Esbergenov Daryabay Muratbaevichning
falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi himoyasi haqida e’lon
I. Umumiy ma’lumotlar.
Dissertatsiya mavzusi, ixtisoslik shifri (ilmiy daraja beriladigan fan tarmog‘i nomi): “Sink va nikel bilan legirlangan kremniyda nuqsonlar hosil bo‘lish jarayonlarini tadqiq qilish”, 01.04.10 – Yarimo‘tkazgichlar fizikasi (fizika-matematika fanlari).
Dissertatsiya mavzusi ro‘yxatga olingan raqam: B2019.2.PhD/FM374
Ilmiy rahbar: Nasriddinov Sayfillo Saidovich, texnika fanlari doktori, dotsent.
Dissertatsiya bajarilgan muassasa nomi: O‘zbekiston Milliy Universiteti huzuridagi Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti.
IK faoliyat ko‘rsatayotgan muassasa nomi, IK raqami: O‘zbekiston Milliy universiteti huzuridagi Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti, DSc.03/30.12.2019.FM/T.01.12
Rasmiy opponentlar: Qo‘ldashov Obbozjon Xokimovich, texnika fanlari doktori, dotsent; Tursunov Ikromjon G‘ulomjonovich, fizika-matematika fanlari doktori, professor.
Yetakchi tashkilot: Farg‘ona Davlat Universiteti.
Dissertatsiya yo‘nalishi: nazariy va amaliy ahamiyatga molik.
II. Tadqiqotning maqsadi sink va nikel qo‘shilgan kremniyda nuqson hosil bo‘lish jarayonlarining xususiyatlarini kompleks o‘rganish.
III. Tadqiqotning ilmiy yangiligi quyidagilardan iborat:
fotosig‘im va fotoo‘tkazuvchanlik usullari majmuasi yordamida nikel va sink kirishmalarining kremniyga diffuziya usuli orqali kiritilishi natijasida Si<Ni>da EC – 0,41 eV va EV + 0,20 eV; Si<Zn>da EC – 0,55 eV va EV + 0,31 eV chuqur sathlar paydo bo‘lishi aniqlangan;
ilk bor fotosig‘im va fotoo‘tkazuvchanlik usullari orqali kremniy namunalarida nikel va sink kirishmalarining birgalikda kiritilishi natijasida EC – 0,25 eV ionlanish energiyasiga ega bo‘lgan qo‘shimcha yangi chuqur sath hosil bo‘lishi aniqlangan;
ilk bor yorug‘likning kombinatsion sochilishi va rentgen nurlari diffraksiya usullaridan foydalanib kremniyga nikel atomlari kiritilganda Ni-O tipidagi kompleks hosil bo‘lishi, sink atomlari kiritilganda Zn-O, nikel va sink atomlari kremniyga birgalikda kiritilganida esa Zn-Ni tipidagi birikmalar hosil bo‘lishi aniqlangan;
kremniyni Zn va Ni kirishmalari bilan legirlash optik faol tugunlararo kislorod konsentratsiyasi-N_O^opt ni 20÷30% ga sezilarli pasayishiga olib kelishi va ularning birgalikda kiritilishi N_O^opt ning 40÷45% ga kamayishi aniqlangan;
ilk bor fotosig‘im va yorug‘likning kombinatsion sochilishi usullari orqali Si dagi Zn va Ni kirishma atomlarining mavjudligi yuqori haroratli ishlov berishda termik nuqsonlarning hosil bo‘lish samaradorligini 2÷4 barobarga kamaytirilishi ko‘rsatilgan, bu esa kremniy parametrlarining barqarorligini yaxshilash imkonini bergan;
ilk bor rentgen nurlari difraksiyasi va infraqizil yutilishi usullarida Zn va Ni atomlari bilan legirlangan kremniy kristallining mukammallik darajasi namunalar olish texnologiyasiga bog‘liqligi aniqlangan: Ni va Zn atomlari ketma-ket kiritilgan Si namunalarida kristallografik yo‘nalishi Si(111) ning refleksi maksimal intensivlikka egaligi va bu Si kristall strukturasi tartibinining yaxshilanganligini ko‘rsatgan.
IV. Tadqiqot natijalarining joriy qilinishi.
Sink va nikel kirishmalari bilan legirlangan monokristalli kremniyda nuqsonlar hosil bo‘lishi bo‘yicha olingan ilmiy natijalar asosida:
Sink va nikel bilan legirlangan kremniyda nuqson hosil bo‘lish jarayonlarining samaradorligi nuqson strukturasiga va kremniyni ushbu kirishmalar bilan legirlashning texnologik rejimariga bog‘liqligi; kremniyda termik nuqsonlarning hosil bo‘lish samaradorligini 3÷4 barobar pasayishiga olib keladigan nikel va sinkni kremniyga diffuziyali kiritish texnologiyasi “FOTON” aksiyadorlik jamiyatida kremniy asosidagi diodli konstruksiyalarni olishda qo‘llanildi
(AK “O‘zeltexsanoat” 2023 yil 13 fevraldagi 04-3/165-son ma’lumotnomasi). Ilmiy natijalardan foydalanish jahon analoglari darajasidagi parametrlarga mos keladigan elektrofizik parametrlarga ega mahsulot namunalarini ishlab chiqarish imkonini bergan;
kremniy konstruksiyalarining elektrofizik parametrlarini barqarorlashtirishga olib keladigan turli tez diffuziyalanadigan metallarning, shu jumladan nikel atomlarining diffuziya yo‘li bilan kremniyga kirib borishini oldini olish uchun optimallashtirilgan texnologik legirlash rejimlari; legirlangan kremniyning nuqsonli tuzilishini nazorat qilish imkoniyati va turli xil dastlabki issiqlik bilan ishlov berishdan foydalangan holda chuqur markazlarni hosil qilish samaradorligini 2-3 barobar oshirish imkoniyati Yadro fizikasi institutining FA-Atex-2018-176-sonli - “Oltingugurt kirishmasi bilan legirlangan kremniy monokristall plyonkalar olish radiatsion texnologiya usulini yaratish” loyihasini amalga oshirishda foydalanildi. (O‘zbekiston Respublikasi Fanlar akademiyasining 2023 yil 23 yanvardagi 29-2115-son guvohnomasi). Ilmiy natijalardan foydalanish kremniydagi o‘tish elementlarining tez tarqaladigan elektroaktiv atomlarining tarqalishi va konsentratsiyasini nazorat qilish imkonini bergan.