va undan keyingi to‘qnashuvlar ketma-ketligini hosil qilishda ishlatiladigan yo‘naltiruvchi vektorlarning qiymatlarini hamda yo‘nalishini hisoblash dasturini yaratishda, sirtga yo‘naltirilgan zarracha(ion)larning to‘qnashuv jarayonini to‘la yoritib berish uchun muhim bo‘lgan traektoriyalarini vizual o‘rganish uchun dasturlarni yaratishda va zarrachalarning monokristal ichiga chegaraviy kirish burchagini aniqlash bo‘yicha yaratilgan algoritm va dasturlaridan olingan natijalarni o‘zaro taqqoslashda qo‘llanilgan.
